公开(公告)号：CN1959964A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200610109925.5

申请日：2006-08-24

申请人： 东京毅力科创株式会社 ,  奥克泰克有限公司 ,  揖斐电株式会社

发明人： 山西良树 ,  原田宗生 ,  北野高弘 ,  川口达三 ,  广田良浩 ,  山田欣司 ,  篠田智隆 ,  奥村胜弥 ,  河野秀一

IPC分类号： H01L23/32 ,  H01L23/488 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L23/50 ,  H01G4/228 ,  H01G4/33 ,  H01L23/481 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01056 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/30105 ,  H05K1/162 ,  H05K3/002 ,  H05K2201/09509 ,  H05K2201/096 ,  H05K2201/10378

摘要： 本发明提供一种高质量的电容器及其制造方法。电容器(10)包括：形成在氧化膜(12)上的下部电极(13a)；形成在下部电极(13a)上的电介质层(14)；间隔电介质层(14)而与下部电极(13a)相对形成的上部电极(15a)；以及覆盖上部电极(15a)并覆盖上部电极(15a)的开口部(62v)和电介质层(14)的开口部(61v)的上部电极(15b)。通过在电介质层(14)上形成上部电极(15a)，可将该上部电极作为掩模来对电介质层(14)进行图案化，从而抑制杂质向电介质层(14)内扩散，另外，可以通过上部电极(15b)来防止电介质层(14)暴露在蚀刻液、显影液等中的情况，从而能够提供具有高质量的电介质层(14)的电容器(10)。

公开(公告)号：CN1971784A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610109924.0

申请日：2006-08-24

申请人： 东京毅力科创株式会社 ,  奥克泰克有限公司 ,  揖斐电株式会社

发明人： 山西良树 ,  原田宗生 ,  北野高弘 ,  川口达三 ,  广田良浩 ,  松田健志 ,  山田欣司 ,  篠田智隆 ,  王道海 ,  奥村胜弥

IPC分类号： H01G4/33 ,  H01G4/12 ,  H01G13/00 ,  H01B3/12 ,  C04B35/46 ,  C04B35/622 ,  C01G23/00

摘要： 本发明提供一种具有可以较短的烧固时间形成且质量较高的电介体层的电容器及其制造方法。通过气体供给源(112)等将处理装置(100)内的气氛调节为例如氧气氛等。使热处理装置(101)内的气氛为氧气氛，并使温度上升至预定程度。然后，以不会在晶片(W)中产生不良的速度将形成有电介体前体层的晶舟(161)装入热处理装置内。装入后，使热处理装置的反应管内部上升至烧固温度并烧固预定的时间。在热处理装置内冷却至预定程度后，在处理装置内冷却至室温左右，然后将其搬出到处理装置外部。在烧固形成于晶片上的电介体前体层之前，在高于电介体前体层的溶剂的挥发温度、并低于电介体前体的结晶化开始温度的温度下保持预定的时间，从而使残留溶剂蒸发。