公开(公告)号：CN1298028C

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN02819922.7

申请日：2002-08-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 坂本浩一 ,  竹永裕一 ,  横田隆 ,  川村和广

IPC: H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67253 ,  F27D19/00 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/67109 ,  Y10T29/41

Abstract: 一种热处理方法，在对比被处理体保持件的最大能够处理数少的数量的被处理体进行热处理的情况下，从以比被处理体保持件的最大能够处理数少的基准数量为最大值而设定的1个或2个以上的被处理体数量范围，指定要处理的被处理体的数量所属的被处理体数量范围。按照对应该指定的被处理体数量范围而设定的载置模式来载置被处理体。按照对应该载置模式而预先设定的处理条件来进行热处理。热处理装置备有用于实行上述热处理方法的控制装置而成。

公开(公告)号：CN1565050A

公开(公告)日：2005-01-12

申请号：CN02819922.7

申请日：2002-08-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 坂本浩一 ,  竹永裕一 ,  横田隆 ,  川村和广

IPC: H01L21/31

CPC classification number: H01L21/67253 ,  F27D19/00 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/67109 ,  Y10T29/41

Abstract: 一种热处理方法，在对比被处理体保持件的最大能够处理数少的数量的被处理体进行热处理的情况下，从以比被处理体保持件的最大能够处理数少的基准数量为最大值而设定的1个或2个以上的被处理体数量范围，指定要处理的被处理体的数量所属的被处理体数量范围。按照对应该指定的被处理体数量范围而设定的载置模式来载置被处理体。按照对应该载置模式而预先设定的处理条件来进行热处理。热处理装置备有用于实行上述热处理方法的控制装置而成。