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公开(公告)号：CN118202440A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202280073864.9
申请日：2022-10-05
Applicant: 艾斯泰克私人有限责任公司 , 艾斯泰克集团控股有限公司
Inventor： 德米特里·鲍里索维奇·阿布拉缅科 , 罗伯特·拉菲列维奇·加亚索夫 , 丹尼斯·亚历山德罗维奇·格卢什科夫 , 弗拉基米尔·米哈伊洛维奇·克里夫特森 , 亚历山大·安德里维奇·拉什
Abstract: 一种光源，其中辐射等离子体由CW激光器的聚焦光束维持在充气腔室中。气体是纯度至少为99.99％的惰性气体。腔室包含金属壳体，该金属壳体具有由MgF2制成的用于输出等离子体辐射的至少一个窗口。每个窗口均位于套筒的端部上的壳体的孔内，并且通过玻璃胶焊合至套筒，并且每个套筒均在外侧接缝上焊接至金属壳体的孔。套筒和壳体均由合金制成，该合金的线性热膨胀系数(CLTE)与MgF2晶体的在垂直于MgF2晶体的光轴的方向上的CLTE相匹配。技术效果在于将光源的辐射光谱扩展至VUV区域。
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