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公开(公告)号：CN113917190B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202111172714.7
申请日：2021-10-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于FIB设备定制AFM探针的方法及原子力显微镜。方法包括步骤：提供FIB设备，将针尖基底和悬臂梁基底固定于样品台上并置于FIB设备的工艺腔室内；利用聚焦离子束刻蚀从针尖基底上切取所需长度的针梢，且利用聚焦离子束刻蚀在悬臂梁基底的一端刻蚀出安装面；将针梢的一端放置于安装面上，并利用聚焦离子束沉积将针梢的一端和安装面相固定；利用聚焦离子束刻蚀对针梢进行轰击削尖，以将针梢加工成所需尺寸的针尖而得到所需的AFM探针。本发明利用FIB技术提供了一种针尖高度和曲率半径可控的AFM探针的制备方法，探针制备的灵活性大大提高，可用于定制各种特殊参数的AFM探针以满足不同的检测需求，有助于提高制备良率和降低制备成本。
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公开(公告)号：CN113917190A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111172714.7
申请日：2021-10-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于FIB设备定制AFM探针的方法及原子力显微镜。方法包括步骤：提供FIB设备，将针尖基底和悬臂梁基底固定于样品台上并置于FIB设备的工艺腔室内；利用聚焦离子束刻蚀从针尖基底上切取所需长度的针梢，且利用聚焦离子束刻蚀在悬臂梁基底的一端刻蚀出安装面；将针梢的一端放置于安装面上，并利用聚焦离子束沉积将针梢的一端和安装面相固定；利用聚焦离子束刻蚀对针梢进行轰击削尖，以将针梢加工成所需尺寸的针尖而得到所需的AFM探针。本发明利用FIB技术提供了一种针尖高度和曲率半径可控的AFM探针的制备方法，探针制备的灵活性大大提高，可用于定制各种特殊参数的AFM探针以满足不同的检测需求，有助于提高制备良率和降低制备成本。
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公开(公告)号：CN105002562A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510434137.2
申请日：2015-07-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于钙氟层的铁砷基高温超导体单晶及其制备方法，所述单晶具有与ZrCuSiAs相同的四方的晶体结构，起始超导转变温度为21K。本发明的制备方法采用CaAs做自助熔剂，通过缓慢降温结晶的方法制得基于钙氟层的铁砷基高温超导体单晶，该方法得到的单晶具有1-2毫米的尺寸。
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