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公开(公告)号：CN103091776A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310047050.0
申请日：2013-02-06
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
摘要： 本发明涉及一种单移相器控制的集成光波导波束形成芯片及其制作方法。该芯片包括衬底层与覆盖层。覆盖层面向衬底的一侧上设置有芯层，芯层设置有光分路器、光波导阵列、光合束器与延时模块。覆盖层上设置有覆盖于光波导阵列上方的移相器。光分路器用于接收该芯片外部光源，并均匀的分成多路光信号。光波导阵列接收该多路光信号，多路光信号经过光波导阵列时，因覆盖在光波导阵列上方的移相器的不同工作电压，相位被重新调整后，进入光合束器进行干涉，多路光信号不同的相位组合对应光合束器不同的输出端口。延时模块接收光合束器的输出对应着不同的延时量，使得芯片延时量的切换通过控制移相器实现。本发明还涉及该芯片的制作方法。
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公开(公告)号：CN106206832B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201610740914.0
申请日：2016-08-26
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
IPC分类号： H01L31/105 , H01L31/0304 , H01L31/0352
摘要： 本发明公开了一种单级阻挡结构窄带通紫外探测器，包括：衬底，缓冲层，N型欧姆接触层，I型吸收层，P型单级阻挡层，P型滤波层，N型欧姆接触电极，P型欧姆接触电极；本发明阻挡层采用渐变掺杂和渐变组分分布形成单级能带结构，使得异质结的能带偏移全部落在导带上，而价带为平坦结构，能够阻挡短波滤波层产生的电子的自由运动同时不影响吸收层空穴信号的收集。同时该结构的引入还能够阻挡暗电流的输运通道。本发明能够有效地提高探测器的短波抑制比，降低器件的暗电流，显著提高探测器的性能而不影响其响应率。
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公开(公告)号：CN106206832A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610740914.0
申请日：2016-08-26
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
IPC分类号： H01L31/105 , H01L31/0304 , H01L31/0352
摘要： 本发明公开了一种单级阻挡结构窄带通紫外探测器，包括：衬底，缓冲层，N型欧姆接触层，I型吸收层，P型单级阻挡层，P型滤波层，N型欧姆接触电极，P型欧姆接触电极；本发明阻挡层采用渐变掺杂和渐变组分分布形成单极能带结构，使得异质结的能带偏移全部落在导带上，而价带为平坦结构，能够阻挡短波滤波层产生的电子的自由运动同时不影响吸收层空穴信号的收集。同时该结构的引入还能够阻挡暗电流的输运通道。本发明能够有效地提高探测器的短波抑制比，降低器件的暗电流，显著提高探测器的性能而不影响其响应率。
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公开(公告)号：CN105679779A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610171213.X
申请日：2016-03-22
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
IPC分类号： H01L27/144 , H01L31/0216 , H01L31/0304 , H01L31/105
CPC分类号： H01L31/02165 , H01L27/1443 , H01L31/03044 , H01L31/105
摘要： 本发明公开一种红斑响应探测器，一种用于太阳紫外线指数监测的芯片，属于半导体器件技术领域。该芯片横向集成了两个不同结构的探测单元，其一为传统PIN紫外光电二极管，其二为新结构的窄带通PIN紫外光电二极管，两光电二极管具有相同的感光面积。本发明探测器材料的结构为依次外延衬底层、缓冲层、N型层、I型吸收层、P型层、势垒层，短波滤波层，并利用标准半导体微加工工艺实现两不同结构探测器的单片集成。本发明的优点在于巧妙地采用双二极管集成芯片获得精确的红斑响应探测器，可以避免采用昂贵复杂的滤波装置以及滤波装置对器件响应率的影响，同时避免采用高铝组分作为吸收层所面临的材料生长困难和高暗电流问题。
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公开(公告)号：CN102910575B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201210447091.4
申请日：2012-11-09
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明公开了一种聚合物纳米通道的制作方法，包括以下步骤：（1）在清洗后的衬底上旋转涂覆抗蚀剂，获得抗蚀剂层；（2）烘烤除去抗蚀剂溶剂；（3）通过曝光和显影，获得成对的纳米线条结构；（4）用清洗液清洗纳米线条结构，待清洗液在空气中完全挥发后，纳米通道制作完成。本发明利用液体表面张力进行通道密封，无需现有技术的键合工艺，从而不会出现流体在通道中的堵塞等现象，与电子束光刻技术相比，降低了加工成本。
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公开(公告)号：CN105097964A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510434763.1
申请日：2015-07-21
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
IPC分类号： H01L31/0304 , H01L31/09
CPC分类号： H01L31/09 , H01L31/03048
摘要： 本发明公开一种有源区高斯掺杂型pπn紫外探测器，属于半导体器件技术领域。该器件包括衬底(1)、缓冲层(2)、N型欧姆接触层(3)、N型欧姆接触电极(7)、π型吸收层(4)、P型欧姆接触层(5)以及P型欧姆接触电极(6)，缓冲层外延在衬底上，N型欧姆接触层制作在缓冲层上，N型欧姆接触电极为环形结构，且制作在N型欧姆接触层上，所述π型吸收层为垂直外延方向的渐变高斯掺杂，π型吸收层制作在N型欧姆接触层上，P型欧姆接触层制作在π型吸收层之上，P型欧姆电极制作在P型欧姆接触层之上。本发明的优点在于通过掺杂调节吸收区电场分布，从而能够有效地提高探测器的响应率。
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公开(公告)号：CN103091776B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310047050.0
申请日：2013-02-06
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
摘要： 本发明涉及一种单移相器控制的集成光波导波束形成芯片及其制作方法。该芯片包括衬底层与覆盖层。覆盖层面向衬底的一侧上设置有芯层，芯层设置有光分路器、光波导阵列、光合束器与延时模块。覆盖层上设置有覆盖于光波导阵列上方的移相器。光分路器用于接收该芯片外部光源，并均匀的分成多路光信号。光波导阵列接收该多路光信号，多路光信号经过光波导阵列时，因覆盖在光波导阵列上方的移相器的不同工作电压，相位被重新调整后，进入光合束器进行干涉，多路光信号不同的相位组合对应光合束器不同的输出端口。延时模块接收光合束器的输出对应着不同的延时量，使得芯片延时量的切换通过控制移相器实现。本发明还涉及该芯片的制作方法。
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公开(公告)号：CN103033879B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201210556556.X
申请日：2012-12-20
申请人： 中国电子科技集团公司第三十八研究所 , 合肥公共安全技术研究院
摘要： 本发明公开了一种光子晶体定向耦合器的制作方法，该光子晶体定向耦合器包括基板以及设置在基板上的若干介质柱，若干介质柱围出两个相互独立的主波导线缺陷与耦合波导线缺陷，主波导线缺陷与耦合波导线缺陷之间间隔有至少一排介质柱，该排介质柱均为跑道型介质柱，其余介质柱均为圆柱型介质柱。该制作方法包括下列步骤：制备划片所需的划片槽；在划片槽上制备ICP刻蚀所需的光刻胶掩膜，得到硅柱阵列结构；利用第二步制备的光刻胶掩膜结构进行ICP刻蚀，制作光子晶体定向耦合器的主体结构；对主体结构中的跑道型介质柱进行修整；去除主体结构的边缘区域形成该光子晶体定向耦合器。本发明的优点在于：具有体积小、结构紧凑、效率高、集成度高等优点。
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公开(公告)号：CN113030918A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110404551.4
申请日：2021-04-15
申请人： 合肥公共安全技术研究院 , 中国电子科技集团公司第三十八研究所
摘要： 本发明公开一种超广角激光扫描系统，所述激光扫描系统包括激光发射和接收单元，平面反射单元，和曲面反射单元三个部分。其中，所述激光发射和接收单元出射准直激光束，激光束由平面反射单元与曲面反射单元两次反射后出射，经被测物反射的回波激光束沿原路返回至激光发射和接收单元。所述曲面反射单元以线性运动方式在竖直向运动，以使入射激光束在所述曲面反射单元的不同位置上产生不同的入射角，进而以0‑180°的出射角出射；所述平面反射单元以线性运动方式在水平向运动，以使曲面反射单元的入射激光束在横向平移；进而实现二维超广角激光扫描。本发明提供了一种结构简单、应用广泛的超广角激光扫描系统。
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公开(公告)号：CN112904310A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110404393.2
申请日：2021-04-15
申请人： 合肥公共安全技术研究院 , 中国电子科技集团公司第三十八研究所
摘要： 本发明公开一种高分辨率激光雷达，所述激光雷达包括激光发射单元、准直单元、分光单元、数字微镜器件、聚焦单元和探测器单元组成。其中，所述激光发射单元用于发射脉冲激光束；准直单元用于将脉冲激光束准直，减小发散角；分光单元用于将脉冲激光束反射至数字微镜器件；数字微镜器件可以被当作闪耀光栅，用于将脉冲激光束分别以‑2、‑1、0、1、2的衍射级数出射，每一束脉冲激光束可以分时产生五束衍射脉冲激光束，可以提高激光雷达的分辨率；聚焦单元用于将透射过分光单元的回波光束聚焦至探测器。本发明提供一种结构简单、低成本的高分辨率激光雷达。
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