具有氧化物薄膜的结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN109950134B

    公开(公告)日:2022-01-21

    申请号:CN201910208949.3

    申请日:2019-03-19

    Abstract: 本发明提供一种具有氧化物薄膜的结构及其制备方法,包括如下步骤:制备氧化物薄膜,氧化物薄膜的至少一表面形成有氧原子扩散阻挡层。本发明通过在氧化物薄膜的至少一表面形成氧原子扩散阻挡层,可以避免氧化物薄膜与衬底或金属电极直接接触,保证氧化物薄膜中的氧原子不会被衬底或金属电极夺取,确保氧化物薄膜的导电率、功函数及折射率等性质不会发生变化,从而确保器件的功能,确保器件不会失效。

    一种氮掺杂石墨烯薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106148910B

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201510158283.7

    申请日:2015-04-03

    Abstract: 本发明提供一种氮掺杂石墨烯薄膜的制备方法,所述方法包括步骤:首先提供一基底,将所述基底置于双温区系统,并在所述双温区系统中放置碳氮源,加热以在所述基底表面沉积形成氮掺杂石墨烯的前驱层;然后通入气体碳源,高温条件下碳沉积反应形成氮掺杂石墨烯薄膜。本发明在固液体碳氮源生长氮掺杂石墨烯方法的基础上引入小分子气体碳源来完善前驱层,使得现有方法中缺陷较多,电学性质较差,掺杂浓度不可控的氮掺杂石墨烯薄膜质量得到改善,从而获得电学性能优秀,缺陷较少的氮掺杂可控的N型石墨烯薄膜。

    一种多层石墨烯薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN104843694A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201510257911.7

    申请日:2015-05-20

    Abstract: 本发明提供一种多层石墨烯薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1:在生长于金属层表面的石墨烯薄膜上形成聚合物支撑层;S2:溶解金属层,并对聚合物支撑层/石墨烯薄膜进行掺杂;S3:将聚合物支撑层/石墨烯薄膜覆盖到另一生长于金属层表面的石墨烯薄膜上;S4:再次溶解金属层并掺杂;S5:将聚合物支撑层/石墨烯薄膜覆盖到目标衬底上,去除聚合物支撑层。通过灵活控制重复步骤S3~S4的次数,可以得到位于目标衬底上所需层数的石墨烯薄膜。本发明通过在转移过程中将一次形成的聚合物支撑层反复利用,避免各层石墨烯之间的聚合物残余;同时在逐层转移过程中进行化学掺杂,使得掺杂离子处于各层石墨烯之间,不易从石墨烯薄膜上脱离,延长了掺杂的效果。

    氮掺杂的碳纳米管/石墨烯复合薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN110371956B

    公开(公告)日:2022-07-05

    申请号:CN201910745133.4

    申请日:2019-08-13

    Abstract: 本发明提供一种氮掺杂的碳纳米管/石墨烯复合薄膜及其制备方法。所述制备方法包括步骤:1)提供基底,将基底置于气相沉积设备中;2)将六次甲基四胺固体置于气相沉积设备中,对六次甲基四胺固体进行加热分解,并在还原性气体氛围中采用低压化学气相沉积工艺于基底表面形成氮掺杂的碳纳米管/石墨烯复合薄膜。本发明以廉价的六次甲基四胺为唯一碳氮源,采用低压化学气相沉积一步法得到了氮掺杂的碳纳米管/石墨烯复合薄膜。该制备方法具有设备和工艺步骤简单、原材料廉价易得等优点。基于本发明的制备方法制备而成的碳纳米管/石墨烯复合薄膜中的碳纳米管具有高取向性,各个碳纳米管之间相互独立,分布均匀,薄膜性能显著提升。

    透明导电薄膜、光电器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN107610802B

    公开(公告)日:2019-08-30

    申请号:CN201610542566.6

    申请日:2016-07-11

    Abstract: 本发明提供一种透明导电薄膜、光电器件及其制作方法,包括:目标结构;银纳米线薄膜层,位于目标结构表面;透明导电聚合物填充层,填充于银纳米线薄膜层内部的空隙,且覆盖银纳米线薄膜层。透明导电薄膜具有高导电性和高透过率的优点;通过对银纳米线薄膜层进行亲水处理使得透明导电聚合物填充层能够在其上均匀涂布;并且通过透明导电聚合物填充层与石墨烯薄膜的覆盖,在保证透明导电薄膜高透过率、高导电性的同时,有效地降低了其表面的粗糙度;同时所述透明导电薄膜还具备可弯曲特性,在柔性衬底上制备上述透明导电薄膜经过数次弯曲后,透过率与方块电阻均无明显变化,表现出替代ITO用于光电器件、尤其是应用于柔性光电器件的极大潜力。

    具有氧化物薄膜的结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN109950134A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910208949.3

    申请日:2019-03-19

    Abstract: 本发明提供一种具有氧化物薄膜的结构及其制备方法,包括如下步骤:制备氧化物薄膜,氧化物薄膜的至少一表面形成有氧原子扩散阻挡层。本发明通过在氧化物薄膜的至少一表面形成氧原子扩散阻挡层,可以避免氧化物薄膜与衬底或金属电极直接接触,保证氧化物薄膜中的氧原子不会被衬底或金属电极夺取,确保氧化物薄膜的导电率、功函数及折射率等性质不会发生变化,从而确保器件的功能,确保器件不会失效。

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