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公开(公告)号:CN112241095A
公开(公告)日:2021-01-19
申请号:CN202011108248.1
申请日:2020-10-14
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
摘要: 本发明公开一种光学结构电磁屏蔽窗口及检测控制系统,包括金属壳体、入射窗口、前反射镜、后反射镜、电磁出射窗口、光束出射窗口,前反射镜和后反射镜均设置在金属壳体内,入射窗口和电磁出射窗口对应设置,且前反射镜设置在入射窗口和电磁出射窗口之间,后反射镜对应前反射镜设置,光束出射窗口对应后反射镜设置;入射窗口为入射电磁波束和入射光束的入口,电磁出射窗口为入射电磁波束的出射窗口,光束出射窗口为入射光束的出射窗口;本发明将红外与可见光的光路通过光学反射镜折叠,在不影响成像质量的情况下防止电磁波通过窗口进入设备内部造成干扰及损坏,可以被广泛的应用于强电磁环境的诸多场景。
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公开(公告)号:CN108305907B
公开(公告)日:2019-10-11
申请号:CN201810077310.1
申请日:2018-01-26
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
IPC分类号: H01L31/0352 , H01L31/105
摘要: 本发明涉及半导体光电子器件技术领域,具体涉及一种新型同质结PIN紫外探测器,包括衬底、缓冲层、N型欧姆接触层、吸收层、P型梯度掺杂层、N型欧姆接触电极、P型欧姆接触电极;所述缓冲层设置在衬底上;N型欧姆接触层设置在缓冲层上;吸收层和N型欧姆接触电极均设置在N型欧姆接触层上,所述N型欧姆接触电极为环形,且吸收层位于N型欧姆接触电极的环内;P型梯度掺杂层设置在吸收层上;P型欧姆接触电极设置在P型梯度掺杂层上,所述探测器的工作模式为光线从前端入射。本发明的优点在于:通过P型梯度掺杂层来调节电场分布,从而提高P型梯度掺杂层光生载流子的收集效率,进而提高探测器的光谱响应率。
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公开(公告)号:CN110098293A
公开(公告)日:2019-08-06
申请号:CN201910344623.3
申请日:2019-04-26
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
摘要: 本发明公开了具有异质外延NIP结型多量子阱发光层终端的LED结构,属于半导体光电子器件技术领域,包括衬底、GaN缓冲层、未掺杂GaN层、n型GaN层、多量子阱发光层、电子阻挡层和p型GaN层,所述GaN缓冲层、未掺杂GaN层、n型GaN层、多量子阱发光层、电子阻挡层与p型GaN层依次生长在衬底上,所述多量子阱发光层包括多个量子阱层,最上方的所述量子阱层的终端势垒层为N-I-P结型异质外延结构,所述N-I-P结型异质外延结构依次包括N型GaN层、I型AlxGa1-xN层与P型GaN层,其中,0≤x≤0.8。本发明可以有效阻挡电子泄漏,提高空穴的注入效率,增加电子与空穴的辐射复合,提高LED的内量子效率和光的输出功率。
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公开(公告)号:CN106809802B
公开(公告)日:2019-03-26
申请号:CN201710115318.8
申请日:2017-03-01
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
摘要: 本发明公开了一种柔性衬底上大面积金属纳米针尖阵列的制备方法,包括如下步骤:(1)在硅片衬底上蒸镀金属铬薄膜,旋涂光刻胶;(2)使用曝光‑显影‑定影工艺制备具有孔洞阵列的光刻胶图案;(3)用硝酸铈铵去除没有光刻胶图案保护的金属铬薄膜,暴露底部的硅衬底表面;(4)对硅片样品用碱溶液刻蚀,得到倒金字塔形的硅孔洞阵列;(5)在样品表面沉积金属薄膜,使用胶带粘去硅片表面的铬金属层以及沉积的金属薄膜;(6)用柔性软模材料浇筑硅片表面,再用碱溶液腐蚀样品,最后得到柔性衬底上的大规模金属纳米针尖阵列。本发明的优点在于:提供了一种大规模、低成本、性能良好的的柔性衬底上大面积金属纳米针尖阵列的制备方法。
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公开(公告)号:CN106206832B
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201610740914.0
申请日:2016-08-26
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
IPC分类号: H01L31/105 , H01L31/0304 , H01L31/0352
摘要: 本发明公开了一种单级阻挡结构窄带通紫外探测器,包括:衬底,缓冲层,N型欧姆接触层,I型吸收层,P型单级阻挡层,P型滤波层,N型欧姆接触电极,P型欧姆接触电极;本发明阻挡层采用渐变掺杂和渐变组分分布形成单级能带结构,使得异质结的能带偏移全部落在导带上,而价带为平坦结构,能够阻挡短波滤波层产生的电子的自由运动同时不影响吸收层空穴信号的收集。同时该结构的引入还能够阻挡暗电流的输运通道。本发明能够有效地提高探测器的短波抑制比,降低器件的暗电流,显著提高探测器的性能而不影响其响应率。
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公开(公告)号:CN106206832A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610740914.0
申请日:2016-08-26
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
IPC分类号: H01L31/105 , H01L31/0304 , H01L31/0352
摘要: 本发明公开了一种单级阻挡结构窄带通紫外探测器,包括:衬底,缓冲层,N型欧姆接触层,I型吸收层,P型单级阻挡层,P型滤波层,N型欧姆接触电极,P型欧姆接触电极;本发明阻挡层采用渐变掺杂和渐变组分分布形成单极能带结构,使得异质结的能带偏移全部落在导带上,而价带为平坦结构,能够阻挡短波滤波层产生的电子的自由运动同时不影响吸收层空穴信号的收集。同时该结构的引入还能够阻挡暗电流的输运通道。本发明能够有效地提高探测器的短波抑制比,降低器件的暗电流,显著提高探测器的性能而不影响其响应率。
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公开(公告)号:CN105845696A
公开(公告)日:2016-08-10
申请号:CN201610209302.9
申请日:2016-04-01
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
IPC分类号: H01L27/144 , H01L31/105 , H01L31/18
CPC分类号: Y02P70/521 , H01L27/144 , H01L31/105 , H01L31/184
摘要: 本发明涉及一种用于监测燃气火焰温度的紫外探测器芯片及其制备方法。其目的是为了提供一种设计巧妙、监测准确的紫外探测器芯片及其制备方法。本发明包括采用光刻和ICP技术对探测器外延片进行刻蚀,并结合标准半导体微加工工艺在外延片上制作第一PIN二极管和第二PIN二极管,第一PIN二极管为具有滤波结构的PIN二极管,第二PIN二极管为普通PIN二极管,能分别探测不同波段的信号,通过一个紫外探测器芯片从而实现对两个特定目标波段的同时探测,特别是将该紫外探测器芯片应用到燃气燃烧设备的火焰温度探测中,可以通过第一PIN二极管与第二PIN二极管输出的光电流比获得燃气火焰的温度信息,从而实现对相关燃气燃烧参数的监控。
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公开(公告)号:CN105679779A
公开(公告)日:2016-06-15
申请号:CN201610171213.X
申请日:2016-03-22
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
IPC分类号: H01L27/144 , H01L31/0216 , H01L31/0304 , H01L31/105
CPC分类号: H01L31/02165 , H01L27/1443 , H01L31/03044 , H01L31/105
摘要: 本发明公开一种红斑响应探测器,一种用于太阳紫外线指数监测的芯片,属于半导体器件技术领域。该芯片横向集成了两个不同结构的探测单元,其一为传统PIN紫外光电二极管,其二为新结构的窄带通PIN紫外光电二极管,两光电二极管具有相同的感光面积。本发明探测器材料的结构为依次外延衬底层、缓冲层、N型层、I型吸收层、P型层、势垒层,短波滤波层,并利用标准半导体微加工工艺实现两不同结构探测器的单片集成。本发明的优点在于巧妙地采用双二极管集成芯片获得精确的红斑响应探测器,可以避免采用昂贵复杂的滤波装置以及滤波装置对器件响应率的影响,同时避免采用高铝组分作为吸收层所面临的材料生长困难和高暗电流问题。
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公开(公告)号:CN102910575B
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201210447091.4
申请日:2012-11-09
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
IPC分类号: B81C1/00
摘要: 本发明公开了一种聚合物纳米通道的制作方法,包括以下步骤:(1)在清洗后的衬底上旋转涂覆抗蚀剂,获得抗蚀剂层;(2)烘烤除去抗蚀剂溶剂;(3)通过曝光和显影,获得成对的纳米线条结构;(4)用清洗液清洗纳米线条结构,待清洗液在空气中完全挥发后,纳米通道制作完成。本发明利用液体表面张力进行通道密封,无需现有技术的键合工艺,从而不会出现流体在通道中的堵塞等现象,与电子束光刻技术相比,降低了加工成本。
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公开(公告)号:CN113035982B
公开(公告)日:2022-09-02
申请号:CN202110234815.6
申请日:2021-03-03
申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 联合微电子中心有限责任公司
IPC分类号: H01L31/0352 , H01L31/0232 , H01L31/105
摘要: 本发明提供一种全硅掺杂多结电场增强型锗光波导探测器,涉及硅基光电子器件技术领域。本发明中沿第一方向依次堆叠的金属电极、硅氧化上包层、波导层和硅氧化下包层;所述波导层包括锗吸收层和薄硅层,所述锗吸收层位于所述薄硅层和硅氧化上包层之间;所述锗吸收层下方的薄硅层设有多结型掺杂区结构;所述硅氧化上包层包括通孔结构,所述通孔结构连接所述金属电极和所述薄硅层。实现在不增加工艺难度的情况下,同时抑制暗电流、提高探测器响应度、并大范围的提高探测器带宽,即极大地提高了探测器的综合性能。
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