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公开(公告)号：CN101363731B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200810143292.9
申请日：2008-09-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法，它包括支撑质量块、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第一驱动梁、第二驱动梁、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极，所述第一悬臂梁和第二悬臂梁对称布置于支撑质量块的两端，支撑质量块通过第一悬臂梁与第一驱动梁相连，支撑质量块通过第二悬臂梁与和第二驱动梁相连，所述第一驱动梁和第二驱动梁的布置方向与第一悬臂梁和第二悬臂梁的布置方向垂直，所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁和第二驱动梁的端部。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、灵敏度高、抗干扰能力强的基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法。
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公开(公告)号：CN101363731A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200810143292.9
申请日：2008-09-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法，它包括支撑质量块、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第一驱动梁、第二驱动梁、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极，所述第一悬臂梁和第二悬臂梁对称布置于支撑质量块的两端，支撑质量块通过第一悬臂梁与第一驱动梁相连，支撑质量块通过第二悬臂梁与和第二驱动梁相连，所述第一驱动梁和第二驱动梁的布置方向与第一悬臂梁和第二悬臂梁的布置方向垂直，所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁和第二驱动梁的端部。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、灵敏度高、抗干扰能力强的基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法。
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公开(公告)号：CN101368826B
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200810143293.3
申请日：2008-09-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种采用隔振框架解耦的硅微陀螺，它包括第一基板和位于第一基板上方的第二基板，第一基板上设有两个检测电极，第二基板包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称布置的两个驱动质量块、可沿检测方向振动的两个结构相同且对称布置的检测质量块、驱动电极以及隔振框架组件，检测质量块位于第一基板上两个检测电极的上方，隔振框架组件位于第二基板的中部，隔振框架组件的两端分别通过弹性梁与两个驱动质量块和两个检测质量块相连。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、加工工艺简单、易于批量生产、产品品质高的采用隔振框架解耦的硅微陀螺。
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公开(公告)号：CN101738184B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200910226760.3
申请日：2009-12-29
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 本发明公开了一种基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，包括通过键合连接在一起的衬底和陀螺总成，陀螺总成包括检测梁、一根以上的驱动梁、检测电极以及驱动电极，所述驱动梁与检测梁呈十字交叉状布置，所述驱动梁的两端设有可动质量块，所述驱动电极装设于驱动梁的外表面上，所述检测电极装设于检测梁的外表面上。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、灵敏度高、制造工艺简单、成品率高的基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺。
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公开(公告)号：CN101368826A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200810143293.3
申请日：2008-09-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种采用隔振框架解耦的硅微陀螺，它包括第一基板和位于第一基板上方的第二基板，第一基板上设有两个检测电极，第二基板包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称布置的两个驱动质量块、可沿检测方向振动的两个结构相同且对称布置的检测质量块、驱动电极以及隔振框架组件，检测质量块位于第一基板上两个检测电极的上方，隔振框架组件位于第二基板的中部，隔振框架组件的两端分别通过弹性梁与两个驱动质量块和两个检测质量块相连。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、加工工艺简单、易于批量生产、产品品质高的采用隔振框架解耦的硅微陀螺。
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公开(公告)号：CN101368825A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200810143291.4
申请日：2008-09-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种角振动硅微陀螺及其制作方法，它包括通过键合连接的第一基板和第二基板，所述第二基板上中心处设有呈“十”字形的主悬挂梁，主悬挂梁的两侧分别通过“T”形梁组件与质量块相连，每个“T”形梁组件的两端分别对称布置有一个质量块；所述第一基板上开设有凹槽，凹槽内与每个质量块对应的位置处设有一组电极组件。该制作方法主要采用湿法腐蚀工艺制作，制作工艺简单而且成熟，不需要复杂昂贵的深反应离子刻蚀设备，能够保证较低的成本和较高的成品率。因此，本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、具有较高品质因子的角振动硅微陀螺及其制作方法。
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公开(公告)号：CN101368825B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200810143291.4
申请日：2008-09-25
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 一种角振动硅微陀螺及其制作方法，它包括通过键合连接的第一基板和第二基板，所述第二基板上中心处设有呈“十“字形的主悬挂梁，主悬挂梁的两侧分别通过“T”形梁组件与质量块相连，每个“T”形梁组件的两端分别对称布置有一个质量块；所述第一基板上开设有凹槽，凹槽内与每个质量块对应的位置处设有一组电极组件。该制作方法主要采用湿法腐蚀工艺制作，制作工艺简单而且成熟，不需要复杂昂贵的深反应离子刻蚀设备，能够保证较低的成本和较高的成品率。因此，本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、具有较高品质因子的角振动硅微陀螺及其制作方法。
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公开(公告)号：CN101738184A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910226760.3
申请日：2009-12-29
申请人： 中国人民解放军国防科学技术大学
摘要： 本发明公开了一种基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，包括通过键合连接在一起的衬底和陀螺总成，陀螺总成包括检测梁、一根以上的驱动梁、检测电极以及驱动电极，所述驱动梁与检测梁呈十字交叉状布置，所述驱动梁的两端设有可动质量块，所述驱动电极装设于驱动梁的外表面上，所述检测电极装设于检测梁的外表面上。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、灵敏度高、制造工艺简单、成品率高的基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺。
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