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发明公开
一种光学各向异性纳米结构单晶薄膜及其制备方法和应用审中-实审

公开(公告)号：CN116641138A

公开(公告)日：2023-08-25

申请号：CN202310417279.2

申请日：2023-04-19

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 彭邵勤 , 曹彦伟 , 张如意 , 唐明华

IPC: C30B29/38 , C30B25/02 , C30B29/66 , C30B25/16 , C30B25/18

Abstract: 本发明公开了一种光学各向异性纳米结构单晶薄膜，光学各向异性纳米结构单晶薄膜为MN单晶薄膜，且包括共格外延层和岛状外延层，且共格外延层的厚度≤60nm，岛状外延层的厚度为20～300nm，岛状外延层的横向长度为5‑150nm，本发明还提供了光学各向异性纳米结构单晶薄膜的制备方法及其应用，与现有技术相比，本发明制备光学各向异性纳米结构单晶薄膜的成本低，且制得的光学各向异性纳米结构单晶薄膜具有优良的化学与热稳定性和半导体兼容性。

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