晶圆清洗设备
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113140485B

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202110348367.2

    申请日:2021-03-31

    Abstract: 本发明提供了一种晶圆清洗设备,属于半导体清洗技术领域,包括固定架、清洗池、清洗盘、清洗组件、第一驱动组件、第二驱动组件和喷流组件;清洗池设于固定架上;清洗盘转动设于清洗池内,清洗盘用于容置晶圆;清洗组件转动设于固定架上,清洗组件能够进出清洗池,并能够旋转对晶圆进行清洗;第一驱动组件与清洗盘连接,以驱动清洗盘转动;第二驱动组件与清洗组件连接,以驱动清洗组件进出清洗池并能够清洗晶圆;喷流组件设于固定架上,用于向清洗池内喷射液体,以对晶圆进行清洗,并能在清洗完成后对晶圆喷射气体进行烘干。本发明提供的晶圆清洗设备,解决现有技术中对于晶圆清洗效率低下,表面残存的液体不易烘干的问题。

    宽带无源二倍频器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111917378A

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN202010731681.4

    申请日:2020-07-27

    Abstract: 本发明提供了一种宽带无源二倍频器,包括:双面微波电路板、第一输入悬置微带线、第二输入悬置微带线、输入短路线、二极管桥堆、第一输出悬置微带线、第二输出悬置微带线、第一输出短路线以及第二输出短路线;第一输入悬置微带线和第一输出悬置微带线设置在双面微波电路板的正面,且与二极管桥堆连接;第二输入悬置微带线和第二输出悬置微带线设置在双面微波电路板的反面,且与二极管桥堆连接;二极管桥堆贯穿双面微波电路板;输入短路线、第一输出短路线和第二输出短路线均与二极管桥堆连接,用于使输入输出悬置带线与二极管桥堆更好地匹配。本发明提供的宽带无源二倍频器体积小、倍频损耗低、工作频率带宽较宽。

    宽带无源二倍频器
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111917378B

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202010731681.4

    申请日:2020-07-27

    Abstract: 本发明提供了一种宽带无源二倍频器,包括:双面微波电路板、第一输入悬置微带线、第二输入悬置微带线、输入短路线、二极管桥堆、第一输出悬置微带线、第二输出悬置微带线、第一输出短路线以及第二输出短路线;第一输入悬置微带线和第一输出悬置微带线设置在双面微波电路板的正面,且与二极管桥堆连接;第二输入悬置微带线和第二输出悬置微带线设置在双面微波电路板的反面,且与二极管桥堆连接;二极管桥堆贯穿双面微波电路板;输入短路线、第一输出短路线和第二输出短路线均与二极管桥堆连接,用于使输入输出悬置带线与二极管桥堆更好地匹配。本发明提供的宽带无源二倍频器体积小、倍频损耗低、工作频率带宽较宽。

    晶圆清洗设备
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113140485A

    公开(公告)日:2021-07-20

    申请号:CN202110348367.2

    申请日:2021-03-31

    Abstract: 本发明提供了一种晶圆清洗设备,属于半导体清洗技术领域,包括固定架、清洗池、清洗盘、清洗组件、第一驱动组件、第二驱动组件和喷流组件;清洗池设于固定架上;清洗盘转动设于清洗池内,清洗盘用于容置晶圆;清洗组件转动设于固定架上,清洗组件能够进出清洗池,并能够旋转对晶圆进行清洗;第一驱动组件与清洗盘连接,以驱动清洗盘转动;第二驱动组件与清洗组件连接,以驱动清洗组件进出清洗池并能够清洗晶圆;喷流组件设于固定架上,用于向清洗池内喷射液体,以对晶圆进行清洗,并能在清洗完成后对晶圆喷射气体进行烘干。本发明提供的晶圆清洗设备,解决现有技术中对于晶圆清洗效率低下,表面残存的液体不易烘干的问题。

    宽带无源二倍频器
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212343735U

    公开(公告)日:2021-01-12

    申请号:CN202021506776.8

    申请日:2020-07-27

    Abstract: 本实用新型提供了一种宽带无源二倍频器,包括:双面微波电路板、第一输入悬置微带线、第二输入悬置微带线、输入短路线、二极管桥堆、第一输出悬置微带线、第二输出悬置微带线、第一输出短路线以及第二输出短路线;第一输入悬置微带线和第一输出悬置微带线设置在双面微波电路板的正面,且与二极管桥堆连接;第二输入悬置微带线和第二输出悬置微带线设置在双面微波电路板的反面,且与二极管桥堆连接;二极管桥堆贯穿双面微波电路板;输入短路线、第一输出短路线和第二输出短路线均与二极管桥堆连接,用于使输入输出悬置带线与二极管桥堆更好地匹配。本实用新型提供的宽带无源二倍频器体积小、倍频损耗低、工作频率带宽较宽。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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