公开(公告)号：CN1800978A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200510125865.1

申请日：2005-11-30

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 辛慧媛 ,  朴炼俱 ,  金奉玘 ,  朴赞硕 ,  柳盛文

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  H01J17/49

CPC classification number: G03F7/0007 ,  G03F7/0047 ,  Y10T428/24802

Abstract: 本发明涉及一种感光组合物、包含该组合物的用于形成隔板的感光浆组合物、以及利用该感光浆组合物在等离子显示板中形成隔板的方法，特别涉及一种包括具有至少两个乙烯双键的交联单体、光聚合引发剂和有机溶剂的感光组合物，包括该组合物的用于形成隔板的感光浆组合物，以及利用该感光浆组合物在等离子显示板中形成隔板的方法。本发明的感光组合物在光的作用下可硬化，可有效提高无机物隔板层与有机物感光蚀刻保护膜间的粘附力，因此，具有特别适合形成微细隔板图像；经蚀刻后，其蚀刻保护膜的剥离性能优良等特性。

公开(公告)号：CN100535746C

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200510071268.5

申请日：2005-05-08

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 金奉玘 ,  柳盛文 ,  朴圣模 ,  朴赞硕

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/16 ,  G03F7/26

CPC classification number: G03F7/027 ,  Y10S430/117 ,  Y10S430/121 ,  Y10S430/123 ,  Y10S430/124 ,  Y10S430/125

Abstract: 本发明涉及光致抗蚀剂树脂组合物，特别是涉及含有以下物质的光致抗蚀剂树脂组合物：a)具有2个氨基甲酸酯键的丙烯酸酯单体，b)具有至少2个乙烯型双键的氨基甲酸酯系列的交联性单体，c)碱可溶性化合物，d)光聚合引发剂和e)溶剂；还涉及利用所述光致抗蚀剂树脂的感光性干膜抗蚀剂。本发明所述的光致抗蚀剂树脂组合物和利用该光致抗蚀剂树脂组合物的感光性干膜抗蚀剂，其与基材的胶粘性和耐喷砂性优异，同时还具有高分辨率和高感光度，从而可以在基材上形成精细的图案。

公开(公告)号：CN1693991A

公开(公告)日：2005-11-09

申请号：CN200510071268.5

申请日：2005-05-08

Applicant: 东进世美肯株式会社

Inventor： 金奉玘 ,  柳盛文 ,  朴圣模 ,  朴赞硕

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/16 ,  G03F7/26

CPC classification number: G03F7/027 ,  Y10S430/117 ,  Y10S430/121 ,  Y10S430/123 ,  Y10S430/124 ,  Y10S430/125

Abstract: 本发明涉及光致抗蚀剂树脂组合物，特别是涉及含有以下物质的光致抗蚀剂树脂组合物：a)具有2个氨基甲酸酯键的丙烯酸酯单体，b)具有至少2个乙烯型双键的氨基甲酸酯系列的交联性单体，c)碱可溶性化合物，d)光聚合引发剂和e)溶剂；还涉及利用所述光致抗蚀剂树脂的感光性干膜抗蚀剂。本发明所述的光致抗蚀剂树脂组合物和利用该光致抗蚀剂树脂组合物的感光性干膜抗蚀剂，其与基材的胶粘性和耐喷砂性优异，同时还具有高分辨率和高感光度，从而可以在基材上形成精细的图案。