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公开(公告)号:CN100535746C
公开(公告)日:2009-09-02
申请号:CN200510071268.5
申请日:2005-05-08
Applicant: 东进世美肯株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , Y10S430/117 , Y10S430/121 , Y10S430/123 , Y10S430/124 , Y10S430/125
Abstract: 本发明涉及光致抗蚀剂树脂组合物,特别是涉及含有以下物质的光致抗蚀剂树脂组合物:a)具有2个氨基甲酸酯键的丙烯酸酯单体,b)具有至少2个乙烯型双键的氨基甲酸酯系列的交联性单体,c)碱可溶性化合物,d)光聚合引发剂和e)溶剂;还涉及利用所述光致抗蚀剂树脂的感光性干膜抗蚀剂。本发明所述的光致抗蚀剂树脂组合物和利用该光致抗蚀剂树脂组合物的感光性干膜抗蚀剂,其与基材的胶粘性和耐喷砂性优异,同时还具有高分辨率和高感光度,从而可以在基材上形成精细的图案。
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公开(公告)号:CN101432375A
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200780015151.2
申请日:2007-04-18
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: C09D11/02
CPC classification number: C09D11/03 , C09D11/107
Abstract: 本发明提供一种印刷用糊膏组合物,其特征在于包含a)5重量%~30重量%的丙烯酸酯聚合物树脂;b)5重量%~30重量%的交联低聚物;c)0.1重量%~5重量%的光聚合引发剂;和d)50重量%~85重量%的金属粉末。根据本发明的印刷用糊膏组合物特别适合于能够直接形成精细图案的凹版胶印,可以根本性解决在使用现有的光刻法制造用于屏蔽电磁波的筛网过滤器的电极或用于等离子显示面板的电极图案时出现的材料再处理问题,同时,能够满足作为糊膏组合物所需的多种性质,所述性质中的每一种都是印刷过程所需的,从而可发挥适当的胶印性能。
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公开(公告)号:CN1693991A
公开(公告)日:2005-11-09
申请号:CN200510071268.5
申请日:2005-05-08
Applicant: 东进世美肯株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , Y10S430/117 , Y10S430/121 , Y10S430/123 , Y10S430/124 , Y10S430/125
Abstract: 本发明涉及光致抗蚀剂树脂组合物,特别是涉及含有以下物质的光致抗蚀剂树脂组合物:a)具有2个氨基甲酸酯键的丙烯酸酯单体,b)具有至少2个乙烯型双键的氨基甲酸酯系列的交联性单体,c)碱可溶性化合物,d)光聚合引发剂和e)溶剂;还涉及利用所述光致抗蚀剂树脂的感光性干膜抗蚀剂。本发明所述的光致抗蚀剂树脂组合物和利用该光致抗蚀剂树脂组合物的感光性干膜抗蚀剂,其与基材的胶粘性和耐喷砂性优异,同时还具有高分辨率和高感光度,从而可以在基材上形成精细的图案。
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公开(公告)号:CN101426867A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200780014071.5
申请日:2007-04-10
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: C09D133/08 , C09D133/06 , C08L33/08 , C08L33/06 , C09D7/12 , B41M5/00 , H01B1/20 , H01B1/22 , H01J9/02 , H01J17/49
CPC classification number: B41M3/003 , B41M1/10 , C08K3/08 , C09D11/107 , C09D133/14 , H01J9/02 , H01J2211/225 , H01J2211/446 , C08L2666/54
Abstract: 本发明提供一种印刷用糊膏组合物,其特征在于包含a)5重量%~30重量%的丙烯酸酯聚合物树脂;b)5重量%~35重量%的沸点至少为200℃的高沸点溶剂;c)5重量%~35重量%的沸点低于200℃的低沸点溶剂;和d)50重量%~85重量%的金属粉末。本发明的印刷用糊膏组合物尤其适用于凹版胶印,其基本上可以解决在使用现有的光刻法制造用于屏蔽电磁波的筛网过滤器的电极或用于等离子显示面板的电极图案时出现的材料的再处理问题,同时可满足糊膏组合物所需的多种性质,所述性质中的每一种都是印刷过程所需的,从而可发挥适当的胶印性能。
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公开(公告)号:CN1800978A
公开(公告)日:2006-07-12
申请号:CN200510125865.1
申请日:2005-11-30
Applicant: 东进世美肯株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/0047 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明涉及一种感光组合物、包含该组合物的用于形成隔板的感光浆组合物、以及利用该感光浆组合物在等离子显示板中形成隔板的方法,特别涉及一种包括具有至少两个乙烯双键的交联单体、光聚合引发剂和有机溶剂的感光组合物,包括该组合物的用于形成隔板的感光浆组合物,以及利用该感光浆组合物在等离子显示板中形成隔板的方法。本发明的感光组合物在光的作用下可硬化,可有效提高无机物隔板层与有机物感光蚀刻保护膜间的粘附力,因此,具有特别适合形成微细隔板图像;经蚀刻后,其蚀刻保护膜的剥离性能优良等特性。
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公开(公告)号:CN1784633A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200480012068.6
申请日:2004-05-06
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: C08F220/18 , C08F220/06 , C08F220/14 , C08F230/02 , G03F7/033 , G03F7/038
Abstract: 本发明涉及一种碱溶性感光树脂组合物以及使用该感光树脂组合物的干膜抗蚀剂,更具体地涉及一种通过包括对于改善粘附性有效的丙烯酸酯树脂而具有优良的耐热性、耐化学性、和长期稳定性、以及对Cu或ITO(氧化铟锡)基底具有优良的粘附性的感光树脂组合物,以及使用该感光树脂组合物的光敏干膜抗蚀剂。
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公开(公告)号:CN1782873A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510125866.6
申请日:2005-11-30
Applicant: 东进世美肯株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/029 , G03F7/033
Abstract: 本发明涉及一种感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜,特别是包含碱性可溶性丙烯酸酯树脂、具备至少2个乙烯双键的交联单体、氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂的感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜。本发明感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜,可在激光的直接曝光下形成图像,易于形成高集成度细微图像,具有良好的光敏度和分辨率,并对基板具有优秀的粘附特性。
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