公开(公告)号：CN102171377A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN200980138649.7

申请日：2009-09-18

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 生田浩之 ,  江面知彦 ,  鎌田丰弘

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/541 ,  C23C14/544 ,  C23C14/56

Abstract: 蒸镀装置(10)具有：多个蒸镀源单元(100)，其具有材料容器(110a)与载气导入管(110b)，并使被收纳在材料容器(110a)中的成膜材料气化，借助从载气导入管(110b)导入的第1载气输送成膜材料的气化分子；连接管(200)，其与多个蒸镀源单元(100)连接，输送在各个蒸镀源单元中被输送的成膜材料的气化分子；旁路管(300)，其将第2载气直接导入连接管(200)；处理容器(Ch)，其内置有与连接管(200)连接的喷出机构(400)，并从喷出机构(400)喷出利用第1及第2载气输送的成膜材料的气化分子，在该处理容器内部对基板进行成膜处理。