公开(公告)号：CN118464066A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410606855.2

申请日：2024-05-16

Applicant: 东南大学

Inventor： 唐路 ,  李俊伟 ,  于子川 ,  王开 ,  唐旭升 ,  张有明

IPC: G01C25/00 ,  G01C19/5776 ,  G01R23/02 ,  G01R23/16

Abstract: 本发明提供了一种谐振式MEMS传感器的频率读出系统，包括：谐振器与自动增益控制电路AGC构成闭环驱动电路、信号发生器、ADC模块以及FPGA模块，信号发生器产生激励信号，并将激励信号发送给谐振器，谐振器在激励信号作用下产生响应信号，并将应信号发送给ADC模块，ADC模块对响应信号进行采样，得到采样信号，并将采样信号发送给FPGA模块，FPGA模块对采样信号执行基于矩形窗的三点插值DFT算法，得到响应信号频率，通过基于矩形窗的三点插值DFT算法和FPGA即可完成谐振式MEMS传感器的响应频率读出，频率测量准确且操作简单。