公开(公告)号：CN110132117A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910478437.9

申请日：2019-06-03

Applicant: 中国科学院自动化研究所

Inventor： 杜章铭 ,  周超 ,  王硕 ,  邓赛 ,  张甜露 ,  程龙 ,  谭民

IPC: G01B7/02

Abstract: 本发明属于测量仪器领域，具体涉及一种压电陶瓷致动器纳米级位移融合测量系统，旨在为了解决现有测量系统对压电陶瓷致动器的纳米级形变位移测量结果受非线性影响较大，测量精确度低，采样频率低。本发明包括自感知位移测量数据采集模块，用于测量压电陶瓷电极表面电荷和驱动电压；时间-数字转换测量数据采集模块，实现将应变片电阻测量转换为时间测量；数据处理和融合模块，用于对测量数据进行处理和计算，并通过异步多频率数据源融合算法融合为高频率的位移数据，作为最终测量结果。本发明占用空间小，散热低，能对压电陶瓷致动器的纳米尺度运动进行实时、精确的测量，测量结果克服了非线性影响，测量精度高，采样频率高。

公开(公告)号：CN110132117B

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201910478437.9

申请日：2019-06-03

Applicant: 中国科学院自动化研究所

Inventor： 杜章铭 ,  周超 ,  王硕 ,  邓赛 ,  张甜露 ,  程龙 ,  谭民

IPC: G01B7/02

Abstract: 本发明属于测量仪器领域，具体涉及一种压电陶瓷致动器纳米级位移融合测量系统，旨在为了解决现有测量系统对压电陶瓷致动器的纳米级形变位移测量结果受非线性影响较大，测量精确度低，采样频率低。本发明包括自感知位移测量数据采集模块，用于测量压电陶瓷电极表面电荷和驱动电压；时间‑数字转换测量数据采集模块，实现将应变片电阻测量转换为时间测量；数据处理和融合模块，用于对测量数据进行处理和计算，并通过异步多频率数据源融合算法融合为高频率的位移数据，作为最终测量结果。本发明占用空间小，散热低，能对压电陶瓷致动器的纳米尺度运动进行实时、精确的测量，测量结果克服了非线性影响，测量精度高，采样频率高。