公开(公告)号：CN117169260A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311143966.6

申请日：2023-09-05

Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

Inventor： 熊峰 ,  梁朝辉 ,  韩芳 ,  杨颖 ,  许慧 ,  何骁 ,  马丽利 ,  王宏芹 ,  林晓玲 ,  邹雅冰 ,  肖慧

IPC: G01N23/20008 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32

Abstract: 本申请提供一种有铅合金的EBSD样品制备方法、装置、电子设备和存储介质，其中，有铅合金的EBSD样品制备方法包括控制自动研磨机对切片样品进行研磨和抛光等步骤，其中，切片样品基于有铅合金制成，自动研磨机的样品重量调整范围为0‑600克，切片样品在研磨和抛光过程中的增量为100克，自动研磨机的材料去除率为1微米，自动研磨机的研磨方式为摆动研磨，自动研磨机的抛光方式为变速旋转抛光、振荡抛光和负荷控制抛光。本申请能够实现有铅合金的EBSD样品的自动制备，与现有技术相比，本申请具有研磨力度均匀、磨削厚度可控和能够适应材料之间的软硬差别等优点，进而能够提高切片样本的研磨精度，从而得到符合要求的EBSD样品。