公开(公告)号：CN112331552A

公开(公告)日：2021-02-05

申请号：CN202011333728.8

申请日：2020-11-25

Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院 ,  中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东(佛山)研究院

Inventor： 孙钱 ,  汤文君 ,  赵征途 ,  冯美鑫

IPC: H01J61/40 ,  H01J61/35 ,  H01J65/04

Abstract: 本发明公开了一种准分子灯，包括透光容器、至少一对电极和具有滤波功能的介质膜层，所述透光容器内封装有放电用气体，所述至少一对电极之间能够形成使放电用气体发生电离的电场，介质膜层设置于透光容器的外表面。本发明通过在准分子灯高电场区外侧增加带有滤波功能的介质膜，使得准分子灯具有单色性好、输出功率高、稳定性和可靠性好等优点，有助于拓宽准分子灯的应用领域。

公开(公告)号：CN213304066U

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN202022749878.9

申请日：2020-11-25

Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院 ,  中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东(佛山)研究院

Inventor： 孙钱 ,  汤文君 ,  赵征途 ,  冯美鑫

IPC: H01J61/40 ,  H01J61/35 ,  H01J65/04

Abstract: 本实用新型公开了一种准分子灯，包括透光容器、至少一对电极和具有滤波功能的介质膜层，所述透光容器内封装有放电用气体，所述至少一对电极之间能够形成使放电用气体发生电离的电场，介质膜层设置于透光容器的外表面。本实用新型通过在准分子灯高电场区外侧增加带有滤波功能的介质膜，使得准分子灯具有单色性好、输出功率高、稳定性和可靠性好等优点，有助于拓宽准分子灯的应用领域。