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公开(公告)号：CN119660329A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202311226633.X
申请日：2023-09-21
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种真空环境下的样品转移装置，包括：壳体，壳体中形成有传料腔，壳体上设有进料口和出料口，进料腔通过进料口与传料腔相连通，出料腔通过出料口与传料腔相连通；抽真空机构固定安装于壳体上且与传料腔相连通；样品转移台可移动地设置于传料腔中，用于放置样品；第一操作杆与样品转移台固定安装，用于驱使样品转移台于传料腔中移动；第二操作杆设于进料腔中，用于将样品自进料腔移动至样品转移台上；第三操作杆设于出料腔中，用于将样品自样品转移台移动至出料腔中。本发明可实现样品在真空环境下于两个或两个以上的设备间进行转移交换，避免了样品暴露于大气环境中而被空气氧化，以便于保持样品表征测试的准确性。
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公开(公告)号：CN117908458A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202211241492.4
申请日：2022-10-11
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G05B19/05
Abstract: 本发明公开了一种用于真空互联系统的自动控制系统及自动控制方法。所述自动控制系统包括：主控制单元以及数据库和现场执行单元；所述现场执行单元包括真空获得与测量单元、样品交接控制单元、运样车运动控制单元、报警单元和扫描单元，所述主控制单元用于对真空互联系统的重要工作参数进行安全监控，使真空获得与测量单元控制真空互联系统的真空度，使运样车运动控制单元依据多车避让算法控制运样车在真空互联系统的转移腔内的调度传输，使样品交接控制单元控制运样车在真空互联系统内进行送样或取样，使扫描单元实时扫描现场执行单元的运动状态和工作参数。本发明采用了多车避让算法，以避让过程中最小的等待时间为目标，对运样车合理调度。
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公开(公告)号：CN105645107B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201410635930.4
申请日：2014-11-13
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种应用于超高真空环境的样品传输系统及方法。该传输系统包括分布于真空互联系统内对样品小车有转向要求的选定位置处的换向中转室，所述换向中转室内部设有用于承载样品小车的可旋转轨道，并且所述可旋转轨道可在驱动机构驱动下绕中转室轴线旋转任意角度，并到达不同工作位置处而与真空互联系统内的不同样品小车固定轨道配合。进一步的，所述选定位置包括真空互联系统的选定的两条真空管线交接处和/或对样品小车有转向要求的真空管线交叉节点处。本发明通过在真空互联系统内设置换向中转室，可以有效的完成真空环境下样品小车在真空管道中的交汇及转向功能。
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公开(公告)号：CN102620868B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201210061864.5
申请日：2012-03-10
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01L1/24
Abstract: 本发明揭示了一种具有垂直光路结构的薄膜应力测量装置及其应用。该薄膜应力测量装置包括多光束图形发生器以及光束位置探测器，所述多光束图形发生器与所述光束位置探测器互相垂直排布。本发明提高了薄膜应力测量精度，简化了薄膜应力测量装置的光路布局与装调要求，可被广泛应用于在薄膜应力离线测量装置、薄膜沉积设备、材料外延设备等之中。
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公开(公告)号：CN101824606B
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN201010168746.5
申请日：2010-05-12
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明揭示了一种垂直喷淋式MOCVD反应器，包括反应室、设于反应室顶部的喷淋头及其冷却水进、出口、设于反应室底部的衬底托、加热器及出气口，用于输入反应气体的进气口设于喷淋头之内，其特点是喷淋头腔体相隔形成三个以上独立区域，各独立区域分别设有各自独立的进气口；喷淋头的轴向中心贯穿设有一转轴，喷淋头与转轴联动；复数个衬底托相对孤立呈环状排布于反应室底部。本发明技术方案的应用，将反应气源分隔并依次喷淋，能有效消除气相寄生反应，同时反应后的尾气能迅速从各衬底托的空隙流走，被排出反应器，能有效消除积聚未散的尾气对反应气体扰流作用，提高了外延片的生长质量，并为实现无限增大装片容量提供了可能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119976291A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202311506918.9
申请日：2023-11-13
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种样品传递装置及真空互联系统，样品传递装置包括：中转室、转移台、样品自锁台及操作杆。其中，转移台，可移动地设置于中转室中；样品自锁台，可移动地设置于转移台上，样品自锁台包括台体和若干弹片组件；操作杆，用于带动样品自锁台移动，以使样品自锁台自第一状态切换至第二状态；于第一状态下，样品自锁台位于操作杆上，弹片组件与样品相抵接，样品锁固于台体上；于第二状态下，样品自锁台设于转移台上，弹片组件与样品相分离，样品自台体上解锁。本发明可通过操作杆直接移动放置有样品的样品自锁台，避免在样品传递过程中从台体上掉落的风险，增强了样品传递的可靠性和效率，也可提高用户体验感，不必担心样品掉落。
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公开(公告)号：CN108061808B
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201610996892.4
申请日：2016-11-08
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: G01N35/00
Abstract: 本发明公开了一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法。该真空互联系统包括材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台，其中，所述互联平台包括管道设备、中续设备、传输设备、真空获得设备、输入输出设备和控制设备；所述材料生长平台和器件工艺平台用于器件的加工，所述测试分析平台用于材料的生长和性质的测量与分析，所述材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台通过所述互联平台互相连接。本发明能够使材料的生长、测试和加工等工序均在真空环境中进行，为材料研究和器件研发提供好的真空环境，建立真空环境下从材料、器件、封装到测试的综合研究设施，提供多种极端条件下材料、结构和性能关系的科学研究平台。
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公开(公告)号：CN103233209A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310138813.2
申请日：2013-04-19
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种样品架，包括用于承载样品的样品放置架、用于调节样品表面的一选定点与蒸发源距离的距离调节机构、以及用于调节蒸发源的表面法线与蒸发源和样品表面的一选定点的连线之间的夹角的角度调节机构。距离调节机构经一中空固定架与角度调节机构固定连接，样品放置架经角度调节机构与中空固定架固定连接。距离调节机构可通过伸缩机构调节样品与蒸发源的距离及其在轴向上的稳定性，角度调节机构利用丝杆螺母配合调节角度值，并由刻度盘和刻度指针显示所调节角度值。本发明结构简单，能够与现有的蒸镀样品架及膜厚控制系统兼容，满足蒸镀工艺均匀性与蒸发速率可控性的要求，节省蒸发材料，降低成本。
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公开(公告)号：CN117219543A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311226188.7
申请日：2023-09-21
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种真空环境下的样品传输系统，包括若干传输单元和位于传输单元中的传输车，传输单元包括：支架；真空管道，固定安装于支架上，真空管道上设有若干对接口，传输车可移动地设置于真空管道中；抽真空装置，与真空管道相连通，用于对真空管道进行抽真空；驱动机构，固定安装于支架上，传输车上设有第一磁体组件，驱动机构上设有与第一磁体组件相配合的第二磁体组件，当第一磁体组件和第二磁体组件之间产生吸引性磁力时，驱动机构可驱动传输车在真空管道中移动。本发明的传输单元为模块化设置，当要在更多的设备间进行样品交换时，可将多个传输单元拼接，延长真空管道的长度，来连接更多设备，实现在更多设备间的样品传递交换。
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公开(公告)号：CN103233209B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201310138813.2
申请日：2013-04-19
Applicant: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
Abstract: 本发明公开了一种样品架，包括用于承载样品的样品放置架、用于调节样品表面的一选定点与蒸发源距离的距离调节机构、以及用于调节蒸发源的表面法线与蒸发源和样品表面的一选定点的连线之间的夹角的角度调节机构。距离调节机构经一中空固定架与角度调节机构固定连接，样品放置架经角度调节机构与中空固定架固定连接。距离调节机构可通过伸缩机构调节样品与蒸发源的距离及其在轴向上的稳定性，角度调节机构利用丝杆螺母配合调节角度值，并由刻度盘和刻度指针显示所调节角度值。本发明结构简单，能够与现有的蒸镀样品架及膜厚控制系统兼容，满足蒸镀工艺均匀性与蒸发速率可控性的要求，节省蒸发材料，降低成本。
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