一种含贻贝足丝蛋白的复合涂层材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN117568758A

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202311285578.1

    申请日:2023-10-07

    Abstract: 本发明公开了一种含贻贝足丝蛋白的复合涂层材料及其制备方法,对碳钢表面进行清洗,去除表层氧化膜;采用直流磁控溅射在碳钢表面制备TiO2层;采用直流磁控溅射在碳钢表面制备Ag层;以碳钢表面含有的TiO2/Ag膜为前驱体膜,利用均胶机在前驱体膜上旋涂一层Mefp‑1蛋白溶液,得到用于碳钢表面的Mefp‑1/TiO2/Ag复合涂层。TiO2涂层主要起到防腐作用,Ag涂层具有优异的耐磨特性,两种涂层在防腐耐磨领域都属于环保材料,用于替代有害化学物质。Mefp‑1蛋白对于提升碳钢的防腐耐磨特性均有一定作用,且极大的增强磁控溅射涂层的粘附性,使磁控溅射涂层的防护性能成倍增加。本发明在可以有效改善碳钢防腐性、耐磨的前提下,还具有操作简单,成本低廉等优势。

    一种含贻贝足丝蛋白的复合涂层材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN117568758B

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202311285578.1

    申请日:2023-10-07

    Abstract: 本发明公开了一种含贻贝足丝蛋白的复合涂层材料及其制备方法,对碳钢表面进行清洗,去除表层氧化膜;采用直流磁控溅射在碳钢表面制备TiO2层;采用直流磁控溅射在碳钢表面制备Ag层;以碳钢表面含有的TiO2/Ag膜为前驱体膜,利用均胶机在前驱体膜上旋涂一层Mefp‑1蛋白溶液,得到用于碳钢表面的Mefp‑1/TiO2/Ag复合涂层。TiO2涂层主要起到防腐作用,Ag涂层具有优异的耐磨特性,两种涂层在防腐耐磨领域都属于环保材料,用于替代有害化学物质。Mefp‑1蛋白对于提升碳钢的防腐耐磨特性均有一定作用,且极大的增强磁控溅射涂层的粘附性,使磁控溅射涂层的防护性能成倍增加。本发明在可以有效改善碳钢防腐性、耐磨的前提下,还具有操作简单,成本低廉等优势。

    一种用于芯片高K介质金属栅钌栅平坦化的抛光液及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN120041101A

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202510186127.5

    申请日:2025-02-20

    Abstract: 本发明涉及化学机械抛光技术领域,本发明公开了一种用于芯片高K介质金属栅钌栅平坦化的抛光液及其制备方法与应用,包含以下浓度组分:氧化铝磨粒0.05~0.2wt%;氧化剂0.05~0.2wt%;络合剂20~80mmol/L;去离子水;所述络合剂为DTPA(NH4)5复合型络合剂;本发明制备的抛光液能有效提高钌栅化学机械抛光过程中的去除速率,同时确保抛光后的钌栅表面具有纳米级的表面粗糙度和无缺陷特性,解决由于钌的高硬度,高化学惰性导致的抛光速率低的问题,实现钌栅的高质量表面加工。

    一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法

    公开(公告)号:CN118791973A

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202410792194.7

    申请日:2024-06-19

    Abstract: 本发明公开了一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法,所述化学机械抛光液由1‑10wt.%的磨料、0.5‑5wt.%的氧化剂、10‑150mmol/L的络合剂、pH调节剂以及余量的水组成,所述络合剂为柠檬酸或柠檬酸盐。本发明的化学机械抛光液选用合适的氧化剂、络合剂种类和浓度配比,在抛光液中化学物质的化学反应和磨粒的机械磨损协同作用下,提高金属钛的材料去除速率,并获得优质光滑的表面在钴互连阻挡层钛的CMP工艺中具有广阔的应用前景。

    一种用于Co互连粗抛阶段的化学机械抛光液及其化学机械抛光方法

    公开(公告)号:CN117305843A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311065679.8

    申请日:2023-08-23

    Abstract: 本发明公开了一种用于Co互连粗抛阶段的化学机械抛光液及其化学机械抛光方法,所述化学机械抛光液包括0.1‑5wt.%的氧化剂、0.1‑5wt.%的络合剂、0.005‑5wt.%的缓蚀剂、0.01‑0.5wt.%的pH调节剂、0.1‑5wt.%的磨料和余量的水,所述缓蚀剂为2,2’‑[[(甲基‑1H‑苯并三唑‑1‑基)甲基]亚氨基]双乙醇、油酸钾或十二烷基苯磺酸。本发明的化学机械抛光液,可以用于Co互连粗抛阶段的化学机械抛光,通过提高化学反应和机械磨损的协同作用,化学机械抛光液在Co抛光过程中能够获得较高的材料去除速率、较低的静态腐蚀速率、较低的表面粗糙度以及均匀的腐蚀后表面形貌,在Co互连结构的CMP工艺中具有广阔的应用前景。

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