公开(公告)号：CN106463391B

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201580025777.6

申请日：2015-06-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 保坂勇贵 ,  梅泽義弘 ,  中岛俊希

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67069 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32633 ,  H01J37/32715 ,  H01J37/32834 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/6719

Abstract: 在一个实施方式的等离子体处理装置中，在载置台与处理容器之间设置有挡板构造。挡板构造具有第一构件和第二构件。第一构件具有在载置台与处理容器之间延伸的第一圆筒部，在铅垂方向上长的多个贯通孔以沿周向排列的方式形成于该第一圆筒部。第二构件具有第二圆筒部，该第二圆筒部具有比第一构件的圆筒部的外径大的内径。第二构件通过驱动装置而在包括第一构件与处理容器之间的间隙的区域中上下移动。

公开(公告)号：CN106463391A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580025777.6

申请日：2015-06-05

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 保坂勇贵 ,  梅泽義弘 ,  中岛俊希

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/67069 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32633 ,  H01J37/32715 ,  H01J37/32834 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/6719

Abstract: 在一个实施方式的等离子体处理装置中，在载置台与处理容器之间设置有挡板构造。挡板构造具有第一构件和第二构件。第一构件具有在载置台与处理容器之间延伸的第一圆筒部，在铅垂方向上长的多个贯通孔以沿周向排列的方式形成于该第一圆筒部。第二构件具有第二圆筒部，该第二圆筒部具有比第一构件的圆筒部的外径大的内径。第二构件通过驱动装置而在包括第一构件与处理容器之间的间隙的区域中上下移动。