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公开(公告)号：CN103278109A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310198707.3
申请日：2013-05-24
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： G01B11/26
摘要： 本发明一种星用扫描角监控器测角精度检测装置，其中小平面镜连接与扫描角监控器的安装基面位置处；星用扫描角监控器安装在二维倾斜台上并放置在二维平移台上；双面模拟摆镜安装在三维调整台上并放置在数显转台上；第一自准直仪、第二自准直仪放置在升降架上；二维平移台、数显转台、升降架放置在检测平台的台面上；芯轴套入数显转台的中心孔中，标准圆器放置于标准块上，并靠紧芯轴；激光器发出的激光束对准五折镜的中心棱镜，形成一检测基准光轴；千分表固定在检测平台上；量块放置于数显转台上方及星用扫描角监控器和双面模拟摆镜之间，量块的一面靠近星用扫描角监控器的安装基面，另一面靠近双面模拟摆镜的第一光学面。
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公开(公告)号：CN106091903A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610365519.9
申请日：2016-05-27
申请人： 中国科学院光电技术研究所
CPC分类号： G01B5/30 , G01B5/0004
摘要： 本发明涉及一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置，其精密轴系固定在平台上，旋臂依靠法兰盘固定在精密轴系上；第一平面镜与第二平面镜分别安装在两个四维调整架上，再分别安装在旋臂的中心和边缘两个位置；自准直仪安装在二维平移台上，放置在第一平面镜正前方；对准基片套在第一平面镜的圆周处，十字与小孔标识与第一平面镜的镜面平行。精密轴系带动旋臂及两块平面镜一起做匀速圆周运动，自准直仪发出的激光经两块平面镜反射形成自准直光路，实现对旋臂弯沉量的测试。本发明装置搭建简单、检测基准有效并准确传递、稳定性好。
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公开(公告)号：CN106091903B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201610365519.9
申请日：2016-05-27
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明涉及一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置，其精密轴系固定在平台上，旋臂依靠法兰盘固定在精密轴系上；第一平面镜与第二平面镜分别安装在两个四维调整架上，再分别安装在旋臂的中心和边缘两个位置；自准直仪安装在二维平移台上，放置在第一平面镜正前方；对准基片套在第一平面镜的圆周处，十字与小孔标识与第一平面镜的镜面平行。精密轴系带动旋臂及两块平面镜一起做匀速圆周运动，自准直仪发出的激光经两块平面镜反射形成自准直光路，实现对旋臂弯沉量的测试。本发明装置搭建简单、检测基准有效并准确传递、稳定性好。
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公开(公告)号：CN103278109B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201310198707.3
申请日：2013-05-24
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： G01B11/26
摘要： 本发明一种星用扫描角监控器测角精度检测装置，其中小平面镜连接与扫描角监控器的安装基面位置处；星用扫描角监控器安装在二维倾斜台上并放置在二维平移台上；双面模拟摆镜安装在三维调整台上并放置在数显转台上；第一自准直仪、第二自准直仪放置在升降架上；二维平移台、数显转台、升降架放置在检测平台的台面上；芯轴套入数显转台的中心孔中，标准圆器放置于标准块上，并靠紧芯轴；激光器发出的激光束对准五折镜的中心棱镜，形成一检测基准光轴；千分表固定在检测平台上；量块放置于数显转台上方及星用扫描角监控器和双面模拟摆镜之间，量块的一面靠近星用扫描角监控器的安装基面，另一面靠近双面模拟摆镜的第一光学面。
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公开(公告)号：CN109489938B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201811356203.9
申请日：2018-11-15
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： G01M11/00
摘要： 本发明公开了一种基于自准直成像法光学镜头畸变的检测方法，该方法主要由目标及探测系统、被测光学镜头、平面反射镜、控制处理系统、平面反射镜联接件、数控转台、五维调整台及一维数控平移台等组成。目标及探测系统的出射目标点调至被测光学镜头的焦面上形成基准像点，经被测光学镜头及平面反射镜后自准直像点为测量像点，当两像点重合时，一维数控平移台和数控转台的位置(x0，θ0)。测量时，目标及探测系统随一维数控平移台移动距离x1，旋转数控转台，使两像点重合，记下数控转台的示值(θ1)，依次移动一维数控平移台(x2，x3，……)，重合上述操作，记下数控转台的示值(θ2，θ3，……)。经计算，得出被光学系统的畸变。提高了畸变检测精度。
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公开(公告)号：CN104176686B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410357512.3
申请日：2014-07-25
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： B66F13/00
摘要： 本发明涉及一种基于差动螺旋传动与摇杆滑块传动的连杆升降及翻转装置，差动螺杆中心穿过丝杆轴座，差动螺杆两端头与左右两个轴承组件配合装配，差动螺杆的左右两段螺纹分别旋入左驱动螺母、右驱动螺母，组成差动螺旋机构。升降滑动导轨的上台面与滑块的下台面配合装配。轴组件连接滑块与翻转架，翻转连杆一端与翻转架固定，另一端与支撑架用固定销轴及销卡板固定或解脱。连杆、滑块与支撑架组成摇杆滑块机构，摇杆摆动带动滑块沿着升降滑动导轨上下运动。滑块、翻转架、翻转连杆与支撑架组成摇杆滑块机构，滑块上下直线运动带动翻转架进行翻转运动。本发明同时实现升降与翻转两种功能，结构更紧凑，节省有限空间，操作方便，稳定性好。
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公开(公告)号：CN105719704A
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201610229216.4
申请日：2016-04-13
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明涉及一种空间大角度精密切换及锁定装置，铰链座固定在角度支座的斜面上，翻转螺杆中心穿过螺杆转轴座，与固定在连轴套上的螺纹套组成滑动螺旋机构。铰链座、上连杆A、上连杆B与支撑架及铰链座、下连杆A、下连杆B与支撑架组成两组平行铰链四杆机构。翻转螺杆螺旋运动带动上下连杆运动，而连杆运动带动支撑架进行张开或收缩翻转运动，实现装置角度位置的变换。弧形锁定座的定位基面安装在支撑架基面上，与支撑架一起绕轴线旋转，锁紧螺钉在弧形锁定座圆弧线上滑动，实现锁紧与解锁。本发明集成螺旋机构与铰链四杆机构实现空间角度切换功能，结构紧凑、角度范围大、精度高；运动到位后三重锁紧结构，稳定性好。
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公开(公告)号：CN101936699A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010266710.0
申请日：2010-08-24
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明涉及一种摆臂式三维轮廓仪，该轮廓仪包括：测头系统、横臂、立柱、配重、被测平面元件、工件转台和横臂转台，立柱的一端部位于横臂转台的安装孔中并固定连接，横臂位于立柱的另一端部安装孔中；在横臂的一端部设置有配重，在横臂的另一端部设置有测头系统；工件转台上置有被测平面元件；测头系统的探测端与被测平面元件接触；所述的横臂和立柱，用于完成测头系统的旋转运动；所述的配重用于平衡测头系统和横臂以保证横臂转台保持平稳的旋转。本发明的检测仪可用于大口径、高精度平面元件三维表面轮廓的测量和分析，可测量的参数有三维形貌图、二维形貌图、PV、RMS、三维形貌体积。
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公开(公告)号：CN117470506A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311444134.8
申请日：2023-11-02
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明涉及一种采用激光阵列测试光学系统光谱透过率的装置及方法，包括滑轨或靶轮、阵列激光器、平行光管、光阑、翻转反射镜、样品区和探测器。阵列激光器是由多个激光器排列在滑轨上或安装在靶轮上组合而成，激光器均放置在平行光管的焦点处，经过平行光管后得到平行光。测试光谱透过率的光源通常使用单色仪、白光光源+窄带滤波片或特定波长的激光器，单色仪和白光光源+窄带滤波片为光源发出的光能量很微弱，而激光器为光源，单色性好、能量强。光源为阵列激光器可以达到较大的波长范围且能量强，调整滑轨上不同激光器的位置，可以快速测量光谱透过率。本发明能够简单、快速地对光学系统光谱透过率进行测试。
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公开(公告)号：CN117091695A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311069926.1
申请日：2023-08-24
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明涉及一种采用阵列分光镜标定光电探测器线性误差的装置及方法，包括：激光光源、阵列分光镜、光电探测器、光功率计，激光光源具有光束整形器，光电探测器连接光功率计。光电探测器线性误差标定的传统功率或能量调节法存在标定难度大、标定成本高、标定效率低等问题。本发明在同一特定波长光源下，光电探测器分别接收阵列分光镜的反射光或透射光，可得光电探测器测量值与激光功率理论值；对光电探测器测量得到的各点激光功率值与相应的激光功率理论值进行拟合，可以得到激光功率理论值与光电探测器测量值的函数关系，功率理论值＝功率测量值×标定系数。
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