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公开(公告)号：CN112710405A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011461453.6
申请日：2020-12-08
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 北京芯可鉴科技有限公司 , 中国科学院半导体研究所 , 国网信息通信产业集团有限公司
IPC: G01K7/16
Abstract: 本发明实施例提供一种温度传感器，属于传感器技术领域。所述温度传感器包括：具有谐振腔的基板；悬臂梁，该悬臂梁位于所述谐振腔中，一端固定在所述基板上；金属层，位于所述悬臂梁的表面，温度变化时，与悬臂梁共同作用产生静态弯曲量；惠斯通电桥，包括至少一个U型可变压阻，该可变压阻位于所述悬臂梁的固定端应力最大处，用于将所述静态弯曲量转换为电信号。通过本发明提供的技术方案，能够实现对环境温度的快速高灵敏度、高精度的检测。
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公开(公告)号：CN102735564B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201210243513.6
申请日：2012-07-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支撑端连接于该惠斯特桥式检测电路，该惠斯特桥式检测电路由四个U型结构的压阻条(1)、三个输入电极(8、9、10)和两个输出电极(7、11)构成，四个压阻条(1)通过信号传输线(2)连接于输入电极(8、9、10)和输出电极(7、11)。该生化传感器通过检测吸附待测物后导致的频率变化，感知微小生化分子，具有较高的灵敏度，可探测到微小质量的生化分子，能够广泛应用于医学、化工等工程领域。
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公开(公告)号：CN103303862A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310234239.0
申请日：2013-06-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法，生化传感器以悬臂梁为结构单元，采用微纳加工工艺在硅基片上制作，即在硅片上通过光刻、干法刻蚀工艺制作悬臂梁及其附属结构，通过离子注入、电子束蒸发工艺制作出电学感应元件，从而使器件具有对探测信号自检测的功能。封装盖片通过设计模具，采用聚合物固化脱模键合工艺制作而成。本发明大大提高了器件的制作精度和成品率，可用于器件的大规模制作，有效降低了生产成本。此外，本发明还可应用于其它结构的MEMS器件的制作，如双端固支梁结构、叉指式加速度计及其它电容、电阻式传感器。
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公开(公告)号：CN112710405B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202011461453.6
申请日：2020-12-08
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 北京芯可鉴科技有限公司 , 中国科学院半导体研究所 , 国网信息通信产业集团有限公司
IPC: G01K7/16
Abstract: 本发明实施例提供一种温度传感器，属于传感器技术领域。所述温度传感器包括：具有谐振腔的基板；悬臂梁，该悬臂梁位于所述谐振腔中，一端固定在所述基板上；金属层，位于所述悬臂梁的表面，温度变化时，与悬臂梁共同作用产生静态弯曲量；惠斯通电桥，包括至少一个U型可变压阻，该可变压阻位于所述悬臂梁的固定端应力最大处，用于将所述静态弯曲量转换为电信号。通过本发明提供的技术方案，能够实现对环境温度的快速高灵敏度、高精度的检测。
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公开(公告)号：CN112710706A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011443736.8
申请日：2020-12-08
Applicant: 北京智芯微电子科技有限公司 , 北京芯可鉴科技有限公司 , 中国科学院半导体研究所 , 国网信息通信产业集团有限公司 , 国网思极紫光(青岛)微电子科技有限公司
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明实施例提供一种湿度传感器，属于传感器技术领域。所述湿度传感器包括：第一电极、第二电极、湿度敏感材料层；所述湿度敏感材料层位于第一电极和第二电极之间；所述第二电极为多孔电极，开孔的形状为圆形或三角形。通过本发明提供的技术方案，能够实现对环境湿度的高灵敏度、高精度的检测，同时提高了传感器的可集成度与稳定性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103303862B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201310234239.0
申请日：2013-06-14
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器的制作方法，生化传感器以悬臂梁为结构单元，采用微纳加工工艺在硅基片上制作，即在硅片上通过光刻、干法刻蚀工艺制作悬臂梁及其附属结构，通过离子注入、电子束蒸发工艺制作出电学感应元件，从而使器件具有对探测信号自检测的功能。封装盖片通过设计模具，采用聚合物固化脱模键合工艺制作而成。本发明大大提高了器件的制作精度和成品率，可用于器件的大规模制作，有效降低了生产成本。此外，本发明还可应用于其它结构的MEMS器件的制作，如双端固支梁结构、叉指式加速度计及其它电容、电阻式传感器。
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公开(公告)号：CN118758351A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410785085.2
申请日：2024-06-18
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网江苏省电力有限公司南京供电分公司
Abstract: 本发明提供一种基于连续域束缚态超表面的超声波传感芯片，包括：衬底层；第一包覆层，覆盖所述衬底层；连续域束缚态超表面层，覆盖所述第一包覆层，所述连续域束缚态超表面被配置为感应光场；以及第二包覆层，覆盖所述连续域束缚态超表面层，所述第二包覆层被配置为感应和放大超声波信号；其中，所述连续域束缚态超表面层具有朝向所述第二包覆层的超表面，所述超表面形成有微腔结构，所述连续域束缚态超表面层还被配置为通过所述微腔结构，在所述超声波信号的作用下对所述光场进行调制。本发明能够实现高灵敏度和高分辨率的超声波检测，可广泛应用于电力系统中的设备监测和故障检测，以及医疗诊断、工业检测和科学研究等领域。
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公开(公告)号：CN103543081B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310454428.9
申请日：2013-09-29
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 天津市肿瘤研究所
IPC: G01N5/02 , G01N33/574
Abstract: 本发明公开了一种用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法，该系统包括：微悬臂梁阵列传感单元，其将悬臂梁的机械信号转化为电信号，并输出至数字化显示接口处理电路；表面修饰层，生长在微悬臂梁阵列传感单元表面，用于功能化微悬臂梁阵列传感单元表面，使其能够与肝癌标志物抗原特异性结合；封装外壳，用于保护微悬臂梁阵列传感单元，并提供生化反应进／出样口及反应腔室；驱动模块，用于向微悬臂梁阵列传感单元提供谐振激励信号；数字化显示接口处理电路，用于根据所述微悬臂梁的谐振频率变化量获得肝癌标志物质量并输出。本发明提出的上述系统及方法使普及肝癌早期筛查成为可能，对实现肝癌早诊早治、提高肝癌生存率有着重大意义。
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公开(公告)号：CN103543081A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201310454428.9
申请日：2013-09-29
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 天津市肿瘤研究所
IPC: G01N5/02 , G01N33/574
Abstract: 本发明公开了一种用于肝癌早诊的便携式传感系统及其功能化修饰方法，该系统包括：微悬臂梁阵列传感单元，其将悬臂梁的机械信号转化为电信号，并输出至数字化显示接口处理电路；表面修饰层，生长在微悬臂梁阵列传感单元表面，用于功能化微悬臂梁阵列传感单元表面，使其能够与肝癌标志物抗原特异性结合；封装外壳，用于保护微悬臂梁阵列传感单元，并提供生化反应进／出样口及反应腔室；驱动模块，用于向微悬臂梁阵列传感单元提供谐振激励信号；数字化显示接口处理电路，用于根据所述微悬臂梁的谐振频率变化量获得肝癌标志物质量并输出。本发明提出的上述系统及方法使普及肝癌早期筛查成为可能，对实现肝癌早诊早治、提高肝癌生存率有着重大意义。
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公开(公告)号：CN102735564A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210243513.6
申请日：2012-07-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支撑端连接于该惠斯特桥式检测电路，该惠斯特桥式检测电路由四个U型结构的压阻条(1)、三个输入电极(8、9、10)和两个输出电极(7、11)构成，四个压阻条(1)通过信号传输线(2)连接于输入电极(8、9、10)和输出电极(7、11)。该生化传感器通过检测吸附待测物后导致的频率变化，感知微小生化分子，具有较高的灵敏度，可探测到微小质量的生化分子，能够广泛应用于医学、化工等工程领域。
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