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公开(公告)号:CN114678280A
公开(公告)日:2022-06-28
申请号:CN202210158796.8
申请日:2022-02-21
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: H01L21/48 , H01L23/473 , B01L3/00
Abstract: 本发明涉及一种芯片微流道制备方法。该芯片微流道制备方法,包括如下步骤:利用激光器在芯片内部按照预设路径内雕出损伤结构;利用氟化氢溶液刻蚀所述损伤结构,在所述芯片内形成沿所述预设路径布置的微流道。该方法能够直接在芯片内部加工微流道,有效避免需要两个芯片键合实现微流道闭合的问题,工艺简单,且不存在芯片键合界面,提高了微流道结构对冷却液的抗腐蚀能力,保证了芯片微流道的可靠性。
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公开(公告)号:CN119881507A
公开(公告)日:2025-04-25
申请号:CN202510368919.4
申请日:2025-03-27
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明公开了一种电迁移串行测试系统及方法,所述系统包括恒定电流源、电阻测试设备、开关阵列、处理及控制模块,开关阵列包括第一总开关、第二总开关、多个测试开关和多个短路开关;恒定电流源通过第一总开关与串联连接的多个试验样品连接,对试验样品加载电流应力;电阻测试设备通过第二总开关分别与多个试验样品并联连接,采集每个试验样品的电阻数据;多个测试开关分别连接在电阻测试设备与试验样品之间;处理及控制模块通过控制开关阵列实现对试验样品电阻的依次测试,根据电阻数据判定失效的试验样品,并控制多个短路开关对失效的试验样品进行短路。本发明能够大幅度减少电迁移试验设备使用数量,有效提高试验效率,降低时间和经济成本。
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公开(公告)号:CN119085879B
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202411570985.1
申请日:2024-11-06
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明公开了一种反射率热成像测试精度提升方法和计算机设备,所述方法包括:预先设置待测试器件的电信号加载条件、测试时间、测试循环次数;使器件处于未加载电信号状态,并使器件的温度处于初始状态温度;通过外置电源为器件进行电信号加载;达到预先设置的测试时间时,采集器件待测试区域的光反射率,计算得到温度升高数据;使器件从加载电信号状态切换至未加载电信号状态,通过液冷系统对器件进行降温,外置同步风冷模块对器件待测试区域快速降温;通过待测试区域的光反射率测试对比,判断器件降低至初始温度后,再次启动器件进入下次测试,对每次测试的温度升高数据求均值,作为最终的温度升高数据。本发明能够提高反射率热成像测试的精度和效率。
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公开(公告)号:CN119085879A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202411570985.1
申请日:2024-11-06
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
Abstract: 本发明公开了一种反射率热成像测试精度提升方法和计算机设备,所述方法包括:预先设置待测试器件的电信号加载条件、测试时间、测试循环次数;使器件处于未加载电信号状态,并使器件的温度处于初始状态温度;通过外置电源为器件进行电信号加载;达到预先设置的测试时间时,采集器件待测试区域的光反射率,计算得到温度升高数据;使器件从加载电信号状态切换至未加载电信号状态,通过液冷系统对器件进行降温,外置同步风冷模块对器件待测试区域快速降温;通过待测试区域的光反射率测试对比,判断器件降低至初始温度后,再次启动器件进入下次测试,对每次测试的温度升高数据求均值,作为最终的温度升高数据。本发明能够提高反射率热成像测试的精度和效率。
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公开(公告)号:CN115711677A
公开(公告)日:2023-02-24
申请号:CN202211108819.0
申请日:2022-09-13
Applicant: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
IPC: G01K7/00
Abstract: 本申请涉及一种柔性温度传感器的制备方法及柔性温度传感器。所述方法包括:将聚乙烯醇和去离子水按预设比例混合,并置于第一预设温度下搅拌,得到澄清聚乙烯醇溶液,将氢氧化钾和去离子水按预设比例混合,逐步滴入聚乙烯醇溶液并搅拌,得到柔性混合溶液,将多孔结构的第一电极固定于模具底部,将柔性混合溶液导入模具并静置第二预设时间,得到柔性离子膜,第一电极与柔性离子膜的第一面贴合,使用绝缘胶水作为介电层,将第二电极通过绝缘胶水与柔性离子膜的第二面贴合。提高电极与柔性离子膜的接触面积,使得第一电极所产生的电势更高,从而达到准确测量温度的效果。
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