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公开(公告)号：CN118460985A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410542870.5
申请日：2024-04-30
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明属于纳米材料领域，提出了一种远程熔盐辅助制备ZrO2薄膜的方法及ZrO2薄膜、MIM柔性电容器及其制备方法。本发明采用碳化锆作为锆源，远程双元碱金属卤化物气相分子辅助其挥发，利用环境或基底释放微量氧气辅助生长氧化锆薄膜。所制备的薄膜连续致密、厚度均匀、表面平整，且制备方法简便易操作。此氧化锆薄膜具有高介电常数，是良好的介电层材料，基于此氧化锆薄膜构建了MIM(柔性金属‑半导体‑金属)型电容器，在300次高强度弯曲状态下，仍保持较稳定的电容性能。
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