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公开(公告)号：CN118039452B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202410163545.8
申请日：2024-02-05
Applicant: 中国科学技术大学
Inventor： 胡广月
Abstract: 本发明公开了一种台式化高亮度等离子体光源，包括激光组件、真空组件、靶物质、用于对靶物质提供磁场区的磁场组件以及用于对靶物质所处磁场区进行供气的充气组件，靶物质和磁场组件设置于真空组件中，激光组件发射的激光照射在靶物质上生成等离子而发光；该等离子体光源能够产生密度更均匀的等离子体发光区域，从而大幅度增加激光驱动的热辐射等离子体光源的发光效率和发光亮度、降低能耗以及靶碎片。
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公开(公告)号：CN115380361B
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202180027828.4
申请日：2021-04-13
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明揭示具有涡旋气体流的激光维持等离子体(LSP)光源。所述LSP源包含：气体围阻结构，其用于容纳气体；一或多个气体入口，其经配置以使气体流到所述气体围阻结构中；及一或多个气体出口，其经配置以使气体流出所述气体围阻结构。所述一或多个气体入口及所述一或多个气体出口经布置以在所述气体围阻结构内产生涡旋气体流。所述LSP源还包含激光泵源，其经配置以产生光学泵以便在所述气体围阻结构的区域中所述涡旋气体流内的内部气体流内维持等离子体。所述LSP源包含光收集器元件，其经配置以收集从所述等离子体发射的宽带光的至少一部分。
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公开(公告)号：CN116053112B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202211642817.X
申请日：2022-12-20
Applicant: 桑尼维尔新材料科技(南京)有限公司
IPC: H01J65/04
Abstract: 本发明提供了一种222纳米准分子灯板及其制作方法，一种222纳米准分子灯板包括平行设置的电介质板，所述电介质板能够透过222纳米紫外光；所述电介质板相对的两个内表面上均设有钢化层；两片电介质板的边缘之间通过围坝密封连接以形成用于容纳放电气体的腔体，所述围坝的侧壁上开有通气口；至少一片电介质板的外表面设有网状电极以用于射出222纳米紫外光，用于透光的电介质板的外表面镀有光学过滤膜以用于过滤非222纳米波长的光。本发明采用灯板结构更容易产生辐照强度均匀的效果，在灯板上制作电极等工艺简单、成本低；电介质板和围坝构成的密闭放电腔体的制造工艺可控性强；电介质板内表面的钢化处理提高了准分子灯的寿命。
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公开(公告)号：CN118202440A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202280073864.9
申请日：2022-10-05
Applicant: 艾斯泰克私人有限责任公司 , 艾斯泰克集团控股有限公司
Inventor： 德米特里·鲍里索维奇·阿布拉缅科 , 罗伯特·拉菲列维奇·加亚索夫 , 丹尼斯·亚历山德罗维奇·格卢什科夫 , 弗拉基米尔·米哈伊洛维奇·克里夫特森 , 亚历山大·安德里维奇·拉什
Abstract: 一种光源，其中辐射等离子体由CW激光器的聚焦光束维持在充气腔室中。气体是纯度至少为99.99％的惰性气体。腔室包含金属壳体，该金属壳体具有由MgF2制成的用于输出等离子体辐射的至少一个窗口。每个窗口均位于套筒的端部上的壳体的孔内，并且通过玻璃胶焊合至套筒，并且每个套筒均在外侧接缝上焊接至金属壳体的孔。套筒和壳体均由合金制成，该合金的线性热膨胀系数(CLTE)与MgF2晶体的在垂直于MgF2晶体的光轴的方向上的CLTE相匹配。技术效果在于将光源的辐射光谱扩展至VUV区域。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN118039452A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410163545.8
申请日：2024-02-05
Applicant: 中国科学技术大学
Inventor： 胡广月
Abstract: 本发明公开了一种台式化高亮度等离子体光源，包括激光组件、真空组件、靶物质、用于对靶物质提供磁场区的磁场组件以及用于对靶物质所处磁场区进行供气的充气组件，靶物质和磁场组件设置于真空组件中，激光组件发射的激光照射在靶物质上生成等离子而发光；该等离子体光源能够产生密度更均匀的等离子体发光区域，从而大幅度增加激光驱动的热辐射等离子体光源的发光效率和发光亮度、降低能耗以及靶碎片。
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公开(公告)号：CN116235277B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202180056769.3
申请日：2021-08-04
Applicant: ISTEQ 私人有限公司 , ISTEQ集团控股有限公司
Inventor： 罗伯特·拉菲列维奇·加亚索夫 , 丹尼斯·亚历山大罗维奇·格鲁什科夫 , 尤里·鲍里索维奇·基柳欣 , 弗拉基米尔·米哈伊洛维奇·克里夫松 , 亚历山大·安德烈耶维奇·拉什 , 德米特里·鲍里索维奇·阿布拉门科
IPC: H01J65/04
Abstract: 提供了一种激光泵浦等离子体光源。该等离子体光源包括充填高压气体的腔室、等离子体点火装置、在所述强势中由连续波(CW)激光器的聚焦射束维持的辐射等离子体区域、和离开所述腔室的等离子体辐射射束。该腔室包括管道、底部和盖子。该管道的一端与该底部气密连接，而该管道的另一端与该盖子气密连接。该管道和该底部由光学透明材料制成。该底部被布置成将该CW激光器的该聚焦射束引入到该腔室中。该管道被配置为使所述等离子体辐射射束在垂直于该CW激光器的该射束并且穿过该辐射等离子体区域(2)的平面中，以至少70％的方位角从该腔室中离开。该盖子配备有进气口。
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公开(公告)号：CN117747408A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311196150.X
申请日：2023-09-15
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 藤泽繁树
IPC: H01J65/04 , H01J61/073
Abstract: 提供一种准分子灯，能够抑制发光效率的下降，并且抑制发光空间的外侧的沿面放电的产生。其特征在于，具备：发光管，包括在管轴方向上延伸的外侧管和在所述外侧管的内侧以在所述管轴方向上延伸的方式配置的内侧管，所述外侧管和所述内侧管在所述管轴方向上的端部处被密封；发光气体，封入于由所述外侧管和所述内侧管夹着的发光空间；外侧电极，配置于所述外侧管的外壁面上的外侧电极区域；及内侧电极，配置于所述内侧管的内壁面上的内侧电极区域，所述内侧电极区域在与所述管轴方向正交的方向上与所述外侧电极区域对向，所述外侧电极区域的所述管轴方向上的两端位于在所述管轴方向上比所述内侧电极区域和所述外侧电极区域对向的区域靠外侧处。
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公开(公告)号：CN110534400B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN201910354640.5
申请日：2019-04-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Inventor： 柳生英昭
IPC: H01J61/073 , H01J65/04
Abstract: 本发明目的在于提供一种准分子灯，能够使用铝作为构成外部电极的材料，而且能够避免外部电极的损伤。在具备由透射紫外线的材料构成的放电容器并在放电容器的外表面设置有外部电极的准分子灯中，外部电极由以使得该外部电极的每单位体积的输入为规定的范围内的大小的方式形成了图案的多条导电线构成，并由以铝为主要成分的材料构成。
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