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公开(公告)号：CN112098417A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN202010930626.8
申请日：2020-09-07
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种环形抛光中沥青抛光盘表面钝化状态在线监测装置与方法，沥青抛光盘表面的浅纹线槽具有规则的纹理结构和纹路特征，随着沥青抛光盘表面的逐渐钝化，其纹理结构和纹路特征也会随之减弱，因此可以通过沥青抛光盘表面的纹理分析来监测沥青抛光盘表面的钝化状态。本发明提出采集沥青抛光盘表面图像，采用灰度共生矩阵法来监测沥青抛光盘表面的纹理，采用灰度共生矩阵的特征参数定量地表征沥青抛光盘表面的钝化状态，从而实现沥青抛光盘表面钝化状态的实时在线监测。
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公开(公告)号：CN112916314B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202110083443.1
申请日：2021-01-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供一种薄板元件的低应变上盘装置及其方法。薄板元件的低应变上盘装置，移动溜板设置在第四导轨的丝杆上，出胶阀安装在移动溜板上，通过第三电机带动丝杆旋转使移动溜板沿着第四导轨在Z方向上下移动，第四导轨还设置在第三导轨的丝杆上，通过第二电机带动丝杆旋转使第四导轨沿着第三导轨在Y方向移动，第三导轨设置在第一导轨的丝杆上和第二导轨上，通过第一电机带动丝杆旋转使第三导轨沿着第一导轨和第二导轨在X方向移动。本发明通过多点柔性支撑构建元件‑胶点‑背板三位一体的半刚性系统，将弱刚性的薄板元件的抛光转换为刚性元件的加工，可有效抑制元件加工过程中的装夹变形，在保证加工效率的同时提高面形精度。
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公开(公告)号：CN112207877A
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN202010930803.2
申请日：2020-09-07
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种环形抛光中沥青抛光盘表面螺旋槽的生成方法，规划螺旋路径，螺旋路径包括逆时针和顺时针两组，首先确定单条螺旋路径的两个端点分别对应抛光盘表面的半径，同组螺旋路径中相邻螺旋路径的夹角，以及单条螺旋路径的扫描角度；然后设定逆时针和顺时针两组螺旋路径中第一条螺旋路径起点的极角均为零度，计算每条逆时针螺旋路径和顺时针螺旋路径起点的极角；最后设定铣刀开槽时抛光盘的转速，计算铣刀在半径方向的移动速度，通过机床控制铣刀以规划的螺旋路径在沥青抛光盘表面铣削生成螺旋槽。
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公开(公告)号：CN118832490A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410997559.X
申请日：2024-07-24
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B13/005
摘要： 本发明涉及一种用于抛光机床的超大尺寸重型高精度气浮转台，包括转台基座，其中部竖直布置有第一安装孔；转台转盘中部竖直布置有第二安装孔，所述转台转盘底部具有凸台；中空式中心轴穿过第一安装孔和第二安装孔；中心供气件为环形，套设于中空式中心轴下部外壁上，位于第一安装孔内，且其顶面与转台基座顶面齐平；中心供气件顶面具有第一气流分配结构，转台基座顶面具有与第一气流分配结构对应的第二气流分配结构；第二安装孔内安装有径向气浮轴承组件，且套设于中空式中心轴上部外壁上。本发明实现了超大尺寸重型气浮转台的支撑和高精度旋转运动。
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公开(公告)号：CN115420257A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211034270.5
申请日：2022-08-26
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种回转工作台的倾斜误差测量方法，包括：采用电子水平仪对回转工作台进行测量，获得电子水平仪的测量读数；根据测量读数，计算回转工作台的各个旋转角采样点对应实际轴线的平均绝对倾斜度测量值；根据平均绝对倾斜度测量值，计算回转工作台的各个旋转角采样点对应实际轴线与轴线平均线的倾斜误差值；将计算出来的最大倾斜误差值作为回转工作台的倾斜误差；通过该方法可以快速简便地测量回转工作台的倾斜误差，且测量精度较高，因此可以适用于不同工业现场、实验室条件下各类回转工作台的倾斜误差测量。
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公开(公告)号：CN118769032A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202411128475.9
申请日：2024-08-16
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供一种可以实现晶体面形精度快速收敛的大口径磷酸二氢钾类晶体元件的抛光方法，该方法包括以下步骤：1)配置油基抛光液；2)在与晶体元件等尺寸的基板表面贴真空吸附垫；3)晶体元件背面贴光致失粘保护胶带，将晶体元件吸附在真空吸附垫上，并安装到机床的工装上；4)对晶体元件的加工面进行快速抛光；5)快速抛光完成后，抬升工件盘，将晶体元件和基板从抛光盘上取下；6)对晶体元件进行翻面快速抛光。本发明采用硬质抛光盘全口径抛光的方法对晶体元件进行加工，抛光过程中晶体元件全表面与抛光工具同时接触，实现了基于刚性对研方式的快速加工，晶体面形精度快速收敛，可广泛应用于各类规格光学元件的加工。
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公开(公告)号：CN114986325B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202210657794.3
申请日：2022-06-10
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及光学元件全口径抛光局部区域恒温加工装置及抛光机，抛光局部区域恒温加工装置包括：环形工件盘，所述环形工件盘中部贯通有作业区，其靠近所述作业区形成有限位台；分离部，所述分离部放置于所述限位台上，且位于所述作业区上方，其中部开设有工件孔，所述工件孔用于放置光学元件；以及分离罩，所述分离罩罩设所述光学元件，其用于和所述分离部配合隔离外部温度。本发明公开提供了光学元件全口径抛光局部区域恒温加工装置，通过分离部和分离罩将光学元件与加工车间环境隔离，车间温度的波动不会影响光学元件周围的温度，从而避免了车间温度波动造成光学元件温度波动进而引起光学元件产生变形，保证了光学元件的加工精度。
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公开(公告)号：CN112207877B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202010930803.2
申请日：2020-09-07
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明公开了一种环形抛光中沥青抛光盘表面螺旋槽的生成方法，规划螺旋路径，螺旋路径包括逆时针和顺时针两组，首先确定单条螺旋路径的两个端点分别对应抛光盘表面的半径，同组螺旋路径中相邻螺旋路径的夹角，以及单条螺旋路径的扫描角度；然后设定逆时针和顺时针两组螺旋路径中第一条螺旋路径起点的极角均为零度，计算每条逆时针螺旋路径和顺时针螺旋路径起点的极角；最后设定铣刀开槽时抛光盘的转速，计算铣刀在半径方向的移动速度，通过机床控制铣刀以规划的螺旋路径在沥青抛光盘表面铣削生成螺旋槽。
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公开(公告)号：CN112405215B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202011252435.7
申请日：2020-11-11
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B13/01
摘要： 本发明提供一种大尺寸抛光盘的离线修整装置及修整方法。抛光盘的离线修整装置，导轨架安装在支座上，丝杠和导轨相互平行设置在导轨架上，修整轴箱设置在安装板上，安装板设置在丝杠上，平移电机带动丝杠旋转从而带动安装板和修整轴箱沿导轨水平移动，金刚石修整盘安装在修整轴箱的下端，修整轴箱内部设置有控制金刚石修整盘旋转的旋转电机以及控制金刚石修整盘在竖直方向进行上下移动的直线电机，多个所述调整垫块设置在转台的上表面，调整垫块上设置有旋转手柄，多个所述支板固定在转台上，并通过设置在支板上的锁紧螺钉锁紧。本发明可实现不同规格尺寸抛光盘的快速精密修整，修整操作简单，稳定性好，一台修整机可满足多台加工设备的修整需求。
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公开(公告)号：CN112405215A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011252435.7
申请日：2020-11-11
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B13/01
摘要： 本发明提供一种大尺寸抛光盘的离线修整装置及修整方法。抛光盘的离线修整装置，导轨架安装在支座上，丝杠和导轨相互平行设置在导轨架上，修整轴箱设置在安装板上，安装板设置在丝杠上，平移电机带动丝杠旋转从而带动安装板和修整轴箱沿导轨水平移动，金刚石修整盘安装在修整轴箱的下端，修整轴箱内部设置有控制金刚石修整盘旋转的旋转电机以及控制金刚石修整盘在竖直方向进行上下移动的直线电机，多个所述调整垫块设置在转台的上表面，调整垫块上设置有旋转手柄，多个所述支板固定在转台上，并通过设置在支板上的锁紧螺钉锁紧。本发明可实现不同规格尺寸抛光盘的快速精密修整，修整操作简单，稳定性好，一台修整机可满足多台加工设备的修整需求。
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