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公开(公告)号：CN117987772A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410120221.6
申请日：2024-01-29
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: C23C14/06 , C09K5/02 , C09K5/06 , C23C14/16 , C23C14/18 , C23C14/35 , B82Y20/00 , B82Y40/00 , B82Y30/00 , G02F1/01
Abstract: 本发明涉及纳米材料光学薄膜技术领域，公开一种具有动态红外光响应的热致相变薄膜及其制备方法和应用。所述热致相变薄膜由第一金属和第二金属复合而成；所述第一金属为铋或碲中任意一种；所述第二金属为金、银、铝、钨、镍或钛中任意一种。所述薄膜在2‑20μm具有0‑350可调的介电常数实部；所述薄膜可通过改变温度环境获得透射光谱、反射光谱或椭偏光谱的动态响应。制备方法简单高效、易于集成，且所获薄膜具备宽广工作温度区间下的强光谱响应，可用于制备光电子电路、量子信息通讯及生物医疗等领域的光响应器件。
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公开(公告)号：CN117802465A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311834560.2
申请日：2023-12-28
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开一种低色散波段的硅基材料薄膜的折射率大幅调控方法，包括步骤：步骤1，对衬底进行超声清洗活化；步骤2，选取硅靶及金属靶作为共溅射靶材对衬底共溅射，得到高折射率的硅基材料薄膜；步骤3，将所述高折射率硅基薄膜置于金属刻蚀液中刻蚀，制备低折射率的硅基材料薄膜，通过步骤2和步骤3，实现硅基材料薄膜的折射率在1.8～8之间任意调控。本发明通过将硅作为基质，通过金属靶材共溅射引入金属，刻蚀液刻蚀引入空气孔隙，有效地提高或降低了硅基材料的等效折射率，可调控范围大幅度增大，且调控精准率高。且基于其宽谱低色散，低吸收的特性，进一步扩大了红外透明材料的折射率调控范围。
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公开(公告)号：CN115021067A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210409983.9
申请日：2022-04-19
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于金属纳米线阵列表面等离激元激光发射器，包括金属纳米线阵列‑增益介质复合层；所述金属纳米线阵列‑增益介质复合层中，金属纳米线阵列垂直分布在增益介质复合层中，金属纳米线的直径不小于2nm，高度与所述金属纳米线阵列‑增益介质复合层的厚度相同，相邻金属纳米线的间距为1～15nm，金属纳米线占所述金属纳米线阵列‑增益介质复合层的体积百分数为20％～60％。该公开了一种激光发射器的制备方法，该制备方法操作简单，便于实际制备和应用，制备得到的激光发射器的激发功率密度阈值只有20W/cm2。
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公开(公告)号：CN116360020A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310277936.8
申请日：2023-03-21
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有红外高吸收的超薄吸收体及其制备方法，包括自下而上金属衬底层、超材料介质层以及复合金属层；所述金属衬底层为红外高反射金属，厚度大于100nm；所述超材料介质层为半导体内嵌垂直金属纳米线阵列，厚度为40‑300nm；所述复合金属层为铋基复合金属，厚度为10‑80nm。制备方法简单高效，且得到的超薄吸收体具有红外高吸收特性。
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公开(公告)号：CN117966095A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410075797.5
申请日：2024-01-18
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开一种抗氧化的耐高温吸热涂层及其制备方法，该涂层包括衬底、红外反射层、扩散阻挡层、金属陶瓷层和减反层；所述红外反射层为金属W；所述扩散阻挡层为SiO2或Al2O3；所述第一金属陶瓷层和第二金属陶瓷层为WZr或WHf的双金属合金纳米粒子和陶瓷基体的复合材料，所述陶瓷基体为SiZrO、SiHfO、AlZrO、AlHfO中任一种；所述减反层为SiZrO、SiHfO、AlZrO、AlHfO一种或多种材料。本发明通过微合金化和改性氧化物非晶网络结构的协同策略，配合优异阻氧能力的非晶氧化物作为减反层，得到兼具优异光学性能、抗氧化能力和高温稳定性的吸热涂层，能够长期服役于高温低真空的极端环境。
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公开(公告)号：CN116334535A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310269455.2
申请日：2023-03-20
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有优异热稳定性和阻氧能力的可变折射率减反膜的制备方法，包括以下步骤：设置金属靶材包括钛、锆、铪、镧、钕、钇、钐、镱、镥中任意一种；设置陶瓷靶材包括二氧化硅或氧化铝；控制金属靶材的功率密度为0.2‑2.0W/cm2，陶瓷靶材的功率密度为2‑5W/cm2，溅射气压范围为0.1‑1.0Pa，通过磁控溅射沉积得到减反膜。该方法能够制备得到具有优异热稳定性和阻氧能力的减反膜，同时简单高效且可灵活调控减反膜的折射率。
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公开(公告)号：CN114941129A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202210718094.0
申请日：2022-06-23
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明涉及光学薄膜技术领域，公开一种折射率可调的红外选择性吸收复合膜及其制备方法，包括衬底和吸收膜；所述衬底为刚性或柔性衬底，自衬底向外单向形成一层吸收膜；所述吸收膜为非晶结构，由任意数量红外吸收靶材共溅射形成；所述红外选择吸收复合膜的折射率、吸收波段根据共溅射参数和共溅射红外吸收靶材比例任意调控。本发明公开的吸收膜在宽谱光照射下，可实现一定的选择性吸收，且吸收膜可根据溅射条件的改变灵活调控吸收范围和强度及其折射率，且制备方法简单、高效。
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