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公开(公告)号:CN104032278A
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201410258898.2
申请日:2014-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法。通过对金属钒或低价态钒氧化物薄膜进行真空条件下通氧退火得到有相变二氧化钒薄膜。根据低价钒氧化物的类型和厚度选择最合适的氧气分压、退火温度和退火时间可以得到性能优异的二氧化钒薄膜,2400nm处红外调节率可达58%,可见光透过率43%。通过对已经掺杂的低价态钒氧化物薄膜氧化得到掺杂的二氧化钒薄膜,该掺杂可以调节二氧化钒相变温度以适应不同需求。该种二氧化钒薄膜可以应用到光信息存储、光电开关和智能窗以及非制冷红外焦平面成像上。本发明与大规模镀膜玻璃生产线工艺兼容,可以在非晶玻璃上生长性能良好的二氧化钒薄膜。
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公开(公告)号:CN102910837A
公开(公告)日:2013-02-06
申请号:CN201210393059.2
申请日:2012-10-16
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
IPC: C03C17/36
Abstract: 本发明公开了一种离线可钢化智能低辐射镀膜玻璃及其制备方法。该离线可钢化智能低辐射镀膜玻璃包括玻璃衬底、低辐射功能膜系、二氧化钒红外辐射智能调节膜系和可离线钢化的氮化硅保护膜,使镀膜玻璃同时具备随温度智能调节效果、低辐射节能效果和离线可钢化性能。本发明的复合膜系可通过工业化磁控溅射制备方法在大面积玻璃衬底上镀制,还可按照实际需求对镀膜玻璃进行切割后再离线钢化处理,是一类灵活性高、可实现大规模生产的新型智能建筑节能镀膜玻璃产品。
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公开(公告)号:CN102226737A
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:CN201110071290.5
申请日:2011-03-23
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 阿旺赛镀膜技术(上海)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种检测半导体发光二极管一次散热性和二次散热性好坏的方法。本发明提出了基于光谱方法的半导体发光二极管结温与时间依赖关系获得半导体发光二极管一次散热性和二次散热性好坏的新方法。通过光学测量方法得到温度和时间的动态曲线,由两段指数拟合该曲线来获得表征该发光二极管一次散热性和二次散热性好坏的相关系数。本发明可以简单方便的确定半导体发光二极管一次散热性和二次散热性的好坏,对于寻找最优化的封装材料和封装结构,提高发光二极管的热可靠性和节约成本具有重要意义。
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公开(公告)号:CN102004028A
公开(公告)日:2011-04-06
申请号:CN201010285365.5
申请日:2010-09-17
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 阿旺赛镀膜技术(上海)有限公司 , 上海宇豪光电技术有限公司 , 上海半导体照明工程技术研究中心
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种检测半导体发光二极管封装结构有效散热性的方法。本发明提出了基于光谱方法的半导体发光二极管结温与时间依赖关系获得半导体发光二极管封装结构有效散热性的好坏的新方法。通过光学测量方法得到温度和时间的动态曲线,由指数拟合该曲线来获得表征该封装结构有效散热性的等效散热系数。本发明可以简单方便的确定半导体发光二极管封装结构有效散热性,对于寻找最优化的封装材料和封装结构,提高发光二极管的热可靠性和节约成本具有重要意义。
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公开(公告)号:CN103243885B
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201310148800.3
申请日:2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种低成本颜色可调的低辐射窗槛墙膜系及其制备方法。该膜系自透明基底向上依次包括镀制在透明基底上的下层氮化硅薄膜、可见光吸收薄膜、金属薄膜以及上层氮化硅保护膜。本发明的膜系在可见光范围对太阳光的平均反射率在5%~30%,而辐射率小于10%。同时本发明的膜系在保持对可见光低反射、红外低辐射率前提下,还具有外观颜色可按需求进行调节的特点,丰富多彩的外观颜色可更好地实现了窗槛墙对建筑的美化效果。由于采用了上、下层氮化硅保护膜夹心结构,本发明的膜系还具备可钢化特性。本发明的颜色可调的低辐射窗槛墙膜系可直接通过工业化磁控溅射制备方法在大面积透明基底上连续镀制,易于实现低成本、大规模工业化生产。
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公开(公告)号:CN103017383B
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201210506859.0
申请日:2012-11-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种颜色可调的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法。该颜色可调节的太阳能选择性吸收膜系自下而上依次包括镀制在金属衬底上的氮氧化钛薄膜、二氧化钛薄膜、氮化硅薄膜以及二氧化硅薄膜。本发明的吸收膜系对太阳能的吸收率大于96%,发射率小于4%,具有光热转换效率高和集热效率高以及颜色可调的特点。本发明的吸收膜系具有在保持良好吸收率和发射率的前提下,调节外观颜色的特点,丰富多彩的外观颜色可更好地实现太阳能集热产品与建筑一体化,满足太阳能热水器、太阳能空调等光热产品的美观、多样和个性化需求。本发明的吸收膜系可直接通过工业化磁控溅射制备方法在大面积衬底上连续镀制,易于实现大规模工业化生产。
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公开(公告)号:CN103117333A
公开(公告)日:2013-05-22
申请号:CN201110364932.0
申请日:2011-11-16
Applicant: 常州光电技术研究所 , 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海宇豪光电技术有限公司 , 江苏奥蓝工程玻璃有限公司 , 中科德孵镀膜科技(南通)有限公司
IPC: H01L33/00
Abstract: 本发明公开了一种提高器件良率的透明电极制作方法,包括以下步骤:①涂胶:在需要镀制透明电极的器件功能层上面涂一层光刻胶;②曝光和显影:在光刻胶上加上所需图形的光刻版进行曝光和显影;③镀膜:在前述带有光刻胶图案的器件上镀制所需的TCO薄膜;④去胶:将镀制好TCO薄膜的器件放入丙酮或其他溶解光刻胶的溶液中,洗掉光刻胶及光刻胶所保护区域上面镀制的TCO薄膜,得到所需图形的TCO薄膜。本发明先进行光刻后再镀膜,避免了腐蚀或刻蚀这一具有损伤性的步骤,从而消除了可能带来的损伤,大大地减少了腐蚀工艺给器件可能造成的破坏,既提高了产品的良品率又减小了工作量。
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公开(公告)号:CN102136519A
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN201010564411.5
申请日:2010-11-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 阿旺赛镀膜技术(上海)有限公司 , 上海中科高等研究院
IPC: H01L31/101 , H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种量子阱长波红外探测器光栅波导微腔的光耦合单元。其结构特点是采用金属背反射层、介质层、金属光栅的夹层结构。这种光耦合结构有如下优点:一、采用金属的阵列结构提高了入射光的耦合效率。二、光场被局域在金属光栅层和金属背反射层之间的微小空间内传播,从而大大提高了量子阱层的电场强度。三、采用类似于微带天线结构使得垂直电场分量在纵向方向上具有很好的均匀性。四、金属结构不仅是光耦合单元,同时还充当上下电极。五、易于制备,适合做大面阵光敏元。
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公开(公告)号:CN104250068A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410403361.0
申请日:2014-08-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: C03C17/34
Abstract: 本发明公开了一种智能节能窗用二氧化钒基膜系及其制备方法。该膜系包括功能层和减反保护层,其中功能层为掺杂二氧化钒薄膜,减反保护层为光学介质,如:二氧化硅、氮化硅、二氧化钛、氧化铝、氮化铝、五氧化二钽等,减反保护层可以是一层或多层。掺杂二氧化钒薄膜是通过溅射法在衬底上沉积一层掺杂的金属钒膜,把上述薄膜在真空条件下通氧退火得到相变温度接近室温的掺杂二氧化钒薄膜。然后在制备好的掺杂二氧化钒薄膜表面沉积一层光学介质层,提高薄膜可见光透过率并增强薄膜耐候性。该膜系根据气温智能地调节太阳光红外辐射的入射量,实现冬暖夏凉的效果。
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公开(公告)号:CN103411335A
公开(公告)日:2013-11-27
申请号:CN201310326560.1
申请日:2013-07-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了辐射吸收层基于混合物的选择性吸收膜系,其混合物由高吸收材料和透明材料混合而成。该吸收膜系包括:金属衬底、在衬底上依次沉积的辐射吸收层基于混合物的选择性吸收薄膜、减反射介质薄膜、保护薄膜。本发明的吸收膜系通过调节膜系的材料,涂层厚度,混合膜层成份,尺寸,形状等参数,灵活控制吸收膜性能。可以在保持高吸收率和低发射率的前提下,满足太阳能热水器、太阳能空调等光热产品的多样化和个性化需求。本发明吸收膜系的特点是结构简单,适用于各种工艺制备,对太阳能选择性吸热膜领域的发展有着十分重要的意义。
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