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公开(公告)号：CN105934812A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201580005769.5
申请日：2015-01-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/66
CPC classification number: H01L22/12 , H01L21/67288 , H01L21/68 , H01L22/20
Abstract: 本文所公开的技术提供了用于针对衬底的背侧生成纹理图的系统和方法。所述纹理图可以用于确定针对衬底的前侧的后续工艺的工艺调节(例如，焦点深度)。
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