公开(公告)号：CN117040245A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202311052540.X

申请日：2023-08-21

Applicant: 中南大学

Inventor： 林立新 ,  王辉 ,  黄心沿 ,  袁士林 ,  漆华妹 ,  林韦蔚

IPC: H02M1/00

Abstract: 本发明提出了一种自适应工艺的中频电源智能控制系统及控制方法，自适应工艺的中频电源智能控制系统包括上位机、中频电源和工艺，其中中频电源内部包括功率模块、控制模块、工艺检测模块和记录模块，自适应工艺的中频电源智能控制方法的具体控制流程为启动工艺、判断是否有待恢复的工艺、检测工艺中断、结束，工艺包括PECVD工艺、PEALD工艺或MPCVD工艺，通过本发明中频电源可匹配工艺自动运行，在工艺中断后可实现从中断点继续运行，实现智能控制，从而提高工艺的可靠性和效率。

公开(公告)号：CN116558296A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202310432762.8

申请日：2023-04-21

Applicant: 中南大学

Inventor： 王辉 ,  黄心沿 ,  吴得轶 ,  粟梅 ,  高金定 ,  闫柏霖 ,  柳懿峰

IPC: F27B17/00 ,  F27D1/00 ,  F27D11/02 ,  F27D19/00

Abstract: 本发明提出了一种主辅热一体化炉体及控制方法，所述主辅热一体化炉体在炉体内分设多个温区，所述每个温区内安装均匀安装主热模块并设置主热接线引出端，所述每个温区的主热模块的外侧对称排列安装辅热模块并设置辅热接线引出端，所述主热模块由一根电热合金丝和若干刚玉套管组成，所述辅热模块由多个弧形加热板组合而成；所述主辅热一体化炉体的控制方法为基于闭环负反馈原理进行的控制系统设计的，开始加热时，不同温区的主辅热模块和辅热模块根据设定的温度进行加热工作，在加热达到设定值后主辅热模块停止工作，改由辅热模块根据不同温区的测量温度反馈实时进行加热工作，使温区内的温度得到保持和补充，能显著提高炉体的效能。

公开(公告)号：CN118007113A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410173148.9

申请日：2024-02-07

Applicant: 中南大学

Inventor： 林立新 ,  蒋新华 ,  黄心沿 ,  王辉 ,  颜湘 ,  邱魁 ,  姜利

IPC: C23C16/52 ,  H02H3/08 ,  H02H3/10 ,  H02H3/04 ,  H02H3/02 ,  H02H9/02 ,  C23C16/509

Abstract: 一种半导体镀膜电源的柔性匹配控制系统及工艺方法，通过参数设置区、半导体镀膜电源和负载的协同作用，实现对半导体镀膜过程中电流和电压的精准控制。其系统包括参数设置区、半导体镀膜电源和负载。参数设置区用于配置和调整半导体镀膜电源的关键参数。半导体镀膜电源包括控制模块和检测模块。负载作为电源输出的接收端，通过柔性匹配控制技术，确保半导体镀膜电源与负载之间的精准匹配。本发明能够有效提升半导体镀膜电源在工作过程中的安全性和稳定性，通过峰值电流控制、报警停机机制等手段，实现了对电流、电压的稳定控制，使得半导体镀膜电源能够适应负载阻抗的变化，降低了其因电流峰值超限而导致的损失，实现了降本增效的目标。