公开(公告)号：CN113337894A

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN202110557849.9

申请日：2021-05-21

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 孔钒宇 ,  滕召权 ,  邵建达 ,  晋云霞 ,  曹红超 ,  张益彬 ,  王勇禄

IPC: C30B29/60 ,  C30B29/28 ,  C30B33/00 ,  G03F7/00

Abstract: 一种在掺铈钇铝石榴石闪烁晶体表面使用反应离子束刻蚀的具有二维周期阵列的蛾眼式微结构，微结构参数包括周期、深度以及占空比，由闪烁体的中心发射波长决定。本发明的表面蛾眼式微结构能够有效提升掺铈钇铝石榴石晶体的光提取效率，增强闪烁体的光输出，本发明涉及工艺成熟，在辐射探测领域中具有重要应用价值。

公开(公告)号：CN114488362A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210059779.9

申请日：2022-01-19

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 晋云霞 ,  张文妮 ,  邵建达 ,  曹红超 ,  张益彬 ,  汪瑞 ,  滕召权

IPC: G02B1/118 ,  G02B5/18

Abstract: 本发明提出了一种双面增透微结构的蓝宝石窗口及其制备方法，包括蓝宝石基板层，其特征在于在该蓝宝石基板层上表面制备第一微结构阵列，在该蓝宝石基板层下表面制备第二微结构阵列或者第一光学薄膜，所述第一微结构阵列和第二微结构阵列为一维光栅结构，凹槽深度为140nm‑220nm，715nm‑920nm波长范围内的透过率在98％以上。本发明方法能够使窗口在耐腐蚀、耐高温且高稳定性的同时提高透过率。本发明能有效降低在蓝宝石上的制备难度以及刻蚀难度。