公开(公告)号：CN120008746A

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202311516765.6

申请日：2023-11-14

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 王子栋 ,  程传同 ,  黄北举

IPC: G01J5/10

Abstract: 本公开提供了一种微测辐射热计结构，从下至上依次包括：衬底(1)、多面体结构层(2)、二氧化硅气凝胶层(3)、反射层(4)、保护层(5)、热敏感层(6)、电极(7)及光吸收层(8)；其中，多面体结构层(2)由多个多面体结构阵列式排列组成，刻蚀形成于衬底(1)上；二氧化硅气凝胶层(3)沉积于多面体结构层(2)以及衬底(1)的上表面，二氧化硅气凝胶层(3)的高度大于多面体结构层(2)的高度；热敏感层(6)沉积于保护层(5)的上表面的第一预定区域，第一预定区域的面积小于保护层(5)的面积；电极(7)沉积于保护层(5)、热敏感层(6)及光吸收层(8)之间。

公开(公告)号：CN117810287A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202311861694.3

申请日：2023-12-29

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 程传同 ,  王子栋 ,  郑玉琳 ,  黄北举 ,  张旭 ,  陈弘达

IPC: H01L31/103 ,  H01L27/146

Abstract: 本公开提供一种红外探测器、光谱芯片和多色成像芯片。红外探测器包括：依次叠加的衬底，第一红外量子点层，第一介质层和第二红外量子点层；第一电极和第二电极；其中，第一电极与第二电极设置于第一红外量子点层的同一侧或相对侧，且第一电极与衬底相接触；第一红外量子点层内设置有第一量子点，第二红外量子点层内设置有第二量子点；第一量子点与第二量子点均用于吸收红外光；以及第一量子点的尺寸大于第二量子点的尺寸。本公开的红外探测器结构简单小巧，易于大规模集成，可以用于制作光谱芯片和多色成像芯片。

公开(公告)号：CN117615632A

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN202311206321.2

申请日：2023-09-18

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 程传同 ,  王子栋 ,  黄北举 ,  陈弘达

IPC: H10N10/80 ,  G01J5/10 ,  G01J5/08 ,  B01J13/00 ,  H10N10/01 ,  H10N10/10

Abstract: 本发明公开了一种具有隔热层的红外热辐射探测器及其制备方法，该具有隔热层的红外热辐射探测器包括：硅基氧化硅衬底；纳米金颗粒层，纳米金颗粒层采用聚甲基丙烯酸甲酯粘附在硅基氧化硅衬底上；隔热层，采用二氧化硅气凝胶制成，隔热层形成在纳米金颗粒层上；依次形成在隔热层上的反射层、保护层、热敏探测层、金属电极；其中，纳米金颗粒层适用于将隔热层粘附在硅基氧化硅衬底上，并且纳米金颗粒层适用于释放沉积隔热层时产生的应力，以避免出现隔热层薄膜翘曲、皴裂等导致的薄膜不均匀、变形甚至脱落，提高隔热层二氧化硅气凝胶薄膜的成膜质量，进而能够提高红外热辐射探测器的稳定性和探测效率。

公开(公告)号：CN117894811A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202410051949.8

申请日：2024-01-12

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 程传同 ,  王子栋 ,  关硕 ,  宁云昊 ,  黄北举 ,  陈弘达

IPC: H01L27/146 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供了一种基于卤化物钙钛矿纳米晶的射线图像传感器及其制备方法，涉及射线探测器技术领域。该基于卤化物钙钛矿纳米晶的射线图像传感器包括：衬底；阳极氧化铝模板，设于衬底上，阳极氧化铝模板上分布有纳米孔洞，纳米孔洞内填充有钙钛矿纳米晶材料，其中，钙钛矿纳米晶材料的带隙朝着远离衬底的方向逐渐减小。该基于卤化物钙钛矿纳米晶的射线图像传感器，引入了带隙梯度变化的无机钙钛矿纳米晶构成的纳米线结构，纳米线带隙由底层到顶层逐渐降低，确保上层产生的光不被下层的钙钛矿纳米晶吸收，从而解决了自吸收问题。