公开(公告)号：CN116359612A

公开(公告)日：2023-06-30

申请号：CN202211675255.9

申请日：2022-12-26

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 畑中贵之 ,  横山公宏

IPC: G01R27/26

Abstract: 示例性实施方式所涉及的测定器具备基座基板、设置于基座基板上的传感器芯片及设置于基座基板上的电路板。传感器芯片具备传感器部，所述传感器部包括具有与基座基板的径向交叉的前表面的信号电极、配置于信号电极的后侧的保护电极及配置于保护电极的后侧的第1接地电极。传感器芯片包括沿传感器部的下表面延伸的第2接地电极。第2接地电极与传感器部之间仅由绝缘材料填充。

公开(公告)号：CN117647175A

公开(公告)日：2024-03-05

申请号：CN202311094065.2

申请日：2023-08-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 横山公宏 ,  畑中贵之 ,  小林竜马

IPC: G01B7/14 ,  G01B7/02 ,  B65G47/90

Abstract: 本公开提供一种测定方法、测定系统以及测定器，能够高精度地求出测定器的偏离量。测定方法包括以下工序：通过被搬送到区域内的测定器的四个以上的传感器电极来获取测定值。测定方法包括以下工序：确定四个以上的传感器电极中的、作为测定值输出满足可靠性基准的静电电容值的两个以上的传感器电极。测定方法包括以下工序：基于确定出的两个以上的传感器电极的测定值来计算偏离量。

公开(公告)号：CN117092411A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202310563267.0

申请日：2023-05-18

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 畑中贵之 ,  横山公宏 ,  纲仓纪彦

IPC: G01R27/26 ,  G01R1/04 ,  G01R1/02

Abstract: 示例性实施方式所涉及的测定系统获取表示测定器与输送测定器的输送叉之间的静电电容的测定值。输送叉包括靶电极。测定器具备设置于基座基板的第1传感器。第1传感器包括中心电极和外围电极。中心电极获取反映与靶电极的距离的静电电容。外围电极配置于中心电极的周围，并且获取反映相对于输送叉所具备的靶电极在水平方向上的偏移量的静电电容。