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公开(公告)号：CN111077743B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201911212041.6
申请日：2019-11-28
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G03F9/00
摘要： 本发明公开了一种对准信号数字化同步解调方法及装置，该方法包括：对对准调幅信号进行数字化采样，得到对准调幅数字信号；在数字信号处理器中对该对准调幅数字信号和两个正交化本地参考信号分别进行混频处理，得到两个上、下边带信号；该两个上、下边带信号分别在两个带宽相同的数字低通滤波器中进行滤波，得到两个正交化下边带信号；该两个下边带信号经数字化解调算法进行解调计算，得到对准标记位置基频信号。本发明提供的该对准信号数字化同步解调方法及装置，具有电路结构简单、数字化程度高、计算速度快、无需采用调制信号作为参考信号以及无需进行相位补偿等优点，能够完成对准调制信号的数字化高精度解调。
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公开(公告)号：CN110968000B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201911211916.0
申请日：2019-11-28
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G05B19/042
摘要： 本发明公开了一种基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统，包括：硅片对准测量分系统，内置有对准测量并行计算板卡；工件台位置测量分系统，与硅片对准测量分系统通过光纤数据通道和外同步总线实现互连；以及系统同步控制时序，基于操作系统并结合硅片对准测量分系统和工件台位置测量分系统共同实现同步控制。本发明提供的该基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统，具有灵活的网络拓扑结构，能够完成测控系统精确的同步控制和高精度并行计算。
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公开(公告)号：CN110850692A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911211405.9
申请日：2019-11-29
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 一种数据处理方法，应用于集成电路技术领域，包括：利用双通道交替采集光强信号，对该双通道采集到的光强信号分别进行解调、滤波和归一化处理，得到多个数据包，利用并行计算方法，对各数据包分别进行数据拟合，得到各数据包的对准标记位置值，对该各数据包的对准标记位置值进行位置数据融合，得到对准位置。本申请还公开了一种光刻机对准系统，可提高对准位置解算的精度和计算速度。
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公开(公告)号：CN111077743A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911212041.6
申请日：2019-11-28
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G03F9/00
摘要： 本发明公开了一种对准信号数字化同步解调方法及装置，该方法包括：对对准调幅信号进行数字化采样，得到对准调幅数字信号；在数字信号处理器中对该对准调幅数字信号和两个正交化本地参考信号分别进行混频处理，得到两个上、下边带信号；该两个上、下边带信号分别在两个带宽相同的数字低通滤波器中进行滤波，得到两个正交化下边带信号；该两个下边带信号经数字化解调算法进行解调计算，得到对准标记位置基频信号。本发明提供的该对准信号数字化同步解调方法及装置，具有电路结构简单、数字化程度高、计算速度快、无需采用调制信号作为参考信号以及无需进行相位补偿等优点，能够完成对准调制信号的数字化高精度解调。
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公开(公告)号：CN110850692B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201911211405.9
申请日：2019-11-29
申请人： 中国科学院微电子研究所
摘要： 一种数据处理方法，应用于集成电路技术领域，包括：利用双通道交替采集光强信号，对该双通道采集到的光强信号分别进行解调、滤波和归一化处理，得到多个数据包，利用并行计算方法，对各数据包分别进行数据拟合，得到各数据包的对准标记位置值，对该各数据包的对准标记位置值进行位置数据融合，得到对准位置。本申请还公开了一种光刻机对准系统，可提高对准位置解算的精度和计算速度。
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公开(公告)号：CN111678460A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010564425.0
申请日：2020-06-18
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G01B11/25
摘要： 本发明提供了一种基于空间分光的形貌测量装置及方法。所述装置包括：沿光路顺次设置的照明模组、投影光栅模组、投影光学模组、探测光学模组、探测光栅模组、分光成像模组和数据采集模组；其中，在所述投影光学模组与所述探测光学模组之间的光学通路上设置待测样品，在所述探测光栅模组前设置偏振片和分光晶体，所述分光成像模组通过Wollaston棱镜实现分光。具有无差分信号时延、对测量装置内部热环境影响较小、后端解调电路简单等优点，有效降低测量装置对光强波动的敏感性。
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公开(公告)号：CN110968000A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911211916.0
申请日：2019-11-28
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： G05B19/042
摘要： 本发明公开了一种基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统，包括：硅片对准测量分系统，内置有对准测量并行计算板卡；工件台位置测量分系统，与硅片对准测量分系统通过光纤数据通道和外同步总线实现互连；以及系统同步控制时序，基于操作系统并结合硅片对准测量分系统和工件台位置测量分系统共同实现同步控制。本发明提供的该基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统，具有灵活的网络拓扑结构，能够完成测控系统精确的同步控制和高精度并行计算。
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