公开(公告)号：CN117655857A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311828850.6

申请日：2023-12-28

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 曹俊 ,  王哲 ,  秦德华 ,  侯瑞 ,  邹黎 ,  顿爱欢 ,  吴令奇 ,  徐学科

IPC: B24B9/14 ,  B24B41/06 ,  B24B1/00 ,  B24B41/02 ,  B24B49/00

Abstract: 一种米级大口径光学元件侧面抛光机及抛光方法，抛光机包括背面垫块，主轴转盘，摆幅减速机，摆幅电机，主轴减速机，主轴电机。本发明背面垫块可根据元件的楔角定制，增加了本发明的适用性。本发明通过双轴联动的方式，带动磨盘在相互垂直的方向上做往复运动，通过转速比的调节实现了均匀去除，同时该往复运动中无旋转运动，避免了加工过程中面形扭曲的现象。本发明有效地提高带楔角米级大口径光学元件面形分布的均匀性，大大提高了带楔角米级大口径光学元件加工精度，提高了加工效率。