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公开(公告)号：CN114662047B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202210355359.5
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于光学加工技术领域，提供了一种去除函数误差修正能力表征方法、系统和介质，去除函数误差修正能力表征方法包括如下步骤：获取面形误差体积变化量和加工时间，所述面形误差体积变化量为预设空间频率下加工前后面形误差的体积差值；通过面形误差体积变化量和加工时间计算所述去除函数的有效去除速率谱。本发明提供的一种用于子口径抛光的去除函数误差修正能力表征方法、系统和介质能够实现去除函数空间频率误差修正能力的定量表征，为后续实现根据误差分布快速自动匹配最优的工艺参数奠定了基础。
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公开(公告)号：CN114660804A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210355353.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于光学加工技术领域，提供了一种频域光学元件面形误差的计算方法、系统和介质，频域光学元件面形误差的计算方法，包括如下步骤：获取体积谱密度函数，所述体积谱密度函数为光学元件面形误差在各频率下所含残余误差材料体积的密度；通过在预设空间频段上对体积谱密度函数进行积分，得到光学元件在该预设空间频段下的面形误差体积。本发明提供的一种频域光学元件面形误差的计算方法、系统和介质具有效率高、精确度高的优势。
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公开(公告)号：CN113686903A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202111094288.X
申请日：2021-09-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种光学元件缺陷检测系统及检测方法，包括床身支撑模块、隔振模块、定位夹持模块、缺陷检测模块、缺陷分析模块、扫描运动模块和电气控制模块，每个模块完成相应的功能，具体工作步骤包括：开启设备及软件、系统初始化设置、设置系统参数、放置被测样品、设置测量参数、样品扫描测试、检测数据采集、缺陷类型分析、缺陷特性评价和结果输出系统关闭。本发明解决了人工检验可能由于某些人员原因导致的缺陷形貌误判和缺陷定位错误，降低了缺陷定位错误发生率，进一步提高了大口径光学元器件的缺陷检测准确率。
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公开(公告)号：CN109242354B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201811241744.7
申请日：2018-10-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明实施例提供的加工效果评价方法和加工效果评价装置，涉及加工效果评价技术领域。所述加工效果评价方法包括：获取连续相位板的加工参数，其中，所述加工参数包括加工时间和残余误差；分别计算所述加工时间的时间满意度和所述残余误差的误差满意度；根据所述时间满意度和所述误差满意度进行计算以得到所述连续相位板的加工效果。通过上述方法，可以对连续相位板的加工时间和残余误差进行综合评价，以使得到的加工效果能够综合反映加工的效率和精度。
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公开(公告)号：CN111283512B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202010194315.X
申请日：2020-03-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供了一种双工位加工检测设备及方法，属于光学元件制造技术领域。检测设备包括加工机器人、第一工作台、第二工作台、检测装置、编程检测系统和加工控制系统。第一工作台和第二工作台分别位于加工机器人的两侧。检测装置用于检测第一工作台上的工件的第一面形误差或第二工作台上的工件的第二面形误差。加工控制系统用于根据第一面形误差控制加工机器人对第一工作台上的工件进行加工，用于根据第二面形误差控制加工机器人对第二工作台上的工件进行加工。加工检测设备将双工位上的两工件的加工与检测功能需求融合在一起，实现双工位加工检测一体化，对一个工件进行加工时，可对另一个工件进行在线检测，显著提高加工精度和效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106736996B
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201710198817.8
申请日：2017-03-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种抛光工具及非球面元件表面波纹去除方法，抛光工具包括转接部件、工具底座、粘弹性柔性介质、柔性介质厚度调节螺钉、橡胶囊和设置于所述橡胶囊表面的抛光模层。抛光工具通过转接部件连接于数控机床，工具底座为圆环状。柔性介质厚度调节螺钉可活动地内嵌于所述工具底座，橡胶囊盖合于所述工具底座，使工具底座、柔性介质调节螺钉与橡胶囊之间形成密封腔，密封腔内填充满粘弹性柔性介质。非球面元件表面波纹去除方法通过改变抛光工具中的粘弹性柔性介质的种类和厚度，既能够使抛光工具与待加工非球面元件的表面相吻合，又能够对非球面表面波纹进行去除。
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公开(公告)号：CN110238758A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910516880.0
申请日：2019-06-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B57/02 , B24B13/00 , B24B13/005 , B24B13/01 , B25J11/00
Abstract: 本发明涉及复合抛光机床及其加工方法，包括六关节机器人，其底部可转动于基座上；六关节机器人的操作端连接有驱动装置；抛光操作机构包括气囊抛光机构和数控抛光机构；气囊抛光机构或数控抛光机构的连接端与驱动装置通过液压胀套可拆卸连接；抛光台设置于六关节机器人的操作端操作范围内；且光学元件固定于抛光台顶部，抛光操作机构与光学元件外轮廓抵接；抛光液循环过滤装置设置于抛光台附近，用于光学元件抛光中持续提供洁净的抛光液；控制终端内预设和/或在线设置抛光工艺程序，六关节机器人、驱动装置和抛光液循环过滤装置均与控制终端电性连接。实现了机床的通用性，提高了光学元件的加工精度和加工效果。
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公开(公告)号：CN108161744A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711484778.4
申请日：2017-12-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种抛光工具修整系统及其修整方法，属于精细设备技术领域。一种抛光工具修整系统，包括机床和修整装置，机床用于安装球形抛光工具，并驱动球形抛光工具以第一预设方向旋转及摆动。修整装置包括砂轮、与砂轮连接传动机构以及伺服电机，砂轮具有与球形抛光工具配合的修整部，伺服电机通过传动机构驱动砂轮以第二预设方向旋转，第一预设方向与第二预设方向相反。该系统结构简单，操作便利，保证球形工具表面形貌的可控性和一致性。一种利用上述抛光工具修整系统进行修整的方法，包括：将球形抛光工具安装于机床，使球形抛光工具以第一预设方向旋转及摆动，使砂轮以第二预设方向旋转。该方法操作简单，可控性强，修整效果好。
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公开(公告)号：CN107976723A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201711418757.2
申请日：2017-12-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G02B1/02
Abstract: 本发明提供了一种光学元件加工装置及其系统，属于光学设备技术领域。一种光学元件加工装置，包括架体、用于对光学元件进行加工的刻蚀组件及用于控制架体和刻蚀组件的控制装置，刻蚀组件设置于架体，控制装置与架体、刻蚀组件电连接；刻蚀组件包括挥发液储液槽、刻蚀液回收槽、加工头、挥发液供液器以及至少两个刻蚀液供液器。该装置适用于不同材质的光学元件，扩大应用范围，提高利用率，降低加工成本。
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公开(公告)号：CN107626681A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201711091216.3
申请日：2017-11-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种对晶体板条元件的超声清洗的装夹装置，包括四个角对称设置有垂直安装部位底座框架，在所述底座框架的垂直安装部位上左右两边对称位置各设置有横梁，所述横梁通过把手可沿其中心轴线旋转，在所述横梁上设置有V形槽口，在所述底座框架的垂直安装部位上端左右两边对称位置各设置有横板，在所述横板上设置有Y型定位销，所述Y型定位销通过定位螺钉限制其竖直位置，在所述底座框架的底部左右对称位置设置有与所述Y型定位销对应的Y型支撑架，所述横梁上的V形槽口用于限制元件的两侧，所述Y型定位销用于限制元件的上端，所述Y型支撑架用于支撑元件的下端。本发明可改善板条状激光工作介质的难清洗现状。
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