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公开(公告)号：CN103856453B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210508787.3
申请日：2012-11-30
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及一种面向半导体生产线搬运系统的数据传输方法，用于服务器与生产线设备之间的通信，包括以下步骤：生产线设备或服务器向对方发送数据包时，确定消息头中的各信息位数据并打包、发送；当需要有消息体发送时，按固定大小打包消息体并发送；服务器或生产线设备接收数据包，并通过数据解析得到数据包内各位所含信息进行相应处理。本发明将消息分为消息头和消息体分别进行发送与接收，在接收并解析消息头后，动态分配消息体所需要的内存，对消息体为空的消息不分配内存资源，使内存的需要量降低，减轻系统负担，加快了系统处理速度。
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公开(公告)号：CN101469418A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200710159306.1
申请日：2007-12-29
Applicant: 沈阳中科博微自动化技术有限公司 , 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: C23C16/52 , C23C16/513
Abstract: 本发明属于控制系统技术，具体地说是一种等离子增强化学气象沉积设备的控制方法。它包括设备初始化控制、晶圆加工流程控制、设备异常报警控制，其中：设备初始化控制步骤为启动设备电源，打开报警监控，并发送传片腔和反应腔的初始化指令；晶圆加工流程控制步骤为导入工艺配方，使用批或层配方进行加工初始化、晶圆加工和加工结束控制；设备异常报警控制实现对设备异常和故障的监控，通过异常预处理机制和报警应答处理机制，对设备报警进行分步处理。采用本发明可实现对化学气象沉积的非常精确的工艺控制，能够满足半导体器件制造过程中的工艺要求。
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公开(公告)号：CN1280754C
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN03135038.0
申请日：2003-09-29
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明公开一种嵌入式网络化远程输入输出系统，它是一个具有以太网接口的分布式输入输出系统，主要应用于工业自动化控制领域，由NETWEB模块、I/O模块及控制程序模块组成，NETWEB模块负责网络传输、网络监控，及通过RS-485接口对现场数据进行采集、处理，控制I/O模块；I/O模块完成现场信号的采集和对现场的设备进行控制；控制程序模块存储于NETWEB模块中的程序存储器里。用户可以根据需求构成一个从几点到几百点的可大可小的远程监测/监控系统。该系统是一个分布式I/O系统，依靠WEB浏览器便可以实现监测、控制功能，其实时性能、网络性能、可靠性能是其他系统难以比拟的。
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公开(公告)号：CN101552794B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200810010912.1
申请日：2008-04-03
Applicant: 沈阳中科博微自动化技术有限公司 , 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明属于网络通信技术，具体地说是一种基于SEMI标准的SECS通信方法。包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数据传输步骤；及通过SECS协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、设备控制和异常处理步骤。采用本发明可实现半导体工厂的自动化管理，能够满足半导体器件制造过程中的高真空、高洁度、高无尘等特性要求，可使不同的设备控制系统标准化、提高生产效率、降低生产成本。
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公开(公告)号：CN101469418B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200710159306.1
申请日：2007-12-29
Applicant: 沈阳中科博微自动化技术有限公司 , 中国科学院沈阳自动化研究所
IPC: C23C16/52 , C23C16/513
Abstract: 本发明属于控制系统技术，具体地说是一种等离子增强化学气相沉积设备的控制方法。它包括设备初始化控制、晶圆加工流程控制、设备异常报警控制，其中：设备初始化控制步骤为启动设备电源，打开报警监控，并发送传片腔和反应腔的初始化指令；晶圆加工流程控制步骤为导入工艺配方，使用批或层配方进行加工初始化、晶圆加工和加工结束控制；设备异常报警控制实现对设备异常和故障的监控，通过异常预处理机制和报警应答处理机制，对设备报警进行分步处理。采用本发明可实现对化学气相沉积的非常精确的工艺控制，能够满足半导体器件制造过程中的工艺要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103856453A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201210508787.3
申请日：2012-11-30
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明涉及一种面向半导体生产线搬运系统的数据传输方法，用于服务器与生产线设备之间的通信，包括以下步骤：生产线设备或服务器向对方发送数据包时，确定消息头中的各信息位数据并打包、发送；当需要有消息体发送时，按固定大小打包消息体并发送；服务器或生产线设备接收数据包，并通过数据解析得到数据包内各位所含信息进行相应处理。本发明将消息分为消息头和消息体分别进行发送与接收，在接收并解析消息头后，动态分配消息体所需要的内存，对消息体为空的消息不分配内存资源，使内存的需要量降低，减轻系统负担，加快了系统处理速度。
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公开(公告)号：CN103848343A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201210506828.5
申请日：2012-11-29
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
CPC classification number: B66C13/48
Abstract: 本发明公开一种面向有道岔变换的搬运系统天车运动控制方法，其步骤包括如下：铺设的轨道构成多个独立区域，覆盖全部设备，通过控制道岔将不通的多个独立区域连通起来；启动天车监控线程和物料发送请求线程；查询待发送物料列表，取出待执行任务；查询天车列表，确定执行搬运任务的天车；再确定天车工作搬运路径，将搬运路径下载至天车，启动搬运任务；本发明方法主要是将铺设的轨道构成多个独立区域，通过及时、快速、精确的道岔变换，将不连通独立区域连接在一起，缩短天车运行时间，实现了复杂化的轨道系统，使物料在设备间自动传送，不需要人员参与，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN103848343B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201210506828.5
申请日：2012-11-29
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
CPC classification number: B66C13/48
Abstract: 本发明公开一种面向有道岔变换的搬运系统天车运动控制方法，其步骤包括如下：铺设的轨道构成多个独立区域，覆盖全部设备，通过控制道岔将不通的多个独立区域连通起来；启动天车监控线程和物料发送请求线程；查询待发送物料列表，取出待执行任务；查询天车列表，确定执行搬运任务的天车；再确定天车工作搬运路径，将搬运路径下载至天车，启动搬运任务；本发明方法主要是将铺设的轨道构成多个独立区域，通过及时、快速、精确的道岔变换，将不连通独立区域连接在一起，缩短天车运行时间，实现了复杂化的轨道系统，使物料在设备间自动传送，不需要人员参与，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN1617465B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200310105080.9
申请日：2003-11-11
Applicant: 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明蓝牙无线传感器，是一种基于蓝牙无线传输技术的温度传感器。包括用于进行现场数据采集的数据采集模块、对数据进一步处理和无线传输的蓝牙无线模块，还包括控制程序模块，负责数据采集、数据处理以及同上位机的数据通信。本发明主要应用于工业现场控制的无线数据采集，是一种具有自主处理能力的智能传感设备，可以同任何符合蓝牙规范的设备建立连接，同任何具有相应蓝牙无线传感器规范的设备进行数据交换，用多个传感器可以组成网络，同上位机一起构成无线接入系统，方便灵活地应用于许多无法铺设电缆或很难铺设电缆的工业现场环境；整个系统可以同分布式现场总线集成，作为独立的I/O子系统，满足特别现场应用的需求。
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公开(公告)号：CN101552794A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200810010912.1
申请日：2008-04-03
Applicant: 沈阳中科博微自动化技术有限公司 , 中国科学院沈阳自动化研究所
Abstract: 本发明属于网络通信技术，具体地说是一种基于SEMI标准的SECS通信方法。包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数据传输步骤；及通过SECS协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、设备控制和异常处理步骤。采用本发明可实现半导体工厂的自动化管理，能够满足半导体器件制造过程中的高真空、高洁度、高无尘等特性要求，可使不同的设备控制系统标准化、提高生产效率、降低生产成本。
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