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公开(公告)号：CN116722751B
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202310756243.7
申请日：2023-06-26
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种频率选择型射频电源及柔性变频控制方法，本发明中的频率选择型射频电源主要包括经过改进的射频电源主电路拓扑及与其配套的柔性调频控制技术；射频电源主电路拓扑包括AC/DC整流模块，DC/DC高频隔离模块，DC/AC逆变模块和控制模块，柔性调频控制方法是通过对锁相环的输入输出控制实现射频电源的柔性调频以及多个射频电源的一定同步关系构建。本申请一方面解决了射频电源偏离额定工作点处产生的输出特性恶化问题，另一方面也可方便的实现对多个射频电源同步输出的控制，扩展了等离子体射频电源的射频输出范围和应用范围，能够在一定程度上降低工艺制造的成本。
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公开(公告)号：CN116558296A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310432762.8
申请日：2023-04-21
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明提出了一种主辅热一体化炉体及控制方法，所述主辅热一体化炉体在炉体内分设多个温区，所述每个温区内安装均匀安装主热模块并设置主热接线引出端，所述每个温区的主热模块的外侧对称排列安装辅热模块并设置辅热接线引出端，所述主热模块由一根电热合金丝和若干刚玉套管组成，所述辅热模块由多个弧形加热板组合而成；所述主辅热一体化炉体的控制方法为基于闭环负反馈原理进行的控制系统设计的，开始加热时，不同温区的主辅热模块和辅热模块根据设定的温度进行加热工作，在加热达到设定值后主辅热模块停止工作，改由辅热模块根据不同温区的测量温度反馈实时进行加热工作，使温区内的温度得到保持和补充，能显著提高炉体的效能。
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公开(公告)号：CN116722751A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310756243.7
申请日：2023-06-26
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种频率选择型射频电源及柔性变频控制方法，本发明中的频率选择型射频电源主要包括经过改进的射频电源主电路拓扑及与其配套的柔性调频控制技术；射频电源主电路拓扑包括AC/DC整流模块，DC/DC高频隔离模块，DC/AC逆变模块和控制模块，柔性调频控制方法是通过对锁相环的输入输出控制实现射频电源的柔性调频以及多个射频电源的一定同步关系构建。本申请一方面解决了射频电源偏离额定工作点处产生的输出特性恶化问题，另一方面也可方便的实现对多个射频电源同步输出的控制，扩展了等离子体射频电源的射频输出范围和应用范围，能够在一定程度上降低工艺制造的成本。
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