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公开(公告)号：CN101738184B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200910226760.3
申请日：2009-12-29
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 本发明公开了一种基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，包括通过键合连接在一起的衬底和陀螺总成，陀螺总成包括检测梁、一根以上的驱动梁、检测电极以及驱动电极，所述驱动梁与检测梁呈十字交叉状布置，所述驱动梁的两端设有可动质量块，所述驱动电极装设于驱动梁的外表面上，所述检测电极装设于检测梁的外表面上。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、灵敏度高、制造工艺简单、成品率高的基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺。
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公开(公告)号：CN101666646B
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN200910044556.X
申请日：2009-10-16
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及制作方法，包括陀螺总成和衬底，陀螺总成包括第一驱动电极、第二驱动电极、驱动叉指、支撑锚点、框架、弹性支撑梁以及检测叉指，驱动叉指和检测叉指分别连接于框架的两端，框架的中部设有支撑锚点，支撑锚点的两端通过弹性支撑梁与框架相连，第一驱动电极和第二驱动电极分别位于驱动叉指的两侧，支撑锚点、第一驱动电极和第二驱动电极通过阳极键合的方式与衬底键合在一起，弹性支撑梁、框架、驱动叉指以及检测叉指与衬底之间留有间隙。本发明进一步公开了上述微机械陀螺的制作方法。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、加工工艺简单、易于批量生产、产品品质高的倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法。
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公开(公告)号：CN101846981B
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201010132162.2
申请日：2010-03-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC分类号： G05B19/02
摘要： 本发明公开了一种大质量构件绕虚拟轴回转运动的控制方法及装置，采用驱动大质量构件沿圆心为A点、半径为R的圆弧做回转运动，并采用对水平方向上的偏移量ΔX与竖直方向上的偏移量ΔY进行反向差补运动的控制方法，使大质量构件绕虚轴回转运动时其自质心位置相对大地坐标不变。大质量构件绕虚拟轴回转运动的装置，包括圆弧导轨、滑块、回转驱动机构、回转工作台、控制单元和载物工作台，所述回转工作台下设有可令所述大质量构件的质心在完成回转运动过程时相对大地坐标位置保持不变的差补驱动机构，所述差补驱动机构与所述控制单元相连。本发明具有结构紧凑、体积小、精度高、通用性强的优点。
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公开(公告)号：CN101363731B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200810143292.9
申请日：2008-09-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法，它包括支撑质量块、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第一驱动梁、第二驱动梁、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极，所述第一悬臂梁和第二悬臂梁对称布置于支撑质量块的两端，支撑质量块通过第一悬臂梁与第一驱动梁相连，支撑质量块通过第二悬臂梁与和第二驱动梁相连，所述第一驱动梁和第二驱动梁的布置方向与第一悬臂梁和第二悬臂梁的布置方向垂直，所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁和第二驱动梁的端部。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、灵敏度高、抗干扰能力强的基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法。
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公开(公告)号：CN101363731A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200810143292.9
申请日：2008-09-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法，它包括支撑质量块、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第一驱动梁、第二驱动梁、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极，所述第一悬臂梁和第二悬臂梁对称布置于支撑质量块的两端，支撑质量块通过第一悬臂梁与第一驱动梁相连，支撑质量块通过第二悬臂梁与和第二驱动梁相连，所述第一驱动梁和第二驱动梁的布置方向与第一悬臂梁和第二悬臂梁的布置方向垂直，所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁和第二驱动梁的端部。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、灵敏度高、抗干扰能力强的基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法。
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公开(公告)号：CN101846981A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010132162.2
申请日：2010-03-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
IPC分类号： G05B19/02
摘要： 本发明公开了一种大质量构件绕虚拟轴回转运动的控制方法及装置，采用驱动大质量构件沿圆心为A点、半径为R的圆弧做回转运动，并采用对水平方向上的偏移量ΔX与竖直方向上的偏移量ΔY进行反向差补运动的控制方法，使大质量构件绕虚轴回转运动时其自质心位置相对大地坐标不变。大质量构件绕虚拟轴回转运动的装置，包括圆弧导轨、滑块、回转驱动机构、回转工作台、控制单元和载物工作台，所述回转工作台下设有可令所述大质量构件的质心在完成回转运动过程时相对大地坐标位置保持不变的差补驱动机构，所述差补驱动机构与所述控制单元相连。本发明具有结构紧凑、体积小、精度高、通用性强的优点。
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公开(公告)号：CN101738184A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910226760.3
申请日：2009-12-29
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 本发明公开了一种基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，包括通过键合连接在一起的衬底和陀螺总成，陀螺总成包括检测梁、一根以上的驱动梁、检测电极以及驱动电极，所述驱动梁与检测梁呈十字交叉状布置，所述驱动梁的两端设有可动质量块，所述驱动电极装设于驱动梁的外表面上，所述检测电极装设于检测梁的外表面上。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、灵敏度高、制造工艺简单、成品率高的基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺。
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公开(公告)号：CN101666646A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：CN200910044556.X
申请日：2009-10-16
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及制作方法，包括陀螺总成和衬底，陀螺总成包括第一驱动电极、第二驱动电极、驱动叉指、支撑锚点、框架、弹性支撑梁以及检测叉指，驱动叉指和检测叉指分别连接于框架的两端，框架的中部设有支撑锚点，支撑锚点的两端通过弹性支撑梁与框架相连，第一驱动电极和第二驱动电极分别位于驱动叉指的两侧，支撑锚点、第一驱动电极和第二驱动电极通过阳极键合的方式与衬底键合在一起，弹性支撑梁、框架、驱动叉指以及检测叉指与衬底之间留有间隙。本发明进一步公开了上述微机械陀螺的制作方法。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、加工工艺简单、易于批量生产、产品品质高的倾斜双端音叉式硅微机械陀螺及其制作方法。
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