一种陶瓷孔洞阵列结构减反膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN113045214A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202110281101.0

    申请日:2021-03-16

    Abstract: 本发明公开了一种陶瓷孔洞阵列结构减反膜,包括衬底和减反膜;所述衬底为透明衬底,自衬底向外单向或双向形成一层或多层减反膜;所述减反膜结构为陶瓷孔洞阵列结构;所述的陶瓷孔洞阵列结构的厚度为50‑300nm,其包括陶瓷母相和直立于陶瓷母相上的空气孔洞阵列层;所述的空气孔洞阵列层的孔洞直径不小于2nm,孔洞的平均间距为1.5‑30nm。本发明公开的减反膜在宽谱、大角度的光照射下,具有高透过率和低雾度。本发明还公开了陶瓷孔洞阵列结构减反膜的制备方法,其制备方法简单、高效。

    一种具有结构色彩的多层金属陶瓷薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN109581564B

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN201811353049.X

    申请日:2018-11-14

    Abstract: 本发明公开了一种具有结构色彩的多层金属陶瓷薄膜,自衬底向外依次包括金属层、电介质层和金属纳米线阵列‑陶瓷复合层;所述金属纳米线阵列‑陶瓷复合层中,金属纳米线直立分布于陶瓷相中,金属纳米线的直径不小于2nm,高度与所述金属纳米线阵列‑陶瓷复合层的厚度相同,金属纳米线之间的间距1.5‑20nm。该多层金属陶瓷薄膜在可见光波段范围内的吸收特性易于调控,所获得的颜色色域范围大、亮度和饱和度较好。还公开了一种具有结构色彩的多层金属陶瓷薄膜的制备方法,该制备方法简单,成本低,适合大面积制备。

    一种具有结构色彩的多层金属陶瓷薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN109581564A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811353049.X

    申请日:2018-11-14

    Abstract: 本发明公开了一种具有结构色彩的多层金属陶瓷薄膜,自衬底向外依次包括金属层、电介质层和金属纳米线阵列-陶瓷复合层;所述金属纳米线阵列-陶瓷复合层中,金属纳米线直立分布于陶瓷相中,金属纳米线的直径不小于2nm,高度与所述金属纳米线阵列-陶瓷复合层的厚度相同,金属纳米线之间的间距1.5-20nm。该多层金属陶瓷薄膜在可见光波段范围内的吸收特性易于调控,所获得的颜色色域范围大、亮度和饱和度较好。还公开了一种具有结构色彩的多层金属陶瓷薄膜的制备方法,该制备方法简单,成本低,适合大面积制备。

    一种双金属/陶瓷复合薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN106167892A

    公开(公告)日:2016-11-30

    申请号:CN201610671229.7

    申请日:2016-08-15

    CPC classification number: C23C14/352 C23C14/06 C23C14/081 C23C14/10 C23C14/185

    Abstract: 本发明公开了一种双金属/陶瓷复合薄膜,由双金属粒子和陶瓷相组成,双金属粒子嵌入到陶瓷相中,形成双金属/陶瓷复合层;所述的双金属粒子为WAl或WTi,其中,基体元素为W,掺杂元素为Al或Ti;所述的陶瓷相为氧化铝或二氧化硅;本发明还公开了该双金属合金陶瓷薄膜的制备方法,通过多靶磁控共溅射的技术来实施,其制备工艺简单,所获得的双金属陶瓷薄膜在紫外、可见光和近红外区域具有强的太阳光谱吸收特性,并具备优异的热稳定性,适用于温度高于550℃下金属纳米粒子的光吸收应用领域。

    一种低色散波段的硅基材料薄膜的折射率大幅调控方法

    公开(公告)号:CN117802465A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311834560.2

    申请日:2023-12-28

    Abstract: 本发明公开一种低色散波段的硅基材料薄膜的折射率大幅调控方法,包括步骤:步骤1,对衬底进行超声清洗活化;步骤2,选取硅靶及金属靶作为共溅射靶材对衬底共溅射,得到高折射率的硅基材料薄膜;步骤3,将所述高折射率硅基薄膜置于金属刻蚀液中刻蚀,制备低折射率的硅基材料薄膜,通过步骤2和步骤3,实现硅基材料薄膜的折射率在1.8~8之间任意调控。本发明通过将硅作为基质,通过金属靶材共溅射引入金属,刻蚀液刻蚀引入空气孔隙,有效地提高或降低了硅基材料的等效折射率,可调控范围大幅度增大,且调控精准率高。且基于其宽谱低色散,低吸收的特性,进一步扩大了红外透明材料的折射率调控范围。

    一种陶瓷孔洞阵列结构减反膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN113045214B

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202110281101.0

    申请日:2021-03-16

    Abstract: 本发明公开了一种陶瓷孔洞阵列结构减反膜,包括衬底和减反膜;所述衬底为透明衬底,自衬底向外单向或双向形成一层或多层减反膜;所述减反膜结构为陶瓷孔洞阵列结构;所述的陶瓷孔洞阵列结构的厚度为50‑300nm,其包括陶瓷母相和直立于陶瓷母相上的空气孔洞阵列层;所述的空气孔洞阵列层的孔洞直径不小于2nm,孔洞的平均间距为1.5‑30nm。本发明公开的减反膜在宽谱、大角度的光照射下,具有高透过率和低雾度。本发明还公开了陶瓷孔洞阵列结构减反膜的制备方法,其制备方法简单、高效。

    一种具有红外高折射率低色散的超材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN113249700A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110591053.5

    申请日:2021-05-28

    Abstract: 本发明公开一种具有红外高折射率低色散的超材料,包括金属纳米线阵列和介质层,金属纳米线阵列垂直嵌入到介质层;金属纳米线阵列由多个金属纳米线组成,金属纳米线直径不小于2nm,长度与介质层厚度相同,金属纳米线之间的间距为1‑6nm;金属纳米线在所述超材料的体积百分数为5%‑50%;介质层为半导体或陶瓷介质。该超材料具有较高的折射率和较低色散,本发明还公开了一种具有红外高折射率低色散的超材料的制备方法,包括:预处理衬底;选取金属,陶瓷或半导体分别作为共溅射靶材,进行多靶磁控共溅射,同时施加等离子体轰击辅助,制得金属纳米线阵列‑陶瓷或半导体复合层超材料。该制备方法操作简单、高效。

    一种完美吸收体涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN109972090B

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN201910269793.X

    申请日:2019-04-04

    Abstract: 本发明公开了一种完美吸收体涂层,自衬底向外依次包括金属反射层、电介质层、金属纳米线阵列‑陶瓷复合层、金属纳米颗粒‑陶瓷复合层以及电介质减反射层;所述金属纳米线阵列‑陶瓷复合层中,金属纳米线阵列垂直分布在陶瓷相中,金属纳米线的直径不小于3.5nm,高度与所述金属纳米线阵列‑陶瓷复合层的厚度相同,相邻金属纳米线的间距为1~15nm,金属纳米线占所述金属纳米线阵列‑陶瓷复合层的体积百分数为20%~60%;所述金属纳米颗粒‑陶瓷复合层中,金属纳米颗粒弥散均匀分布于陶瓷相中,金属纳米颗粒的直径4~15nm,占所述金属纳米颗粒‑陶瓷复合层的体积百分数为5%~45%。还公开了一种完美吸收体涂层的制备方法。

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