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公开(公告)号：CN119800304A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411789552.5
申请日：2024-12-06
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种钛酸镁薄膜及其制备方法和应用，涉及钛铁矿型氧化物材料技术领域。本发明提供的钛酸镁薄膜的制备方法，采用磁控溅射技术结合热处理工艺，先在氧化镁基片上沉积TiN薄膜，再通过优化热处理工艺参数使氧化镁基片中的Mg在热处理过程中扩散到TiN薄膜层并与TiN反应生成具有菱面体晶体结构的MgTiO3薄膜，所述MgTiO3薄膜具有高的可见光透过率；并且所述钛酸镁薄膜的制备方法中采用的磁控溅射技术和热处理技术的工艺条件稳定、可控，非常适合于大规模工业化生产；解决了溶胶‑凝胶法制备的钛酸镁薄膜中易存在MgTiO2等多种杂相和大规模工业化生产中质量和性能不一致的问题。
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