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公开(公告)号：CN118832490A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410997559.X
申请日：2024-07-24
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B13/005
摘要： 本发明涉及一种用于抛光机床的超大尺寸重型高精度气浮转台，包括转台基座，其中部竖直布置有第一安装孔；转台转盘中部竖直布置有第二安装孔，所述转台转盘底部具有凸台；中空式中心轴穿过第一安装孔和第二安装孔；中心供气件为环形，套设于中空式中心轴下部外壁上，位于第一安装孔内，且其顶面与转台基座顶面齐平；中心供气件顶面具有第一气流分配结构，转台基座顶面具有与第一气流分配结构对应的第二气流分配结构；第二安装孔内安装有径向气浮轴承组件，且套设于中空式中心轴上部外壁上。本发明实现了超大尺寸重型气浮转台的支撑和高精度旋转运动。
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公开(公告)号：CN109531424B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN201910019569.5
申请日：2019-01-09
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B53/02
摘要： 本发明提供一种可实现大口径平面抛光机的抛光盘高效高精度修整的包络式修整方法及其装置，首先选用较大的切削用量对抛光盘进行快速去除，去除表面大尺度的形状误差，使抛光盘的表面形状误差≤30μm；然后根据修整后的盘面形状来调节修整过程中Z轴的竖向补偿量，进一步提高抛光盘的形状精度到≤10μm；最后对抛光盘表面进行精细匀滑修整，并达到满足使用要求的形状精度。本发明基于超精密铣削原理，采用小口径式的修整盘对抛光盘进行修整，其运动方式结合了全口径式修整方法和小工具式修整方法的优点，实现了米级平面抛光盘的高精度修整，不仅提高了修整精度，也提高了修整效率，为大口径平面光学元件的面形收敛提供了一种有效的控制方法。
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公开(公告)号：CN111156235B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202010095830.2
申请日：2020-02-17
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供一种超薄光学元件弱变形点胶上盘装置及其方法。超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，旋转台设置在箱体内部，在旋转台上设置有支撑杆，在支撑杆上设置有背板，在背板上表面设置粘结胶点；在旋转台上设置有多个挡块，挡块的一端与背板侧面贴靠在一起，挡块的另一端与旋转台连接；驱动电机驱动旋转台匀速旋转；在箱体内部设置有散热器、加热器和风机，散热器与制冷机相连。本发明可以实现对超薄光学元件点胶上盘过程温度场的精确控制，防止加热及冷却时背板‑胶点‑元件系统温度不均匀造成的热应力，减轻超薄光学元件下盘后的不规则变形现象，从而提高超薄光学元件的面形加工精度。
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公开(公告)号：CN107297685B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN201710729924.9
申请日：2017-08-23
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B53/12
摘要： 本发明提供一种可在较低加载压力条件下修正沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置。沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置，在固定背板和工作板之间设置有陶瓷加热板，在所述固定背板的上表面设置有球槽。本发明通过增加小工具的加热功能，从而提高小工具对沥青抛光盘形状误差的体积修正速度，体积修正速度可达0.1‑100mm3/min，并可在较低加载压力条件下进行，加载压力为2‑100KPa，从而改善小工具修正加工时的旋转平稳性。
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公开(公告)号：CN109187246B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201811253224.8
申请日：2018-10-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及一种固结磨具硬度检测装置，包括：基座，基座上具有贯穿的操作空间；基座底部远离操作空间的位置安装有可升降高度支腿；水平推动机构，水平推动机构安装于基座顶部，且不覆盖操作空间；下压推动机构，下压推动机构竖直布置，可滑动于水平推动机构上，且其底部延伸至操作空间内；压头，压头安装于下压推动机构底部，且位于操作空间内可沿竖直方向和水平方向上移动；及控制器，控制器电性连接水平推动机构和下压推动机构。本发明还提供了一种检测方法，控制方便、噪音小，适合在光学加工现场高洁净环境下应用；控制器通过内部程序控制推动器工作，控制精确，测量精度高。
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公开(公告)号：CN115420257A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211034270.5
申请日：2022-08-26
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种回转工作台的倾斜误差测量方法，包括：采用电子水平仪对回转工作台进行测量，获得电子水平仪的测量读数；根据测量读数，计算回转工作台的各个旋转角采样点对应实际轴线的平均绝对倾斜度测量值；根据平均绝对倾斜度测量值，计算回转工作台的各个旋转角采样点对应实际轴线与轴线平均线的倾斜误差值；将计算出来的最大倾斜误差值作为回转工作台的倾斜误差；通过该方法可以快速简便地测量回转工作台的倾斜误差，且测量精度较高，因此可以适用于不同工业现场、实验室条件下各类回转工作台的倾斜误差测量。
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公开(公告)号：CN108508842B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201810298493.X
申请日：2018-04-04
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G05B19/401 , G01B11/27
摘要： 本发明提供一种测量精度较高的数控机床直线导轨的直线度误差检测方法，该方法包括以下步骤：1)将水槽放在直线导轨的下方；2)在直线导轨上安装溜板，将激光位移传感器固定在溜板上，激光位移传感器的测头检测点指向水面；3)检测前将溜板移至检测行程的一端，然后开启溜板匀速移动，同时开始记录激光位移传感器测得的测头与水面的距离，待溜板移至检测行程的另一端时停止记录数据，得到激光位移传感器的测头随溜板匀速移动过程中与水槽水面距离的变化，即为直线导轨的直线度误差。本发明采用水面作为参考对象，通过激光位移传感器检测测头随水面距离的变化，从而获得直线导轨的直线度误差，由于水面具有极好的平面度，检测精度较高。
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公开(公告)号：CN109732104B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201910078817.3
申请日：2019-01-28
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B23B1/00
摘要： 本发明提供一种金属锡质抛光盘的精密车削方法。金属锡质抛光盘的精密车削方法，在车削时保持车刀进给速度和切削深度不变，通过控制抛光盘转速变化来补偿实现稳定的温度场，使得刀尖的高度保持不变。本发明在车削过程中通过控制抛光盘的转速变化，即通过转速补偿实现车削过程中的恒温度场控制，进而获得平坦的锡质抛光盘。本发明可以实现金属平面抛光盘平面度的快速修正，能适应不同尺寸抛光盘的车削要求，操作过程简单，通用性好。
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公开(公告)号：CN107160242B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201710604702.4
申请日：2017-07-24
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B1/00
摘要： 本发明提供了一种用于控制非球面元件全频段误差的加工方法涉及非球面元件加工技术领域。一种用于控制非球面元件全频段误差的加工方法，其包括磨削成型、保形抛光、修正抛光、匀滑抛光四个步骤。磨削成型：采用超精密磨削方法进行非球面元件的直接成型，同时将亚表面缺陷控制在较低水平；保形抛光：采用高稳定性、高去除效率的子口径抛光技术，实现非球面元件的快速保形抛亮，以去除亚表面缺陷；修正抛光：采用高稳定性的子口径抛光技术快速修正非球面元件低频误差；匀滑抛光：采用匀滑抛光技术，在低频误差不被恶化的情况下，控制非球面元件中高频误差。本发明加工方法的特点在于通过多种技术耦合实现非球面元件全频段误差控制。
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公开(公告)号：CN110052916A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910325216.8
申请日：2019-04-22
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置及加工方法，包括床身，X方向传动机构沿X轴方向固定于床身上；工作台沿X轴方向与X方向传动机构可滑动连接；真空吸盘固定于工作台顶部，用于吸附固定元件；Y方向传动机构沿Y轴方向固定于床身上；Z方向传动机构沿Y轴方向可滑动于Y方向传动机构上；B轴旋转机构一端沿Z轴方向可滑动于Z轴方向传动机构上；主轴机构一端固定于B轴旋转机构另一端，且其轴线与B轴旋转机构轴线垂直；主轴机构另一端绕Y轴方向可摆动，磨削部固定于主轴机构另一端上，且与工作台位置对应；X方向传动机构、真空吸盘、Y方向传动机构、Z方向传动机构、B轴旋转机构及主轴机构均与控制系统电性连接。
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