一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置及校准方法

    公开(公告)号:CN106840615B

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN201710182871.3

    申请日:2017-03-24

    Abstract: 本发明提供了一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置及校准方法,该方案包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台;装置在校准状态下,辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中;分光镜放置于光瞳测量位置后;共轭成像镜头、CCD相机依次放置于分光镜后的光路;CCD相机固定于电控平移台上;装置在测试状态下,移除光路中的辅助校准楔镜和辅助校准光阑。该方案利用电控平移台改变CCD相机与共轭成像镜头目镜的距离S,实现对不同位置激光束光瞳的在线高精度扫描测量。

    一种条形光斑波前测试装置

    公开(公告)号:CN202853744U

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201220566796.3

    申请日:2012-10-31

    Abstract: 本实用新型公开了一种条形光斑测试装置,所述的装置中的球透镜Ⅰ、柱透镜Ⅰ、柱透镜Ⅱ、球透镜Ⅱ、衰减片、滤光片、透镜阵列、相机、采集系统,依次在光路上顺序设置。所述的球透镜Ⅰ与柱透镜Ⅰ组成物镜,柱透镜Ⅱ与球透镜Ⅱ组成目镜,物镜与目镜组合,使得入射的条形光斑在经过组合镜到达相机前完成两个方向上不同倍率的缩束并保留激光束原始的波前信息,通过采集系统实现条形光斑波前测试。本实用新型的条形光斑波前测试装置结构简单,易于加工和装调,成本低,测试精度高。

    一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置

    公开(公告)号:CN206563649U

    公开(公告)日:2017-10-17

    申请号:CN201720299632.1

    申请日:2017-03-24

    Abstract: 本实用新型提供了一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置,该方案包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台;装置在校准状态下,辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中;分光镜放置于光瞳测量位置后;共轭成像镜头、CCD相机依次放置于分光镜后的光路;CCD相机固定于电控平移台上;装置在测试状态下,移除光路中的辅助校准楔镜和辅助校准光阑。该方案利用电控平移台改变CCD相机与共轭成像镜头目镜的距离S,实现对不同位置激光束光瞳的在线高精度扫描测量。

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