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公开(公告)号：CN104472020B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201380036701.4
申请日：2013-06-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H05H1/00 , C23C16/511 , H01L21/304 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
CPC classification number: G01R27/06 , G01R27/28 , H01J37/321 , H01J37/32192 , H01J37/32926 , H05H1/46 , H05H2001/463 , H05H2001/4682
Abstract: 等离子体处理装置(1)包括处理容器(2)和具有多个微波导入组件(61)的微波导入装置(5)。向多个微波导入组件(61)中的每个导入微波，基于该微波和从处理容器(2)反射至多个微波导入组件(61)的反射微波，求取多个微波导入组件(61)的每个组合的S参数。
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公开(公告)号：CN102655708B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201210050402.3
申请日：2012-02-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01J37/3222 , C23C16/274
Abstract: 本发明涉及表面波等离子体产生用天线及表面波等离子体处理装置。该表面波等离子体产生用天线用于将从微波输出部通过由外侧导体与内侧导体构成的同轴状的波导传输来的微波放射到腔室内，在腔室内产生表面波等离子体，该表面波等离子体产生用天线呈平面状，并且多个缝隙形成为圆周状，并且，在圆周方向上邻接的缝隙与缝隙的相接部分处，这些缝隙在径向上重叠，其相接部分呈被缝隙包围的状态。
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公开(公告)号：CN104472020A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201380036701.4
申请日：2013-06-11
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H05H1/00 , C23C16/511 , H01L21/304 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
CPC classification number: G01R27/06 , G01R27/28 , H01J37/321 , H01J37/32192 , H01J37/32926 , H05H1/46 , H05H2001/463 , H05H2001/4682
Abstract: 等离子体处理装置(1)包括处理容器(2)和具有多个微波导入组件(61)的微波导入装置(5)。向多个微波导入组件(61)中的每个导入微波，基于该微波和从处理容器(2)反射至多个微波导入组件(61)的反射微波，求取多个微波导入组件(61)的每个组合的S参数。
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公开(公告)号：CN102458032A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201110316506.X
申请日：2011-10-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H05H1/46
CPC classification number: H05H1/46 , H01J37/32293 , H05H2001/463
Abstract: 提供一种极力抑制在处理容器内的由微波的驻波引起的影响，并在腔室内能够提高等离子体密度的均匀性的微波等离子体源和使用其的等离子体处理装置。微波等离子体源(2)具有微波供给部(40)，微波供给部(40)具有：将微波导入处理容器内的多个微波导入机构(43)；和多个相位器(46)，其调整分别向多个微波导入机构(43)输入的微波的相位，通过多个相位器(46)调整输入多个微波导入机构(43)的微波的相位，关于多个微波导入机构(43)中邻接的微波导入机构，固定一个的微波的输入相位使另一个的微波的输入相位按照周期性波形变化。
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公开(公告)号：CN102365785A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201080013874.0
申请日：2010-03-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H05B6/80 , H01J37/32192 , H01J37/32256 , H05B6/705 , H05H1/46 , H05H2001/463
Abstract: 本发明提供一种使腔室内的负荷的阻抗与微波电源的特性阻抗自动匹配的调谐器(60)，其包括：主体(51)，其具有呈筒状的外侧导体(52)和在其中同轴设置的、呈筒状的内侧导体(53)，成为微波传送路径的一部分；铁心(61a、61b)，其设置于外侧导体(52)与内侧导体(53)之间，沿着内侧导体(53)的长度方向能移动，是环状，由电介质形成；和使铁心(61a、61b)移动的驱动机构，驱动机构的驱动传送部、驱动引导部、构成保持部的滑动部件(63)和铁心移动轴(64a、64b)被收容在内侧导体(53)的内部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1602543A
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：CN02824694.2
申请日：2002-11-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/31 , H01L21/302 , H05H1/46 , H01P5/00 , H01J27/16 , H01J37/08 , C23C16/511 , C23F4/00
CPC classification number: H01J37/32256 , H01J37/32192 , H01J37/32568 , H01P5/103
Abstract: 本发明提供了一种等离子体处理装置，可通过使匹配电路小型化而在密封盖部上一体化装载微波发生源等。等离子体处理装置，其特征在于，包括：可抽为真空的处理容器(42)；载放台(44)，设置在上述处理容器内，载放被处理体；微波透过板(70)，设置在上述处理容器的顶部的开口部；平面天线部件(74)，用于经上述微波透过板将微波供给上述处理容器内；密封盖体(78)，接地，使其覆盖上述平面天线部件的上方；波导管(82)，将来自微波发生源的微波导入到上述平面天线部件；部件升降机构(85)，相对改变上述天线部件和上述密封盖体间的上下方向上的距离；调谐棒(104)，设置成可插入到上述波导管内；调谐棒驱动机构(102)，移动上述调谐棒能够调整其插入量；匹配控制部(114)，通过控制上述平面天线部件的升降量和上述调谐棒的插入量来进行匹配调整。
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公开(公告)号：CN109427523A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201811030301.3
申请日：2018-09-05
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/244 , H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种等离子体探测装置，其包括：天线部，其隔着将真空空间与大气空间之间密封的密封部件安装于开口部中，其中，上述开口部形成在处理容器的壁部或载置台；与上述天线部连接的电极；和由电介质形成的对上述天线部从周围进行支承的电介质支承部，上述天线部与上述壁部或上述载置台的相对面以规定的距离隔开间隔，上述天线部的从上述开口部露出的面，与形成有该开口部的上述壁部或上述载置台的等离子体生成空间侧的面相比凹入到内侧。由此，能够提供避免气体侵入的等离子体探测装置。
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公开(公告)号：CN102918932B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201180026983.0
申请日：2011-08-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H05H1/46 , C23C16/511 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J23/005 , C23C16/45565 , C23C16/511 , H01J37/3222 , H01J37/32256 , H05H1/46 , H05H2001/463
Abstract: 微波导入机构（41）包括：具有将微波发射到腔室内的平面天线（81）的天线部（80）、匹配阻抗用的调谐器（60）、用于将天线部（80）的热散热的散热机构（90），调谐器（60）包括：具有呈筒状的外侧导体（52）和内侧导体（53）成为微波传递路径的一部分的主体（51）、在外侧导体（52）与内侧导体（53）之间能够移动的设置的芯部件（61a、61b）、使得芯部件移动的芯部件驱动部（70），散热机构（90）具有：热量输入端和位于天线部（80）、从热量输入端向散热端输送天线部（80）的热的热管（91）和设置于散热端的散热部（92）。
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公开(公告)号：CN102365785B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201080013874.0
申请日：2010-03-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H05B6/80 , H01J37/32192 , H01J37/32256 , H05B6/705 , H05H1/46 , H05H2001/463
Abstract: 本发明提供一种使腔室内的负荷的阻抗与微波电源的特性阻抗自动匹配的调谐器(60)，其包括：主体(51)，其具有呈筒状的外侧导体(52)和在其中同轴设置的、呈筒状的内侧导体(53)，成为微波传送路径的一部分；铁心(61a、61b)，其设置于外侧导体(52)与内侧导体(53)之间，沿着内侧导体(53)的长度方向能移动，是环状，由电介质形成；和使铁心(61a、61b)移动的驱动机构，驱动机构的驱动传送部、驱动引导部、构成保持部的滑动部件(63)和铁心移动轴(64a、64b)被收容在内侧导体(53)的内部。
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公开(公告)号：CN102655708A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201210050402.3
申请日：2012-02-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01J37/3222 , C23C16/274
Abstract: 本发明涉及表面波等离子体产生用天线及表面波等离子体处理装置。该表面波等离子体产生用天线用于将从微波输出部通过由外侧导体与内侧导体构成的同轴状的波导传输来的微波放射到腔室内，在腔室内产生表面波等离子体，该表面波等离子体产生用天线呈平面状，并且多个缝隙形成为圆周状，并且，在圆周方向上邻接的缝隙与缝隙的相接部分处，这些缝隙在径向上重叠，其相接部分呈被缝隙包围的状态。
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