Invention Grant
- Patent Title: 基于剪应力检测的石英微机械陀螺及其制作方法
- Patent Title (English): Rock quartz micro mechanical gyroscope based on shear stress detection and method for making same
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Application No.: CN200810143292.9Application Date: 2008-09-25
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Publication No.: CN101363731BPublication Date: 2011-01-26
- Inventor: 吴学忠 , 李圣怡 , 谢立强 , 肖定邦 , 董培涛 , 满海鸥 , 王浩旭
- Applicant: 中国人民解放军国防科学技术大学
- Applicant Address: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院
- Assignee: 中国人民解放军国防科学技术大学
- Current Assignee: 中国人民解放军国防科学技术大学
- Current Assignee Address: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院
- Agency: 湖南兆弘专利事务所
- Agent 陈晖
- Main IPC: G01C19/56
- IPC: G01C19/56 ; B81B7/02 ; B81C1/00

Abstract:
一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法,它包括支撑质量块、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第一驱动梁、第二驱动梁、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极,所述第一悬臂梁和第二悬臂梁对称布置于支撑质量块的两端,支撑质量块通过第一悬臂梁与第一驱动梁相连,支撑质量块通过第二悬臂梁与和第二驱动梁相连,所述第一驱动梁和第二驱动梁的布置方向与第一悬臂梁和第二悬臂梁的布置方向垂直,所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁和第二驱动梁的端部。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、灵敏度高、抗干扰能力强的基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法。
Public/Granted literature
- CN101363731A 基于剪应力检测的石英微机械陀螺及其制作方法 Public/Granted day:2009-02-11
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