公开(公告)号：CN104810425A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201410035671.1

申请日：2014-01-24

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 冯飞 ,  林立伟 ,  杨晨 ,  王跃林

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/09 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/1884

Abstract: 本发明提供一种紫外探测器及其制作方法，该探测器从下而上依次由绝缘衬底、下电极、紫外敏感薄膜、金属上电极和石墨烯透明电极构成。所述下电极分为两种：一种是由单金属或复合金属薄膜；另一种下电极由透明导电薄膜ITO和制作在该薄膜上环绕在紫外敏感薄膜周围的金属电极构成，环状金属电极与ITO薄膜之间为欧姆接触，环状金属电极由金或铂构成。紫外敏感薄膜可以是氮化镓、掺铝氮化镓、氧化锌、掺镁氧化锌、碳化硅和金刚石中的某一种材料。金属上电极由金或铂构成，可采用长条状或环状或网状结构。完整的石墨烯透明电极覆盖在紫外敏感薄膜和大部分金属上电极上方。本发明所涉及的紫外探测器具有紫外辐射透过率高、量子效率高的特点。