公开(公告)号：CN119935197A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202510093995.9

申请日：2025-01-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 苏宁宁 ,  吴超 ,  齐润 ,  王俊强 ,  尉升升 ,  李孟委

IPC: G01D5/16 ,  C23C14/04 ,  C23C14/16 ,  C23C14/35 ,  C23C16/34 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明公开了一种传感器芯片金属电极热防护结构及其制备方法，属于金属电极热防护结构技术领域。本发明的热防护结构包括：传感器基底，其上依次设置有电极缓冲层和连续多层Pt‑W电极。在这种结构中，Pt电极是在W电极上沉积的，这种沉积方式使得Pt晶体结构更加稳定。本发明通过精确控制溅射工艺来制备连续多层的Pt‑W电极，可以显著提高Pt晶体的质量，从而有效避免Pt电极在高温环境下发生二次结晶，即所谓的“团聚”现象。本发明的热防护结构能够在不影响引线键合的前提下，确保电极电阻在高温环境中不会急剧增加，从而提高了热阻式传感器在高温环境下工作的可靠性。

公开(公告)号：CN117848557A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202410048307.2

申请日：2024-01-12

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹咏弘 ,  李海洋 ,  尉升升 ,  王俊强 ,  李孟委

IPC: G01L1/22 ,  G01L5/00 ,  G01L9/04 ,  G01L19/14

Abstract: 本发明属于压力传感器技术领域，具体涉及一种高灵敏度高频响石墨烯压力传感器，封装外壳上设置有盖帽，封装外壳内部底端安装有陶瓷基座，陶瓷基座上部键合有检测基片，检测基片下部刻蚀有腔，第一弹性梁、第二弹性梁、第三弹性梁、第四弹性梁均与检测基片连接，第一弹性梁、第二弹性梁、第三弹性梁、第四弹性梁与检测基片的连接处分别刻蚀有第一非穿透孔、第二非穿透孔、第三非穿透孔、第四非穿透孔。本发明在普通十字梁结构的基础上创造性地引入了中心岛和非穿透孔结构，在同一压力下传感器内部的纳米检测单元所能感知到的应变更大，大幅提高了传感器的灵敏度，同时在适当的结构尺寸下提高了压力传感器的结构刚度，进而提高了传感器本身的固有频率。