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公开(公告)号：CN102554775A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110452733.5
申请日：2011-12-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B41/047
摘要： 本发明公开了一种十字铰接式磨头，旨在提供一种用于光学元件研磨抛光过程中的抛光工具。十字铰接式磨头包括：活动杆、固定在磨头体上端的U形连接件、安装在U形连接件两个销轴孔内的横向销轴、纵向销轴、磨头体及抛光模。活动杆通过纵向销轴与横向销轴联接，横向销轴与纵向销轴呈垂直分布状态。横向销轴及纵向销轴可以实现磨头沿垂直纸面及平行纸面的方向摆动，活动杆可以带动整个磨头平动或者绕其轴线转动。本发明适用于光学元件的研磨抛光领域，可以提高磨头抛光模与工件表面的贴合程度，有利于提高抛光质量。
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公开(公告)号：CN102528608A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110452739.2
申请日：2011-12-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种组合式抛光磨头涉及光学冷加工技术领域，其包括刚性连接件、联接螺钉、磨头芯子保持架以及多个磨头芯子；刚性连接件连接在机床主轴上并带动整个磨头旋转，联接螺钉用于刚性连接件与磨头芯子保持架的连接，磨头芯子保持架用于安装多个磨头芯子；磨头芯子由粘结在顶端的抛光模、固定在尾端的弹簧、磨头座以及螺纹联接件组成，其尾端的螺纹联接件通过螺母固定在磨头芯子保持架上，磨头芯子的外圆柱面与磨头芯子保持架的内圆柱面留有很小的间隙以保证磨头芯子可以沿轴向自由压缩，弹簧的压缩或拉伸用于改变抛光模的伸出长度，抛光模用于实现材料的去除。本发明可以提高抛光模的使用寿命，提高磨头去除函数的稳定性，提高抛光精度。
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公开(公告)号：CN102501155A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110336171.8
申请日：2011-10-31
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/005
摘要： 本发明公开一种高精度光学元件抛光用夹具，其包括弹性紧固圈、支承座、夹紧套和夹具体；所述弹性紧固圈具有与光学元件的外径相同的内圆周面，该弹性紧固圈还具有外圆锥面；所述支承座具有与光学元件接触面形状相同的支承面和与光学元件外径相同的内圆周面，定位光学元件；所述夹紧套通过与弹性紧固圈的外圆锥面相对应的内圆锥面压紧弹性紧固圈，进而夹紧光学元件；所述支承座通过螺钉与夹具体连接，所述夹紧套与夹具体通过螺纹连接，所述夹具体通过法兰安装在机床的回转工作台上。本发明结构合理、定位准确、完全消除了光学元件与夹具间的相对运动，适用于在平面、球面和非球面等高精度光学元件抛光过程中夹持该元件。
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公开(公告)号：CN105437018B
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：CN201510754934.9
申请日：2015-11-09
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种非球面光学元件中频误差控制装置及控制方法，涉及光学加工和检测领域，解决了现有非球面抛光工艺中的中频误差抑制困难的技术问题。该装置包括镜片装卡装置，镜片转动轴，抛光磨头，抛光垫，气缸，磨头转动轴，由辅助合盘套筒、螺钉支撑圆环和固定螺钉组成的磨头合盘装置。抛光磨头与待抛光镜片的相对运动方式为：抛光磨头自转而待抛光镜片不动，抛光磨头不沿待抛光镜片径向进给，或者抛光磨头与待抛光镜片反方向转动，抛光磨头不沿待抛光镜片径向进给。本发明通过抛光磨头与待抛光镜片的相对运动方式实现待抛光镜片材料去除，平滑待抛光镜片中频误差，平滑效果好，抛光磨头制作方便，改善了非球面光学元件质量，提高了光学系统性能。
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公开(公告)号：CN105150050A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510450081.X
申请日：2015-07-28
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/005
CPC分类号： B24B13/005
摘要： 一种通用型光学元件抛光用真空夹具属于光学冷加工技术领域，目的在于解决现有技术存在的结构复杂、通用性差和加工成本高的问题。本发明的一种通用型光学元件抛光用真空夹具包括真空夹具体和密封保护层；所述真空夹具体为一体式结构，所述真空夹具体包括一个通过支撑臂形成的中空结构，所述支撑臂上端与待抛光光学元件接触，支撑臂上端与待抛光光学元件接触处通过密封保护层密封，所述中空结构与外部通过抽气孔连通。本发明的一种通用型光学元件抛光用真空夹具通过支撑臂上端与光学元件接触，可以适用于不同尺寸和形状的平面、球面和非球面光学元件的夹持，该夹具结构简单，通用性强。
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公开(公告)号：CN104057380A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410312535.2
申请日：2014-07-01
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/005
CPC分类号： B24B13/005
摘要： 一种高精度方形平板光学元件抛光用夹具属于机械夹具技术领域，目的在于解决现有技术中存在的引入较大变形误差影响光学元件面形测量精度的问题。本发明包括弹性垫层、支承座、固定底座和夹紧挡块；支承座包括上下设置的方形平台和圆形平台，方形平台与光学元件接触面形状相同，尺寸小于光学元件尺寸；支承座的圆形平台下表面与固定底座通过螺钉连接，弹性垫层通过胶粘方式固定在方形平台上；光学元件放置在弹性垫层上，通过侧面均布的多个夹紧挡块实现对光学元件的固定。本发明的夹具的弹性垫层厚度较薄，硬度适中，装调过程中经过表面修整，具有较高精度的平面度和垂直度；光学元件在面形检测过程中避免了引入较大的变形误差，保证面形测量精度。
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公开(公告)号：CN102501155B
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201110336171.8
申请日：2011-10-31
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/005
摘要： 本发明公开一种高精度光学元件抛光用夹具，其包括弹性紧固圈、支承座、夹紧套和夹具体；所述弹性紧固圈具有与光学元件的外径相同的内圆周面，该弹性紧固圈还具有外圆锥面；所述支承座具有与光学元件接触面形状相同的支承面和与光学元件外径相同的内圆周面，定位光学元件；所述夹紧套通过与弹性紧固圈的外圆锥面相对应的内圆锥面压紧弹性紧固圈，进而夹紧光学元件；所述支承座通过螺钉与夹具体连接，所述夹紧套与夹具体通过螺纹连接，所述夹具体通过法兰安装在机床的回转工作台上。本发明结构合理、定位准确、完全消除了光学元件与夹具间的相对运动，适用于在平面、球面和非球面等高精度光学元件抛光过程中夹持该元件。
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公开(公告)号：CN105598786B
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201510967185.8
申请日：2015-12-22
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/01
摘要： 用于抛光超大偏离度非球面的类气囊磨头，涉及光学冷加工技术领域，解决现有技术中存在的抛光磨头与毫米量级超大偏离度非球面工件表面不匹配的问题。包括抛光模、抛光气囊帽、特殊弹性材料、气囊骨架、磨头底座、高度调节板、高度调节螺丝、紧固螺栓和连接法兰；所述抛光模胶粘于抛光气囊表面；被抛光气囊帽、气囊骨架和高度调节板组成的密闭结构密封于其中；抛光气囊帽通过内壁上的一圈梯形凸起与气囊骨架外壁上的梯形凹陷固连；高度调节板通过顶丝调节高度；磨头底座与气囊骨架通过外螺纹实现紧固连接；磨头底座与连接法兰通过紧固螺栓紧固连接。通过特殊弹性材料的弹性变形，自动与非球面表面匹配，提高加工精度，实现非球面面形的高精度加工。
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公开(公告)号：CN104089963B
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201410312808.3
申请日：2014-07-02
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01N21/958
摘要： 本发明涉及一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法，其步骤为：采用沥青或者聚氨酯抛光方式制备亚表面缺陷玻璃样品；合理确定样品采样点，以全面评价样品亚表面缺陷；根据采样点制作去除区域为规则形状的去除函数，与驻留时间卷积获得规则形状的若干采样区域；利用上述去除函数和离子束加工对采样区域进行不同深度均匀去除；使用表面形貌观察设备对采样区域进行观测，获得光学玻璃亚表面缺陷形貌。本发明采用离子束加工对光学玻璃全视场内不同采样点表面水解层进行去除，使用表面微观形貌检测设备对其进行观测；本发明具有原理简单，测量结果准确直观等特点，避免了使用氢氟酸，是一种安全有效的亚表面缺陷测量方法。
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公开(公告)号：CN104175192B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410390349.0
申请日：2014-08-08
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： B24B13/01
摘要： 本发明公开了一种多环形自适应抛光磨头，属于光学冷加工技术领域。解决了现有非球面抛光技术中磨头表面与工件表面不匹配、无法抑制中频误差的问题。本发明的多环形自适应抛光磨头包括法兰轴、多环刚性基底、柔性环和抛光环，其中，法兰轴的底端固定在多环刚性基底的顶端，多环刚性基底的底端设有具有相同圆心的多个圆环形凸台，柔性环可以柔性变形，柔性环由多个同心圆环组成，柔性环的顶端固定在多个圆环形凸台上，抛光环由多个同心圆环组成，抛光环的顶端固定在柔性环的底端上。本发明的磨头能够通过柔性环的柔性变形，自动补偿由机床、装调或工件本身带来的误差，实现非球面的高质量抛光。
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