公开(公告)号：CN105742412A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201610273996.2

申请日：2016-04-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 韩安军 ,  柳效辉 ,  黄勇亮 ,  王宪 ,  吴敏 ,  孟凡英 ,  刘正新

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/032

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0323

Abstract: 本发明提供一种薄膜太阳能电池吸收层碱金属掺入方法，所述掺入方法至少包括：提供待处理的薄膜太阳能电池吸收层，配置含有碱金属离子的溶液，采用非真空镀膜的方法将所述碱金属离子溶液沉积于所述吸收层表面，并将所述吸收层放置于热处理炉中，往所述热处理炉中通入惰性气体或硒化氢和惰性气体的混合气体，升温至设定的温度，以使碱金属离子扩散进所述吸收层。本发明的碱金属掺入方法可在吸收层表面产生原子排空，促进缓冲层CdS中的Cd原子扩散进吸收层表面形成浅埋PN结，减少载流子在吸收层/缓冲层的界面层复合，提高开路电压，提高电池转换效率。本发明所提供的制备方法简单可控，无需昂贵的真空镀膜设备，与常规艺兼容性好，碱金属材料利用率高，成本低。