-
公开(公告)号：CN114965369A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210377804.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种掩模基板表面微纳缺陷检测装置和检测方法，该装置采用双方位角斜入射和垂直入射照明，本发明通过反射物镜高效收集不同散射角下的表面缺陷散射信号，提高缺陷探测灵敏度。本发明通过分别采集斜入射照明下的缺陷散射图像和垂直照明下的缺陷散射图像，比较表面缺陷在不同照明方式下的散射信号差异可以判别缺陷的类型，提高检测准确性。
-
公开(公告)号：CN114905371A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210627907.5
申请日：2022-05-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B24B13/005 , B24B13/00
Abstract: 一种矩形光学元件侧面加工的柔性装置和加工方法，柔性装置由柔性夹具、高精度夹具座组成。加工方法包括待加工矩形光学元件的装夹、粗抛、精抛及相应的测量。本发明适用于矩形片状光学元件的加工。实现元件粗抛和精抛的一次性装夹，有效保证加工的效率和精度；双工位同时加工，极大缩短了加工周期；柔性夹具可根据待加工元件的楔角角度实现快速换型；采用精密大理石和陪抛片，陪抛片与所述的待加工矩形光学元件的材质相同，有效保证了加工过程的稳定性。本发明适用于矩形片状光学元件高效、稳定、高精度、低成本的光学研抛，尤其适用于带有一定楔角的光学元件侧面或小平面的粗抛和精抛加工。
-
公开(公告)号：CN114392607A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202210045990.5
申请日：2022-01-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B01D36/02 , B01D35/18 , B01D35/143
Abstract: 一种光学加工中的抛光液循环过滤装置，包括：液箱部分、出液部分和过滤部分。液箱部分包括：抛光液箱体、自吸泵、搅拌泵和液位计。出液部分包括：管路、三通阀、安全阀、出液单向阀、前道粗过滤器、前道精过滤器、调压阀、加热器、净水单向阀、净水开关阀和雾化喷头。过滤部分包括：后道粗过滤装置、导流槽、后道精过滤桶和溢流检测装置。抛光液箱体、管路、导流槽和后道精过滤桶的材质为不锈钢。本发明适用于光学镜片加工中粗抛和精抛的多工况使用，具有抛光液温度可控、雾化出液、精确过滤、自洁防积等特点。
-
公开(公告)号：CN109590820B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201910000512.0
申请日：2019-01-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B24B1/00
Abstract: 一种超硬激光晶体表面粗糙度加工方法，该方法包括研磨、粗抛和精密环抛等步骤。本发明方法通过磨料粒径的检测，严格控制研磨阶段各工序的磨削量，从根本上去除亚表面缺陷；通过加入抛光助剂，使抛光液得到更均匀的分散和润滑，从而有效控制表面/亚表面缺陷的产生，大大提高了超硬激光晶体的表面粗糙度，对于规格为125mm×6mm×6mm及133mm×33mm×3mm的Nd：YAG晶体两个大面粗糙度达到0.3nm。
-
公开(公告)号：CN111360638A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010207033.9
申请日：2020-03-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
IPC: B24B13/00 , B24B13/005
Abstract: 一种窄长类大口径光学元件高精度面形加工方法，本发明通过拼盘抛光和规整技术的结合，可以有效地提高窄长类米级大口径光学元件反射面的条纹规则程度和面形平整度，能够制造出高精度、PV小于λ/2的窄长类米级大口径光学元件。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107597504B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201711022425.2
申请日：2017-10-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种光学元件原位自动点胶装置和点胶方法，包括点胶头、激光定位器、Y轴导轨、支撑滚轮、X轴导轨、Z轴导轨、胶点实时监控CCD、数控编程控制器以及底座等。本发明适用于不同口径光学元件传统点胶上盘加工过程中的点胶工序，可实现不同口径光学元件的自动化、定量化点胶上盘，点胶重复性、稳定性好，胶点均匀，大小、形状可控，可极大降低光学元件上盘过程的残余应力和面形变化，提高光学元件的加工效率，降低加工成本。
-
公开(公告)号：CN106007406B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201610327006.9
申请日：2016-05-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种米级大口径磷酸盐激光钕玻璃光学表面波前梯度修复及划痕钝化的加工方法，包括环形抛光、反射面离子束均匀去除、透射面离子束修复步骤。本发明有效地修复米级大口径磷酸盐激光钕玻璃光学表面的波前梯度、钝化光学表面的划痕，加工出全频段指标和表面划痕均满足高功率激光系统要求的米级大口径激光钕玻璃元件，尤其是波前梯度能够满足高功率激光系统的要求，同时表面划痕也满足高功率激光系统的要求。
-
公开(公告)号：CN104043628B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201410268447.7
申请日：2014-06-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种大口径光学玻璃固定清洗架和清洗方法，清洗架包括一个可以排出积水的积水槽，积水槽的下端开出一个小口引出出水管，方便积水尽快流出积水槽。该装置设置了可移动支架。本发明可以对不同口径大小的玻璃进行固定和清洗，该装置具有安全、可靠、清洗自动的特点。
-
公开(公告)号：CN117655857A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311828850.6
申请日：2023-12-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种米级大口径光学元件侧面抛光机及抛光方法，抛光机包括背面垫块，主轴转盘，摆幅减速机，摆幅电机，主轴减速机，主轴电机。本发明背面垫块可根据元件的楔角定制，增加了本发明的适用性。本发明通过双轴联动的方式，带动磨盘在相互垂直的方向上做往复运动，通过转速比的调节实现了均匀去除，同时该往复运动中无旋转运动，避免了加工过程中面形扭曲的现象。本发明有效地提高带楔角米级大口径光学元件面形分布的均匀性，大大提高了带楔角米级大口径光学元件加工精度，提高了加工效率。
-
公开(公告)号：CN109397007B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201811257375.0
申请日：2018-10-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种新型高效热场调控抛光机及其抛光方法。抛光机包括控制箱、机架、校正盘、校正盘托板、校正盘驱动电机、校正盘驱动靠轮、校正盘固定底座、工件环驱动电机、工件环驱动靠轮、工件环、大理石、工件环托板、工件环底座、水盆、校正盘靠轮、电机、下托板、托盘，转盘轴承和出水孔，其中，大理石为中空大理石；本发明还提供了该新型高效热场调控抛光机的抛光方法。采用中空设计的大理石盘，使得原先的抛光液的单向流动变为双向流动，加快了抛光液的流动，这样使得抛光盘表面抛光粉分布均匀，提高了光学元件的表面质量；表面热场分布均匀，减少了抛光过程中的热积聚现象，提高了面形收敛效率，提高加工效率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
37
records
(took 0.172 seconds)
